Die Eigenschaften von Funktionsmaterialien sind ihre 3D Parametern abhängig. Um voll begreifen, ihre Eigenschaften und ihre Funktionen zu verbessern, ist es wichtig, ihre Morphologie und Chemiedistribution in 3D zu analysieren. Elektronenstrahl-Tomographie1 (ET) ist eines der besten Techniken, um diese Informationen auf der Nanometer-Skala2,3. Es besteht aus drehen die Probe über einen großen Winkelbereich und Aufnahme ein Bild bei jedem Winkel Schritt. Die erhaltenen Tilt Series wird verwendet, um das Volumen der Probe zu rekonstruieren, mithilfe von mathematischen Algorithmen basieren auf der Radon-Transformation4,5. Auswahl der Graustufen in der Band hilft, Modell Probe in 3D und 3D Parameter wie Partikel Lokalisierung6 und Größe Verteilung7zu quantifizieren, pore, Position und Größe Verteilung8, etc.
Im Allgemeinen erfolgt durch Kippen der Probe auf den maximal möglichen Winkel, vorzugsweise mehr als 70° in beide Richtungen ET mit einem Elektronenmikroskop. Bei jedem Neigungswinkel ist eine Projektion der Probe aufgezeichnet bilden eine Bilder-Tilt-Serie. Die Tilt-Serie ist ausgerichtet und verwendet, um das Volumen der Probe rekonstruieren die segmentiert und quantifiziert werden. Da die Probe von-90 ° bis + 90 ° gedreht werden kann nicht, hat das rekonstruierte Volumen eine anisotrope Auflösung entlang der orthogonalen Achsen9 aufgrund der blind Aufnahme-Winkel.
ET kann in verschiedenen bildgebenden Modi durchgeführt werden. Die Hellfeld-TEM-Modus (BF-TEM) wird verwendet, um amorphe Materialien, biologischen Proben, Polymere zu studieren, oder Katalysator unterstützt mit komplexen Formen. Die Bildanalyse basiert auf die Differenzierung der Graustufen charakterisieren die Dichte der Komponenten10 (eine dichten Komponente werden mehr dunkel als ein Feuerzeug, d. h., weniger dichten Komponente). High-Angle annular Dunkelfeld im scanning-Modus TEM (HAADF-Stamm) wird verwendet, um kristalline Proben zu analysieren. Das Signal enthält chemische Informationen in Abhängigkeit von der Ordnungszahl; eine starke Komponente der Probe erscheinen heller, leichter eine9. Andere Modi, wie Energie energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX), die das Röntgenbild von der materiellen11und Energie emittiert sammelt gefiltert bildgebenden Modus (Lutetium)12,13, sind auch in der Lage beurteilen die 3D Chemiedistribution in der Probe.
In der Bildgebung Lutetium, können chemische 2D-Karten mit einem TEM mit einem Elektron Energie Spektrometer aufgezeichnet werden. Das Spektrometer wirkt als Magnet Prisma durch Dispergieren der Elektronen in Abhängigkeit von ihrer Energie. Ein Bild entsteht durch die Elektronen abhängig von der Energieverlust aus der Interaktion mit einem bestimmten Atom. Wenn die gleichen chemischen 2D-Karte auf unterschiedliche Neigungswinkel, eine Neigung, die Reihe von chemischen Projektionen vorliegt berechnet wird, kann die chemische 3D-Volumen rekonstruieren verwendet werden.
Nicht alle Materialien können durch Lutetium-Tomographie analysiert werden. Die Technik ist für Proben mit einem schwachen oder ungeordnete Materialien vorbehalten. Dennoch kann es verwendet werden, für die Analyse von leichter Elementen, die sehr schwer zu unterscheiden, wenn mit anderen bildgebenden Verfahren. Darüber hinaus muss die Dicke des Materials um zuverlässige chemische 2D-Karten zu erhalten, kleiner als die mittlere freie Weglänge der Elektronen durch die materielle14sein. Unter dieser Bedingung ist die Wahrscheinlichkeit des Habens eines einzelnen Elektrons Interaktion mit einem einzelnen Atom am größten. Zwei Methoden zur Berechnung einer chemischen 2D-Karte. Die erste und die am häufigsten verwendete ist die "drei-Fenster-Methode", wo zwei gefilterten energiefenster vor der Ionisierung Kante des Elements unter Analyse und ein Drittel nach der Ionisation Kante13aufgenommen. Die ersten beiden Bilder werden verwendet, um den Hintergrund zu schätzen, die extrapoliert wird mit einem Potenzgesetz an der Position des dritten Fenster und abgezogen. Das erhaltene Bild ist die Projektion der 3D Verteilung der analysierten chemischen Elements in das Probenvolumen. Die zweite Methode wird der "Sprung-Ratio"; Es nutzt nur zwei Energie-gefilterte Bilder vor und nach der Ionisation Kante. Diese Methode ist qualitativ, wie das endgültige Bild ergibt sich nur durch das Verhältnis zwischen diesen beiden Bildern durchführen, und nicht für Hintergrund Energie Variation berücksichtigt.
Durch die Kombination von Lutetium mit ET, erhalten Sie die analytische Tomographie der gefilterte Energie. Lutetium-Tomographie und Atom Probe Tomography (APT) sind sich ergänzende Techniken. Im Vergleich zu APT ist Lutetium-Tomographie eine zerstörungsfreie Charakterisierung-Analyse, die nicht komplexe Probenvorbereitung braucht. Es kann verwendet werden, verschiedene Charakterisierungen auf ein einzigartiges Nanopartikel durchführen. Lutetium-Tomographie kann Dämmstoffe, analysieren, während APT am allerwenigsten Laser Hilfe braucht, um sie zu messen. APT läuft auf atomarer Skala, während Lutetium-Tomographie angemessen mit einer niedrigeren Auflösung führt. Lutetium-Tomographie ist nur für Proben, die Balken Abbau während des Experiments zu widerstehen. Um die gefilterten Bilder an alle geneigten Winkel zu erfassen, kann die Probe der Elektronenstrahl 2 h lang ausgesetzt werden. Um eine maximale chemisches Signal in den 2D-Karten aufzuzeichnen, können darüber hinaus längere Exposition Laufzeiten bei Fernlicht Intensität erforderlich sein. Unter solchen Bedingungen leiden Strahl empfindlichen Proben morphologische und chemischen Veränderungen. Daher muss eine präzise Messung der Probe Empfindlichkeit zu den Elektronenstrahl vor dem Experiment hergestellt werden. Darüber hinaus ist Lutetium-Tomographie das Ergebnis der Aufnahme möglichst viele Schichtbilder wie nötig zu bestimmen die räumliche Position und die Natur der chemischen Elemente, die in der Probe. Dennoch kann Lutetium-Tomographie wichtige Informationen über die 3D Chemiedistribution für Proben, wie Katalysator unterstützt, um neue Erkenntnisse geben für die Modellierung von deren katalytische Anwendungen bereitstellen.
Heute ist es möglich, speziellen Software verwenden, der das Energie-Intervall auswählen können, Energie Fenster Bilder gefiltert und berechnen Sie die Chemikalie in verschiedene Neigungswinkel Karten. Sie ermöglichen kippen die Probe, tracking, Fokussierung und das gefilterte Bild im Lutetium Modus Aufnahme. Chemische 2D-Karten können berechnet werden, kann und dann die Tilt Series ausgerichtet werden können, die chemische Volumen mit iterative Algorithmen berechnet und schließlich die Serie segmentiert und quantifizierte15,16.