Herstellung von Niedertemperatur-Carbon Nanotube Vertikale Verbindungen Kompatibel mit Halbleitertechnik

Das übergeordnete Ziel dieses Prozesses ist es, vertikal ausgerichtete Kohlenstoffnanoröhren zu züchten und elektrische Teststrukturen mit Standard-Halbleitertechniken herzustellen. Diese Methode kann Schlüsselfragen im Bereich des Mikroröntgens beantworten, z. B. können vertikal ausgerichtete Kohlenstoffnanoröhren für Verbindungen und andere Anwendungen in den integrierten Schaltkreisen verwendet werden? Der Hauptvorteil dieser Technologie besteht darin, dass sie mit der Standard-Halbleiterfertigung kompatibel ist und eine ausreichend niedrige Herstellungstemperatur aufweist, die die Integration in das CMO-Backend und mit bestimmten Polymeren ermöglicht.

Um diesen Vorgang zu starten, scheiden Sie die untere Metallschicht des Tests mit Magnetron-Sputtern ab. Führen Sie das Titan-Sputtern mit einem reinen Titantarget mit Argonnenplasma bei einer Substrattemperatur von 350 Grad Celsius für Titannitrid durch. Reaktives Sputtern.