Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition

Edward L. Lin; Bryce I. Edmondson; Shen Hu; John G. Ekerdt

doi:10.3791/54268

Journal

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Quimica

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Crecimiento epitaxial de perovskita del titanato de estroncio en el germanio a través de deposición de capas atómicas

Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition

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Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition

Crecimiento epitaxial de perovskita del titanato de estroncio en el germanio a través de deposición de capas atómicas

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09:45 min

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July 26, 2016

DOI:

10.3791/54268-v

DOI:

10.3791/54268-v

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09:45 min

July 26, 2016

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Edward L. Lin¹, Bryce I. Edmondson¹, Shen Hu¹, John G. Ekerdt¹

¹McKetta Department of Chemical Engineering,The University of Texas at Austin

Summary

Este trabajo detalla los procedimientos para el crecimiento y caracterización de SrTiO cristalina ₃ directamente sobre sustratos de germanio por deposición de capas atómicas. El procedimiento ilustra la capacidad de un método de crecimiento de todos los productos químicos para integrar óxidos monolíticamente en semiconductores para dispositivos semiconductores de óxido de metal.