Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate

Jiyang Mei; Naiqing Zhang; James Friend

doi:10.3791/61013

Herstellung von Oberflächen-Akustikwellengeräten auf Lithium-Niobat

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Fabrication of Surface Acoustic Wave Devices on Lithium Niobate

Herstellung von Oberflächen-Akustikwellengeräten auf Lithium-Niobat

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07:55 min

June 18, 2020

DOI: 10.3791/61013-v

Jiyang Mei¹, Naiqing Zhang¹, James Friend¹

¹Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices and Instrumentation, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering and Department of Surgery, School of Medicine,University of California San Diego

Please note that some of the translations on this page are AI generated. Click here for the English version.

Zwei Herstellungstechniken, Lift-off und Nassätzung, werden bei der Herstellung von interdigitalen Elektrodenwandlern auf einem piezoelektrischen Substrat beschrieben, Lithiumniobat, das weit verbreitet ist, um Oberflächen-Akustikwellen zu erzeugen, die jetzt einen breiten Nutzen in der Mikro- bis nanoskaligen Fluidik finden. Die produzierten Elektroden werden gezeigt, um effizient Megahertz-Ordnung Rayleigh Oberflächen-Akustikwellen zu induzieren.

Unser Protokoll zeigt die Details der Herstellung typischer Oberflächenschallwellengeräte auf piezoelektrischen Substraten, besonders wertvoll für Menschen, die dieses aufkeimende Feld betreten möchten. Bei der Reinigung ist es von entscheidender Bedeutung, Schmutz von der Oberfläche fernzuhalten. Um den Wafer vorzubrechen, legen Sie ihn drei Minuten lang bei 100 Grad Celsius auf eine Kochplatte.

Dann bewegen Sie den Wafer auf Aluminiumfolie. Legen Sie den Wafer auf einen Spincoater. Mit einem Trsetzer platzieren Sie negativen Photowiderstand auf den Wafer, der etwa 75 % der Waferoberfläche bedeckt.

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