2015年11月9日
这种转移打印技术的总体目标是提供可行的方法,将功能性等离子体纳米结构集成到太阳能电池等器件中。该方法有助于推进超纳米结构(如棱柱太阳能电池)的实际器件应用。这种技术的主要优点是可以快速将超纳米结构引入、期望或设计到现有的器件结构中,从而对原始制造过程产生重大变化。
虽然这种方法已经被开发出来,特别是对于太阳能电池,但它也可以应用于其他利用等离子体特性的设备,如右发射二极管和传感器。首先,将纳米孔模具放入聚四氟乙烯容器中。接下来,将 0.76 克乙烯基甲基 suboxane 二甲基 suboxane 共聚物放入一次性玻璃瓶中。
使用带有一次性聚丙烯吸头的微量移液器向共聚物中加入 6 微升铂二乙烯基四乙基二恶烷复合物。接下来,使用带有一次性聚丙烯吸头的微量移液器将 24 微升 2 4 6 8 四乙基四乙烯基乙烯基四亚氧烷加入共聚物中,并混合溶液。如有必要,短暂改变这些体积,以保持与共聚物相同的比例。
然后在玻璃瓶中加入 240 微升甲基氢、laane 二甲基 suboxane 共聚物,并快速混合 使用一次性玻璃移液器,用氮气短暂吹扫混合物表面,然后将所得的硬质 PDMS 预聚物倒入已放置在旋转 coter 上的市售图案模具上,以 1000 RPM 的速度旋涂模具 40 秒,以达到约 40 微米的层厚。然后将旋涂样品放入 65 摄氏度的预热室中 30 分钟。为了在加热过程中短暂交联硬质 PDMS,请在一次性玻璃瓶中混合 6 克硅胶和 0.6 克催化剂。
如有必要,改变催化剂的量,以保持与硅胶的 1 比 10 比例。然后将玻璃瓶放入真空干燥中,用约 133 帕斯卡的真空加热 15 分钟,使混合物脱气。接下来,将 DGA 混合物快速倒入加热的模具上,以形成约 3 毫米厚的软 PDMS 层。
将所得样品放回真空干燥中,再对样品进行脱气一小时。然后将脱气样品转移到加热室中,以每分钟约 3 摄氏度的速度从室温加热至 80 摄氏度。将样品在 80 摄氏度下放置 5 小时,以便在将样品冷却至室温后,使硬质和软质 PDMS 完全交联。
小心地从模具上撕下 PDMS 印章。如果需要,最多可重复使用模具五次以准备额外的印章。用刀将所得的纳米柱印章切成 7 毫米 x 7 毫米的小块,并将它们存放在空气中直到使用。
此外,如随附的文本方案中所述,准备嵌段共聚物结合层溶液和氢化微晶硅基材。使用超声波浴在 30 毫升乙醇中清洗 PDMS 邮票 15 分钟,然后用纯氮气吹干邮票。接下来,使用双面胶带将清洁后的 PDMS 印章贴在样品架上。
然后将样品放入电子束蒸发系统中,并使用每秒 5 至 10 埃的沉积速率和约 3.5 乘以 10 至负 4 帕斯卡的压力将 10 至 80 纳米厚的银膜沉积到邮票上。从蒸发系统中取出镀银印章,并立即在转移印刷步骤中使用。取随附文本方案中所述制备的薄膜硅衬底,并以 5, 000 RPM 的速度用 0.3 毫升嵌段共聚物结合溶液旋涂 40 秒。
接下来,使用数字微量移液器用乙醇润湿涂层基材的表面,然后将涂银的 PDMS 印章轻轻地涂在乙醇湿润的表面上。不按戳记 当您将 PDM 戳记应用于子速率时。请避免按压它。
只需按压就足够了。由于乙醇的表面张力,邮票自发地在表面速率之间产生亲密接触。接下来,将薄膜硅衬底和邮票放入真空室中,并施加约 133 帕斯卡的真空。
五分钟后,将真空室充满空气并取出薄膜硅衬底。握住印章镊子的两侧,将印章从薄膜硅衬底上取下,以转移印刷银纳米盘。如果成功,则冲压痕迹将显示为较绿的点。
用连续的乙醇流冲洗转印薄膜硅衬底 15 秒,然后用氮气吹扫衬底以干燥衬底。接下来,将转移印刷薄膜硅衬底放入 Argonne 等离子体系统的工艺室中。将工艺腔中的空气抽出约 5 分钟,以达到约 20 帕斯卡的压力。
然后打开 Argonne 气体管线的阀门,手动将流速调节到大约 4 SCCM 或产生等离子体所需的任何流速。等待大约 5 分钟,让压力稳定到 40 帕斯卡。然后打开系统以生成 Argonne 等离子体,持续 108 秒。
最后,关闭气体管线的阀门,停止泵送并将空气注入工艺室,以取出等离子清洗、转移印刷的薄膜硅衬底。请按照随附文本协议的其余部分了解有关如何完成薄膜硅太阳能电池的制造并测量其效率和输出的详细信息。这些在氢化微晶硅衬底上生成的银纳米盘阵列的扫描电子显微镜图像清楚地显示了设计中包含的一些纳米级特征。
纳米圆盘的直径平均为 200 纳米。中心到中心的距离平均为 460 纳米,银纳米圆盘的厚度平均为 40 纳米。与参考电池相比,这里显示了制造电池的外部量子效率光谱。
银纳米圆盘掺入的电池在 650 至 1, 100 纳米的长波长范围内显示出更高的信号。这种波长选择性增强清楚地表明了等离激元活性银纳米圆盘对太阳能电池的优先作用。即等离子体光捕获 如果执行得当,转移印刷过程必须在 30 分钟内完成。
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本文描述了一种将等离子体金属纳米结构集成到太阳能电池中的转印印刷技术。该方法利用纳米柱状聚二甲基硅氧烷印章通过等离子体光捕获来提高器件性能。
This transfer printing technique enables rapid, low-cost integration of plasmonic nanostructures into optoelectronic devices, offering a scalable pathway to enhance light absorption in photovoltaic systems. By improving device performance through plasmonic light trapping, the method supports early-stage de-risking of nanomaterial integration in solar energy technologies. Its versatility across device architectures provides strategic value for R&D pipelines focused on next-generation photovoltaics and plasmon-enhanced optoelectronics.
The method positions plasmonic nanostructure integration as a reusable capability between nanomaterial synthesis and device fabrication stages in photovoltaic development workflows.