Name: Fabricación de sistemas microelectromecánicos de carbono 3D (C-MEMS) (Video) | JoVE Journal
Uploaded: 2017-06-17T13:00:00.000+00:00
Duration: 8 min 1 s
Description: Aprende a fabricar estructuras de carbono 3D mediante fotolitografía de polímeros ricos en carbono y pirolisis a alta temperatura. Este método utiliza cabello humano como fuente sostenible para crear microfibras de carbono vítreo huecas.

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Este trabajo fue apoyado por el Tecnológico de Monterrey y la Universidad de California en Irvine.

1. 3D cabello humano derivado de la estructura de carbono de fabricación NOTA: Use equipo de protección personal. Siga las instrucciones del laboratorio para usar los instrumentos y trabajar dentro del laboratorio. <ol><li> Prepare el pelo humano recogido lavándolo con agua DI y secándolo con gas N2. </li><li> Colocar los pelos como se desee, como en hilos paralelos, cruzar, con dos pelos enrollados juntos, etc. </li><li> Conecte los pelos a un sustrato de silicio utilizando SU8 o guárdelos directamente en un barco de cerámica. </li><li> Coloque el substrato o el barco de silicio unido al cabello en un horno. </li><li> Encienda el horno y abra la válvula de un tanque de gas inerte (N 2 ). NOTA: El caudal de gas óptimo depende del volumen del tubo del horno. Se aplicó un caudal de 6 l / min para un volumen de tubo de 6 L. Para establecer un entorno completamente inerte en el tubo del horno, un caudal de gas 1,5 veces mayor que el gas óptimo fSe aplicó una tasa baja durante los primeros 15 min. </li><li> Ajuste los parámetros, incluyendo la temperatura máxima de pirólisis, la velocidad de rampa de temperatura y el caudal de gas inerte, y ejecute el horno. <ol><li> Por ejemplo, aumente la temperatura desde la temperatura ambiente a 300 ° C a una velocidad de rampa de 5 ° C / min. Manténgalo a 300 ° C durante 1 h para estabilizarlo. Aumentar la temperatura a 900 ° C y mantenerla durante 1 h más para la carbonización. </li><li> Enfriar el horno hasta 300 ° C a una velocidad de 10 ° C / min y apagar el calentador del horno, ya que después de 300 ° C no es necesario el enfriamiento controlado. Dejar las muestras en el horno hasta que la temperatura alcance la temperatura ambiente por flujo de N2 solamente. </li></ol></li><li> Apague el horno y el flujo de gas al finalizar el proceso de pirólisis. </li><li> Saque las muestras del horno. </li></ol> 2. Fabricación de la estructura del polímero 3D: Fotolitografía <ol><li> DesUn diseño 2D de la estructura fotorresistente 3D deseada utilizando un paquete de software apropiado y preparar la máscara impresa ( es decir, una máscara de fotofilme de polietileno). NOTA: Se utilizó un servicio comercial para obtener el diseño impreso. El tamaño de la máscara generalmente depende del diseño. </li><li> En un laboratorio limpio, encienda dos placas calientes y establezca las temperaturas a 65 ° C y 95 ° C, respectivamente. </li><li> Encienda una máquina de rotación y una bomba de vacío. Asegúrese de que la bomba de vacío esté conectada a través de un tubo a la cabeza giratoria. </li><li> Ajuste los parámetros del giro de dos pasos, como la velocidad de giro, la rampa y la duración. Para el primer paso, ajuste la velocidad de giro a 500 rpm, la rampa a 100 rpm / sy el tiempo de giro a 10 s para comenzar el ciclo de centrifugado. Para el siguiente paso, ajuste la velocidad de giro a 1.000 rpm, la rampa