Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition of Metal Oxide Structures: Zinc Oxide Rods

Stella Vallejos; Nade&#780;z&#780;da Pizu&#769;rova&#769;; Jan &#268;echal; Isabel Gr&#224;cia; Carles Can&#233;

doi:10.3791/56127

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Quimica

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Aerosol-asistida por deposición de Vapor químico del óxido de Metal estructuras: barras de óxido de Zinc

Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition of Metal Oxide Structures: Zinc Oxide Rods

JoVE Revista
Quimica

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Aerosol-assisted Chemical Vapor Deposition of Metal Oxide Structures: Zinc Oxide Rods

Aerosol-asistida por deposición de Vapor químico del óxido de Metal estructuras: barras de óxido de Zinc

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06:39 min

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September 14, 2017

DOI:

10.3791/56127-v

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10.3791/56127-v

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September 14, 2017

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Stella Vallejos^1,2, Naděžda Pizúrová³, Jan Čechal⁴, Isabel Gràcia¹, Carles Cané¹

¹Instituto de Microelectrónica de Barcelona (IMB-CNM, CSIC)²SIX Research Centre,Brno University of Technology ³Institute of Physics of Material,Academy of Science of Czech Republic ⁴Institute of Physical Engineering and Central European Institute of Technology,Brno University of Technology

Summary

Estructuras cilíndricas de óxido de zinc en forma de varillas se sintetizan mediante deposición de vapor químico asistida por aerosol sin el uso de partículas de catalizador-semilla previamente depositadas. Este método es escalable y compatible con varios sustratos basados en silicio, cuarzo o polímeros.