| Material | | | |
| , ≥ 99,5% | Sigma-Aldrich | | 459844-HCL |
| , 1,019 N en H2O | Fluka Analytical | | |
| 318949-Acetona, ≥ 99,5% | Sigma-Aldrich | 320110-Benceno | |
| , ≥ 99,9% | Sigma-Aldrich | 270709 | - |
| Isopropanol, reactivo ACS, ≥ 99,5% | Sigma-Aldrich | 190764 | |
| Hexano | Fisher Químico | H292-4-Argón | |
| Matheson Gas | | |
| G1901175-Tetrahidrofurano (THF), ≥ 99,9% | Sigma-Aldrich | | |
| 401757-Plurónico F-127 | Sigma-Aldrich | | |
| (PDMS) Slygard 184 | Dow Corning | | 4019862-Tricloro |
| (1H,1H,2H,2H-perfluorooctyl) silano (TPS), 97% | Sigma-Aldrich | 448931 | Es tóxico. Trabaje con él bajo el capó |
| Cloroformo anhidro, ≥ 99% | Sigma-Aldrich | | 372978-Positive |
| PhotoResist AZ1512 | MicroChemicals | AZ 1512 | líquido rojo ámbar, densidad 1.083 g/cm3, el paso de recubrimiento por centrifugación debe realizarse debajo del capó |
| Revelador AZ 300 MIF | MicroChemicals | AZ300 MIF | líquido transparente e incoloro con ligero olor a amina y densidad de 1 g/cm3 |
| 1,2-Vinil-4,4-dimetil azlactona (VDMA) | Isochem North America, LLC | | |
| tritiocarbonato (CPDT) | Sigma-Aldrich | | |
| 723037-2,2′-Azobis (4metoxi-2,4-dimetil valeronitrilo) (V-70) | Wako Specialty Chemicals | CAS NO. 15545-97-8, EINECS No. 239-593-8-Parylene | |
| N | Specialty Coating Systems | 15B10004 | - |
| Name | Company | Número de catálogo | Comentarios |
| >Equipo | | | |
| Parylene Coater | Sistemas de recubrimiento especializado | SCS Labcoater (PDS 2010) | - |
| Sistema de alineación de máscaras | Neutronix Quintel | NXQ8000 | - |
| Grabador de plasma | de oxígeno Oxford Instruments | Plasma Lab System 100 | Perfilómetro de |
| superficie | Veeco | Dektak 150 | tipo escaneo era de colina estándar. La duración y la fuerza de la exploración fueron de 120 s y 1 mg, respectivamente. |
| Microscopio vertical de campo claro | Olympus Corporation | BX51-Plasma | de |
| oxígeno Limpiador | Harrick Plasma | PDC-001-HP-Espectroscopía | infrarroja de |
| reflectancia total atenuada por transformada de Fourier (ATR-FTIR) | Perkin Elmer | ATR-FTIR 100 | |
| AFM)Microscopio | fuerza atómica PicoPlus Picoplus | | Veeco MLCT-E voladizos con una constante de resorte de 0,5 N/m. Las velocidades de escaneo variaron entre 0,25 y 1 Hz. |
| Microscopía electrónica de barrido (SEM) | Hitachi Science Systems Ltd., Tokio, Japón | - | -Estación de |
| trabajo de herramientas rotativas | Dremel | modelo 220-01-Spin | |
| Coater | Smart Coater | SC100-Horno | |
| de vacío | Yamato Scientific Co. | PCD-C6(5)000) | - |
| Cromatografía de exclusión por tamaño (SEC) | Waters Alliance 2695 Módulo de separaciones | 720004547EN-Detector | de |
| índice de refracción (RI) | Waters | modelo 2414-Detector | |
| de matriz de fotodiodos | Waters | modelo 2996, | de |
| dispersión de luz multiángulo 716001286 (MALS) | Tecnología Wyatt | miniDAWN TREOS II-Viscosímetro | |
| Wyatt Technology | Viscostar-PLgel | |
| 5 y micro; m columnas mixtas-C (300 x 7,5 mm) | Agilent | 5 y micro; m Columnas mixtas | |
| C-Elipsómetro | J. A. Woollam | alpha-SE | modelo Cauchy, las capas de PGMA y PVDMA tuvieron índices de refracción de 1,50 y 1,52 a 632 nm |
| Sonicador ultrasónico | Fischer Scientific | FS-110H | - |