a 100 rpm / sy el tiempo de giro a 30 s para extender uniformemente el fotorresistente. </li><li> Coloque un sustrato ( es decir, un 4 pulgadas x 4 pulgadas y 5501; m 2,25 μm de espesor de la oblea de Si con una capa de SiO2 de 1 μm de espesor) en el centro del soporte. </li><li> Depósito de polímero fotosensible (es decir, fotorresistencia SU8) directamente sobre el centro del sustrato. Use lo suficiente para cubrir la superficie. </li><li> Presione el botón de &quot;vacío&quot; para sostener el sustrato. </li><li> Presione el botón &quot;run&quot; para cubrir el sustrato con SU8 y lograr un espesor final de 250 μm. </li><li> Después de completar el proceso de hilatura, presione el botón &quot;vacío&quot; de nuevo para liberar el sustrato recubierto del soporte. </li><li> Sostenga cuidadosamente el sustrato revestido con una pinza para mantener la superficie lisa y limpia. Transferir el sustrato directamente sobre la placa caliente a 65 ° C durante 6 minutos y luego sobre la placa caliente a 95 ° C durante 40 minutos (horneado suave). NOTA: Se requiere hornear a 65 ° C para asegurar la evaporación lenta del disolvente, resultando en un mejor recubrimiento y mejor adherencia.O el sustrato, mientras que la cocción a 95 ° C densifica aún más el SU8. </li><li> Mientras tanto, presione el interruptor para encender el sistema de exposición a los rayos UV y ajuste el tiempo de exposición a &quot;12 s&quot; utilizando el botón de ajuste del sistema. NOTA: Para una capa SU8 de 250 μm de espesor, la energía de exposición debe ser de 360 ​​mJ / cm 2 . </li><li> Una vez completada la etapa de cocción (paso 2.10), coloque el sustrato en el sistema de exposición a los rayos UV y coloque el lado impreso de una fotomáscara (del paso 2.1) sobre el mismo. Utilice todo el área de la máscara para cubrir el sustrato recubierto y presione suavemente para asegurar que no haya espacio entre la máscara y el sustrato. </li><li> Exponer el sustrato recubierto de SU8 a la radiación UV a través de la fotomáscara utilizando configuraciones UV predefinidas. </li><li> Calentar nuevamente el sustrato colocándolo directamente sobre la placa de cocción a 65 ° C durante 5 min ya 95 ° C durante 14 min para una cocción post-exposición (PEB). NOTA: El PEB aumenta el grado de reticulación en las áreas expuestas a los rayos UV yRevestimiento más resistente a los disolventes en la etapa de desarrollo. </li><li> Eliminar las regiones fotorresistentes no expuestas sumergiendo el sustrato en la solución reveladora dedicada, colocada en un vaso de precipitados, durante 20 min. Agite continuamente la solución (con cuidado) para asegurar la eliminación completa de las áreas de resistencia no expuestas. </li><li> Seque las estructuras desarrolladas sujetando el sustrato y soplando nitrógeno o aire comprimido sobre él. </li><li> Inspeccione la oblea bajo un microscopio con una ampliación de 50X para comparar los patrones transferidos a la fotorresistencia con los patrones deseados. </li></ol> 3. Fabricación de la estructura del carbón 3D: Pirólisis <ol><li> Colocar las muestras preparadas usando fotolitografía (pasos 2.1-2.17) dentro de un horno a presión de tubo abierto. </li><li> Encienda el horno y establezca los parámetros para la pirólisis, como se mencionó anteriormente en el paso 1. Repita el proceso desde el paso 1.6-1.8. </li><li> Manejar las muestras con cuidado usando pinzas y proceda a caracterizarCión. </li></ol>

