15 de mayo de 2015
En este informe se describe el uso de un sistema hecho a medida para realizar la deposición de aerosoles de películas gruesas de granate de itrio hierro sobre sustratos de zafiro a RT. Las películas depositadas se caracterizan mediante microscopía electrónica de barrido, perfilometría, y resonancia ferromagnética para dar una visión general representativa de las capacidades de la técnica.
El objetivo general del experimento consiste en depositar una película policristalina densa de varios micrones de grosor de granate de itrio y hierro sobre un sustrato de zafiro mediante una técnica de deposición a temperatura ambiente. Para lograrlo, primero se monta un sustrato preparado sobre la etapa de traslación fijada a la tapa superior del aparato, luego se coloca dicha tapa sobre la cámara de deposición y se conectan los cables del motor como segundo paso. Para cargar el proceso con polvo que posea el tamaño de aglomeración deseado en la cámara de aerosol, coloque la tapa superior de la cámara de aerosol y conéctela a la cámara de deposición mediante una boquilla. A continuación, establezca un gradiente de presión entre las cámaras e inicie el flujo de gas hacia la cámara de aerosol.
Combine esto con la acción de una placa vibratoria para crear un aerosol que pase a través de la boquilla hacia la cámara de deposición. La deposición del glomerado avanza mediante fractura, deformación y fusión del cristalito, lo que resulta en la formación de una película gruesa y densa sobre el sustrato. La principal ventaja de esta técnica frente a los métodos existentes es que puede producir películas muy gruesas y densas sin necesidad de calentar el sustrato o el material precursor desde un punto de vista de producción.
La deposición de aerosol también tiene la ventaja de realizarse en un entorno de vacío relativamente bajo y puede depositar a una velocidad muy alta. En el centro de este experimento se encuentra el sistema de deposición de aerosol. Esta vista esquemática del equipo identifica los componentes principales.
Coloque el polvo que se va a aerosolizar en la cámara de aerosol e inyecte un gas portador con flujo controlado en la cámara, manteniendo una diferencia de presión entre la cámara de aerosol y la cámara de deposición. Genere un flujo de aerosol a través de la boquilla para controlar la deposición sobre una muestra en la cámara de deposición. Utilizando una plataforma de traslación para este video, el primer paso consistirá en montar un sustrato preparado sobre la plataforma de traslación.
La etapa de traducción forma parte del ensamblaje de la tapa superior. Primero, coloque cinta de cobre de doble cara cerca del centro de la etapa. A continuación, tome un sustrato limpio y seco y colóquelo sobre la cinta cerca del centro de la etapa.
Este sustrato de zafiro de seis milímetros por seis milímetros está en posición. Para los siguientes pasos del protocolo, continúe utilizando un calibrador para recopilar los datos necesarios que ayuden a alinear la boquilla de pulverización.
Haga esto midiendo y registrando la distancia desde un borde de la platina de montaje hasta los bordes más cercano y más lejano a lo largo de una dirección. Realice una medición similar a lo largo de la dirección perpendicular. Después de realizar las mediciones, transporte la tapa superior con la platina de traslación y la muestra a la cámara de deposición.
Baje la tapa superior y coloque el estadio de traslación y la muestra en la cámara. Una vez hecho esto, asegure la tapa superior sujetando la brida para sellarla. Luego, conecte los cables del controlador para los motores de traslación.
Ahora continúe con la preparación de la cámara de aerosol que se muestra aquí con su sección superior retirada. Obtenga de 100 a 150 gramos de polvo de granate de hierro de itrio y aluminio (YIG) tamizado y secado. Distribuya el polvo sobre la sección inferior de la cámara de aerosol. A continuación.
Para esta configuración, coloque un accesorio desobstructor de filtro en su lugar. Tome el cuerpo principal de la cámara de aerosol y colóquelo sobre la sección inferior. Continúe sujetando el cuerpo principal a la sección inferior con abrazaderas.
Luego, conecte el manómetro de aerosol al puerto lateral. Ahora tome la sección de entrada de la boquilla y utilice una abrazadera de sujeción rápida para fijarla al puerto superior del cuerpo principal de la cámara de aerosol. Cuando esto esté listo, eleve el tubo de entrada de la boquilla hacia el puerto de entrada de la cámara de deposición.
Termine asegurando los accesorios superior e inferior. Comience a establecer un gradiente de presión aislando la bomba de vacío del resto del sistema. Luego enciéndala.
Abra una línea de derivación para realizar el bombeo inicial y así garantizar un control más preciso del proceso de bombeo. Encienda la luz de iluminación de la cámara de deposición desde el ordenador. Configure el software de monitoreo de presión y el controlador de la plataforma sin activar ninguno de los dos mientras continúa el bombeo.
Monitoree la presión del sistema. Cuando la presión alcance entre 150 y 200 torr, ajuste la velocidad de bombeo de la línea de derivación a un torr por segundo. Una vez que la presión descienda por debajo de 100 torr, inicie el software de monitoreo de presión y del controlador de etapas.
