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Nanomoulding von Functional Materials, ein vielseitiges Complementary Pattern Replication Methode zur Nanoimprinting
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Nanomoulding von Functional Materials, ein vielseitiges Complementary Pattern Replication Methode zur Nanoimprinting

Article DOI: 10.3791/50177-v • 10:49 min • January 23rd, 2013
January 23rd, 2013 •
1,2, 1, 1, 1, 1, 1
1Institute of Microengineering (IMT), Photovoltaics and Thin Film Electronics Laboratory, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), 2Department of Electrical Engineering and Computer Sciences, University of California, Berkeley

Kapitel

Summary
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Wir beschreiben eine nanomoulding Technik, die Low-Cost-nanoskalige Strukturierung funktionaler Materialien, Materialien Stacks und voller Geräten ermöglicht. Nanomoulding kann auf jedem Nanoimprinting Setup durchgeführt werden und kann auf eine Vielzahl von Materialien und Abscheidungsverfahren aufgebracht werden.

Tags

Materials Science Ausgabe 71 Nanotechnologie Maschinenbau Elektrotechnik Informatik Physik Dielektrika (elektronische Anmeldung) Licht emittierende Dioden (LED) Lithographie (Kreis Fertigung) Nanomaschinen (elektronisch) Optoelektronik (Anwendungen) optoelektronische Geräte Halbleiterbauelementen Solarzellen (elektrische Ausführung) Oberflächenstrukturierung Nanoimprinting nanomoulding Transfer Moulding funktionale Materialien transparente leitfähige Oxide Mikrotechnik Photovoltaik
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