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</ol>

Los autores no tienen nada que revelar.

En este trabajo se informaron los métodos para fabricar una variedad de microestructuras de carbono basadas en la pirólisis de materiales precursores naturales o estructuras poliméricas con motivos fotográficos. Los materiales de carbono resultantes de los procesos C-MEMS / C-NEMS tradicionales y no convencionales se encuentran típicamente que son carbones vítreos. El carbono vítreo es un material de electrodo ampliamente utilizado para la electroquímica y también para aplicaciones de alta temperatura. La microestructur...

El carbón tiene muchos alótropos y, dependiendo de la aplicación particular, se puede elegir uno de los siguientes alótropos: nanotubos de carbono (CNTs), grafito, diamante, carbono amorfo, lonsdaleita, buckminsterfullereno (C 60 ), fullerita (C 540 ), fullereno C $ _ $ ), y carbono vítreo 1 , 2 , 3 , 4 . El carbono vítreo es uno de los alótropos más utilizados debido a sus propiedades físicas, incluyendo alta isotropía. También tiene las siguientes propiedades: buena conductividad eléctrica, bajo coeficiente de dilatación térmica e impermeabilidad al gas. Ha habido una búsqueda continua de materiales precursores ricos en carbono para obtener estructuras de carbono. Estos precursores pueden ser materiales artificiales o productos naturales que están disponibles en formas particulares, e incluso incluyen productos de desecho. Una amplia variedad de micr<html> Las nanoestructuras se forman a través de procesos biológicos o ambientales en la naturaleza, dando como resultado características únicas que son extremadamente difíciles de crear usando herramientas de fabricación convencionales. Como el patrón se llevó a cabo naturalmente en este caso, la síntesis de nanomateriales utilizando precursores de hidrocarburos naturales y residuos podría llevarse a cabo utilizando un fácil, un paso de proceso de descomposición térmica en una atmósfera inerte o vacío, llamada pirólisis [ 5] . Se han producido grafeno de alta calidad, CNT de una pared, CNTs de paredes múltiples y puntos de carbono por descomposición térmica o pirólisis de precursores y desechos derivados de plantas, incluyendo semillas, fibras y aceites, tales como aceite de trementina, aceite de sésamo , Aceite de neem ( Azadirachta indica ), aceite de eucalipto, aceite de palma y aceite de jatrofa. También se han utilizado productos de alcanfor, extractos de árboles de té, alimentos de desecho, insectos, desechos agrícolas y productos alimenticios 6 , 7 ,8 , 9 Recientemente, los investigadores han utilizado incluso los capullos de seda como material precursor para preparar microfibras porosas de carbono [ 10] . El cabello humano, generalmente considerado como un material de desecho, fue utilizado recientemente por este equipo. Está constituido por aproximadamente 91% de polipéptidos, que contienen más de 50% de carbono; El resto son elementos como oxígeno, hidrógeno, nitrógeno y azufre 11 . El cabello también viene con varias propiedades interesantes, como degradación muy lenta, alta resistencia a la tracción, alto aislamiento térmico y alta recuperación elástica. Recientemente, se ha utilizado para preparar copos de carbono empleados en supercondensadores 12 y para crear microfibras huecas de carbono para detección electroquímica 13 . El mecanizado de un material de carbono a granel para fabricar estructuras tridimensionales (3D) es una tarea difícil, ya que el material es muy quebradizo. Ión enfocadoAm 14 , 15 o grabado con iones reactivos 16 pueden ser útiles en este contexto, pero son procesos costosos y que consumen tiempo. La tecnología del sistema microelectromecánico de carbono (C-MEMS), que se basa en la pirólisis de estructuras poliméricas modeladas, representa una alternativa versátil. En las últimas dos décadas, C-MEMS y sistemas nanoelectromecánicos de carbono (C-NEMS) han recibido mucha atención debido a los sencillos y económicos pasos de fabricación involucrados. El proceso de fabricación de C-MEMS convencional se lleva a cabo en dos etapas: (i) modelar un precursor de polímero ( por ejemplo, un fotorresistente) con fotolitografía y (ii) pirólisis de las estructuras modeladas. Los precursores del polímero ultravioleta (UV) -curables, tales como fotorresistencias SU8, se usan a menudo para modelar estructuras basadas en fotolitografía. En general, el proceso de fotolitografía incluye etapas para el recubrimiento por centrifugado, cocción suave, exposición a UV, post horneado y desarrollo.Desarrollo. En el caso de C-MEMS; silicio; dióxido de silicio; Nitrido de silicona; cuarzo; Y, más recientemente, el zafiro se han utilizado como sustratos. Las estructuras de polímero con motivos fotográficos se carbonizan a una temperatura elevada (800-1100 ° C) en un entorno libre de oxígeno. A esas elevadas temperaturas en vacío o atmósfera inerte, se eliminan todos los elementos que no son de carbono, dejando sólo carbono. Esta técnica permite la obtención de estructuras de carbono vítreo de alta calidad, que son muy útiles para muchas aplicaciones, incluyendo la detección electroquímica 17 , el almacenamiento de energía 18 , la nanogeneración triboeléctrica 19 y la manipulación de partículas electroquinéticas 20. También, la fabricación de microestructuras 3D con Las proporciones de aspecto altas usando C-MEMS se han vuelto relativamente fáciles y han conducido a una amplia variedad de aplicaciones de electrodos de carbono 18 , 21 , </sup&gt; 22 , 23 , reemplazando a menudo los electrodos de metal noble. En este trabajo se introduce el desarrollo reciente de una manera sencilla y rentable de fabricar microfibras huecas de carbono a partir del cabello humano usando tecnología C-MEMS no convencional 13 . El proceso C-MEMS convencional basado en polímero SU8 también se describe aquí. Específicamente, se describe el procedimiento de fabricación para sólidos de relación de aspecto alto y estructuras SU8 huecas 24.