Cuando la presión sea de aproximadamente un tor, cierre las válvulas de la línea de derivación. Continúe abriendo la válvula principal de bombeo. A medida que continúa el bombeo, diríjase a la cámara de deposición y apriete la abrazadera en la tapa superior.
El siguiente paso consiste en encender la bomba sopladora y abrir el cilindro de gas de nitrógeno de ultra alta pureza para suministrar el gas portador a través del ordenador. Utilice la interfaz gráfica del software del controlador de la platina para posicionar el sustrato tal como se ve a través de la ventanilla. Coloque primero el sustrato sobre la boquilla.
Una vez en su lugar, baje el sustrato hasta que haga contacto con la boquilla. A continuación, mueva el sustrato 7,5 milímetros en dirección vertical hasta su posición. Cierre la línea principal de bombeo y verifique que la tasa de fuga sea inferior a unos tres militorr por segundo.
Antes de continuar, ajuste la válvula mariposa de la cámara de deposición al valor preestablecido de 500 TOR. Establezca el caudal del controlador de flujo másico, pero no lo encienda. Programe un generador de funciones para fijar la frecuencia vibratoria del agitador y enciéndalo.
Inicie el flujo de gas nitrógeno. Luego cuente tres segundos antes de iniciar la macro del controlador de etapa en la computadora. Ajuste el caudal del gas para mantener la diferencia de presión constante deseada.
En este caso, aproximadamente 500 tor. Utilice el visor para monitorear visualmente el depósito. Al final del depósito, anote el tiempo de funcionamiento exacto.
Apague el gas de nitrógeno, el generador de funciones y las bombas. Abra la cámara de deposición. Válvula de mariposa, abra completamente la válvula de derivación hacia la cámara de deposición.
Gire el regulador del gas de nitrógeno de la instalación a cero y redirija el gas hacia la cámara de deposición. Cierre la válvula principal de bombeo mientras aumenta lentamente la presión del gas de la instalación. Regrese al ordenador para utilizar el software del controlador de la plataforma y llevar la boquilla a su posición inicial, luego cierre el programa.
Cuando la presión esté por encima de 100 tor, detenga el software de monitoreo de presión. Continúe ajustando el gas de la instalación según sea necesario hasta que el sistema alcance la atmósfera. Para recuperar la muestra, desconecte los cables de los motores de translación de la parte superior de la cámara de deposición.
Retire la tapa superior de la cámara de deposición y llévela a un banco de trabajo. En el banco, oriente la tapa superior para acceder a la muestra. Desmonte la muestra para prepararla para su caracterización.
Esta es una micrografía electrónica de barrido de una película de granate de hierro de atrio sobre un sustrato de zafiro. La deposición se realizó con una velocidad de barrido de 0,65 milímetros por segundo y cubrió un área de 75 milímetros cuadrados. La película es algo rugosa y bien compactada, con pocos huecos.
La naturaleza densa de la película también se observa en esta micrografía electrónica de barrido de la sección transversal de la película. Sobre el sustrato de zafiro, la imagen principal muestra el borde de la muestra tal como se depositó, formado durante la deposición. No se trata de una sección fracturada de la película.
El recuadro es una vista ampliada de la sección transversal. Se creó un escalón eliminando una porción de la película a lo largo de un borde. Los datos en negro indican la altura del escalón de la película.
La línea roja indica un espesor promedio de película de aproximadamente 11 micrómetros. La rugosidad es de aproximadamente 1,4 micrómetros. En este gráfico, la absorción de resonancia magnética de Pharaoh, datos derivados, se muestra en negro, y un ajuste de forma de línea derivada de Lian a los datos se muestra en rojo.
Tanto la ubicación como la forma de la señal para los datos son comparables con espectros típicos. Para el granado de hierro y ario policristalino cultivado mediante otros métodos. El buen ajuste lineal sugiere una película uniforme.
Después de ver este video, debería tener una buena comprensión de cómo funciona el proceso de deposición de aerosoles y cómo realizar la deposición de aerosoles utilizando este sistema.
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Este informe describe un sistema construido a medida para la deposición en aerosol de películas gruesas de granate de itrio y hierro sobre sustratos de zafiro a temperatura ambiente. La técnica se caracteriza por su capacidad para producir películas densas sin necesidad de calentar el sustrato ni el material precursor.
El depósito de aerosol permite la formación rápida de películas gruesas y densas de granate de itrio y hierro a temperatura ambiente, lo que favorece la integración avanzada de materiales en la prototipación de dispositivos y las pruebas funcionales. Las condiciones de procesamiento a temperatura ambiente del método facilitan la compatibilidad con sustratos de distintas tolerancias térmicas, reduciendo el riesgo en la evaluación inicial de materiales. Esta capacidad es estratégicamente relevante para equipos de I+D que buscan un depósito de películas escalable y reproducible sin las limitaciones de altas temperaturas.
El depósito de aerosoles se integra en la continuidad desde el descubrimiento de materiales hasta la prototipificación de dispositivos, permitiendo una transición fluida desde la preparación del sustrato hasta la prueba funcional en los flujos de trabajo de I+D.