<table><tbody><tr><td>SU8-2100</td><td>Microchem</td><td>Número de producto-Y1110750500L</td><td></td></tr><tr><td>Spinner</td><td>Laurell Technologies Corporation</td><td>Modelo-WS650HZB-23NPP/UD3</td><td></td></tr><tr><td>Placa calefactora</td><td>Torrey Pines Scientific</td><td>HS61</td><td></td></tr><tr><td>Lámpara de mercurio con exposición UV,</td><td>SYLVANIA</td><td>H44GS-100M, P/N-34-0054-01</td><td></td></tr><tr><td>Fotomáscara</td><td>CAD/Arte</td><td></td><td>Sin número</td></tr><tr><td>Desarrollador&nbsp;</td><td>Microchem</td><td>Y020100 4000L&nbsp;</td><td></td></tr><tr><td>Sistema de agua DI</td><td>Milli Q</td><td>ZOOQOVOTO</td><td></td></tr><tr><td>IPA</td><td>CTR Sientific</td><td>CTR 01244</td><td></td></tr><tr><td>N2 gas</td><td>AOC México</td><td></td><td>Nº de número</td></tr><tr><td>Horno</td><td>PEO 601, ATV Technologie GMBH</td><td>Modelo-PEO 601, Nº de serie-195</td><td></td></tr><tr><td>Si/SiO2</td><td>Noel Technologies</td><td></td><td></td></tr></tbody></table>

fabricación de sistemas microelectromecánicos de carbono 3d (c-mems)

Fabrication of 3D Carbon Microelectromechanical Systems (C-MEMS)

Una gran variedad de fuentes de carbono están disponibles en la naturaleza, con una variedad de configuraciones de micro / nanoestructura. Aquí, se introduce una nueva técnica para fabricar microfibras de carbono vítreo largas y huecas derivadas de pelos humanos. Las estructuras de carbono largas y huecas se hicieron mediante la pirólisis del cabello humano a 900 ° C en una atmósfera de N2. La morfología y composición química de cabellos humanos naturales y pirolizados fueron investigadas mediante microscopía electrónica de barrido (SEM) y espectroscopia de rayos X de dispersión de electrones (EDX), respectivamente, para estimar los cambios físicos y químicos debidos a la pirólisis. La espectroscopia Raman se utilizó para confirmar la naturaleza vítrea de las microestructuras de carbono. Se introdujo carbón de cabello pirolizado para modificar electrodos de carbón de pantalla impresa; Los electrodos modificados se aplicaron luego a la detección electroquímica de dopamina y ácido ascórbico. El rendimiento de detección de los sensores modificados se mejoró en comparación con el método unmodiSensores. Para obtener el diseño de la estructura de carbono deseada, se desarrolló la tecnología del sistema micro-nanoelectromecánico de carbono (C-MEMS / C-NEMS). El proceso más común de fabricación de C-MEMS / C-NEMS consiste en dos etapas: (i) el modelado de un material base rico en carbono, tal como un polímero fotosensible, usando fotolitografía; Y (ii) carbonización a través de la pirólisis del polímero modelado en un entorno libre de oxígeno. El proceso de C-MEMS / NEMS ha sido ampliamente utilizado para desarrollar dispositivos microelectrónicos para diversas aplicaciones, incluyendo micro-baterías, supercapacitores, sensores de glucosa, sensores de gas, pilas de combustible y nanogeneradores triboeléctricos. Aquí, se discuten desarrollos recientes de microestructuras sólidas y huecas de carbono de alto aspecto con fotorresistencias SU8. La contracción estructural durante la pirólisis se investigó utilizando microscopía confocal y SEM. La espectroscopia Raman se utilizó para confirmar la cristalinidad de la estructura, y el porcentaje atómico de los elementos preseNt en el material antes y después de la pirólisis se midió usando EDX.

En la figura 1 se muestra un esquema del proceso de fabricación de microfibras huecas de carbono derivadas del cabello humano. El cabello humano carbonizado se caracterizó utilizando SEM para estimar la contracción. El diámetro del cabello disminuyó de 82,88 ± 0,003 μm a 31,42 ± 0,003 μm debido a la pirólisis. En la Figura 2 se muestran imágenes microscópicas electrónicas de barrido (SEM) de diversos patrones realizados usando m...

Se fabricaron microfibras de carbono vítreo largas y huecas basadas en la pirólisis de un producto natural, cabello humano. Las dos etapas de fabricación de los sistemas microelectromecánicos de carbono y nanoelectromecánicos de carbono, o C-MEMS y C-NEMS, son: (i) fotolitografía de un precursor de polímero rico en carbono y (ii) pirólisis del precursor de polímero modelado.

Fabricación de sistemas microelectromecánicos de carbono 3D (C-MEMS)

A wide range of carbon sources are available in nature, with a variety of micro-/nanostructure configurations. Here, a novel technique to fabricate long ...

El objetivo general de este procedimiento es fabricar estructuras tridimensionales de carbono utilizando procesos convencionales y no convencionales de microelectromecánica de carbono, con fuentes de carbono basadas en el polímero SU-8 y en cabello humano, respectivamente. Hace 20 años, iniciamos en realidad un proceso completamente nuevo en el que sustituimos al silicio como material principal para la fabricación de dispositivos MEMS, sistemas microelectromecánicos. Nuestra idea es que el carbono es un material mejor que el silicio para crear estas formas tridimensionales.En concreto, tomamos un precursor polimérico, lo configuramos y luego lo convertimos en carbono a alta temperatura, aproximadamente entre 900 y 1.000 grados C, en una atmósfera inerte. Lo que ocurre en ese proceso es que se conserva la forma, pero se encoge. En otras palabras, se produce una contracción isométrica, y se obtiene cualquier forma de carbono 3D que se pueda imaginar.Esto se denomina MEMS de carbono. Es mucho menos costoso porque todo lo que hago es tomar un precursor de carbono, un polímero, estructurarlo en tres dimensiones y luego convertirlo en carbono. El carbono existe en muchas alótropos, desde el diamante hasta el grafito y el carbono vítreo.Dependiendo de cómo pretreate las cadenas del polímero, en realidad puedo obtener una estructura de carbono tridimensional que sea más grafítica, más parecida al diamante o más parecida al carbono vítreo. Hoy, el proceso de MEMS de carbono será demostrado para ustedes por mi estudiante de posgrado, Esham Shomloo. Para comenzar el procedimiento de fabricación de la estructura polimérica, primero configure una placa calefactora a 95 grados Celsius.Encienda un centrifugador y la bomba de vacío conectada. Programe una secuencia de centrifugado en dos pasos con un primer paso de 10 segundos a 500 rpm y un segundo paso de 30 segundos a 1.000 rpm, ambos con una velocidad de rampa de 100 rpm por segundo. Coloque una oblea de silicio u otro sustrato sobre el soporte de vacío del centrifugador.Inicie el vacío para fijar el sustrato al portador. Aplique suficiente resistencia negativa fotosensible a base de resina epoxi para cubrir la superficie del sustrato. Ejecute la secuencia de recubrimiento por centrifugación en dos pasos para obtener un espesor final de resistencia fotosensible de uno a 250 micrones.Suelte el sustrato del portador. Utilizando pinzas, transfiera cuidadosamente el sustrato a la placa calefactora de 95 grados Celsius sin perturbar la película delgada. Incube el sustrato a 95 grados Celsius durante uno a 40 minutos, dependiendo del espesor del fotoresistente.Durante la cocción suave, encienda el sistema UV de fotolitografía y ajuste el tiempo de exposición a 12 segundos. Una vez finalizada la cocción suave, transfiera el sustrato al sistema UV. Sujete la máscara con el patrón mediante un portamáscara de vacío.Coloque el soporte de la máscara con la máscara en el sistema de exposición UV. Coloque el sustrato recubierto con fotoresistente en la etapa del sistema de exposición UV. Cubra el sustrato con la máscara patroneada y presione suavemente la máscara contra el sustrato.Exponga el sustrato a luz UV durante la duración establecida y luego separe la máscara del sustrato. Realice un horneado posterior a la exposición a 95 grados Celsius durante uno a 15 minutos, dependiendo del espesor del fotoresistente. Sumerja el sustrato en la solución reveladora adecuada durante uno a 20 minutos, agitando suavemente el recipiente. Seque la oblea con el patrón bajo un chorro de gas nitrógeno o aire comprimido.Inspeccione la oblea bajo un microscopio con un aumento de 50 veces para verificar que el patrón deseado tenga una buena forma. Luego, coloque la oblea con el patrón en un horno de tubo presurizado con extremos abiertos. Establezca el caudal durante los primeros 15 minutos de la secuencia en 1,5 veces el volumen del tubo del horno por minuto y luego en un volumen del tubo del horno por minuto para el resto de la secuencia.Establezca una secuencia de rampa hasta 300 grados Celsius a cinco grados Celsius por minuto, manteniendo a 300 grados Celsius durante una hora, rampa hasta 900 grados Celsius a la misma velocidad y mantenimiento durante una hora, y luego enfriamiento hasta 300 grados Celsius a 10 grados Celsius por minuto. A continuación, ejecute la secuencia de calentamiento y enfriamiento. Una vez finalizada la secuencia, espere a que la muestra pirólizada se enfríe a temperatura ambiente bajo una corriente de gas nitrógeno.A continuación, apague el horno y el flujo de gas. Luego, retire cuidadosamente la muestra pirólizada del horno y proceda a la caracterización. Para comenzar la fabricación de una estructura de carbono 3D derivada del cabello, lave una muestra de cabello humano con agua desionizada.Seque la muestra de cabello bajo una corriente de gas nitrógeno. Obtenga una oblea de silicio o un crisol de cerámica. Coloque los cabellos individuales en la configuración deseada sobre la oblea o dentro del crisol.Si se utiliza un oblea de silicio, fije los pelos al oblea con un polímero a base de epoxi. Luego, coloque la muestra en un horno de tubo abierto presurizado. Realice la secuencia de pirólisis para primero estabilizar y luego carbonizar la muestra.Deje que la muestra se enfríe a temperatura ambiente bajo un flujo de nitrógeno. Luego, retire cuidadosamente la muestra del horno, utilizando pinzas cuando sea necesario, y proceda a la caracterización. Se prepararon microfibras de carbono derivadas del cabello en varios patrones, dependiendo de la disposición inicial de la muestra de cabello.Se realizaron espectroscopía de rayos X por dispersión de energía y espectroscopía Raman antes y después de la pirólisis. Solo aparecieron dos picos correspondientes a las bandas D y G en el espectro Raman tras la pirólisis. La relación de intensidad entre los picos indicó que las microestructuras estaban compuestas principalmente de carbono vítreo.Los sensores electroquímicos se fabricaron utilizando carbono puro, nanotubos de carbono o fibras de carbono derivadas del cabello. La voltametría cíclica de soluciones de dopamina y ácido ascórbico mostró que el electrodo que incorporaba las fibras de carbono derivadas del cabello presentaba un rendimiento mejorado en comparación con el carbono puro, aunque no alcanzó el rendimiento de los nanotubos de carbono. Espero que este breve video sobre MEMS de carbono inspire a muchos de ustedes a explorar el proceso por sí mismos.De hecho, hay muchas, muchas más aplicaciones que puedo ver surgir de este proceso sencillo. Esto puede abarcar desde baterías novedosas, nuevas celdas de combustible, nuevos sensores, etc. Quizás, superar al silicio como el material más importante para materiales MEMS.

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