Microscopía electrónica de barrido (MEB)

1. preparación de la muestra

1. Muestra lugar en trozo de muestra. Si es necesario, se puede usar cinta de carbono unida para la muestra el trozo.
2. Coloque la muestra en un sistema de sputtering de oro. Usando una época sputter, Farfullar oro de 30 s a ~ 70 presión mTorr. Un espesor de capa de oro diferentes puede ser necesario dependiendo de la geometría de la muestra. Superficie más áspera o porosa requiere un tiempo largo farfulla.
3. Retire el trozo de oro sistema de sputtering.

2. inserción y SEM puesta en marcha de la muestra

1. Ventilación de la cámara SEM, lo que permite la cámara hasta alcanzar la presión nominal.
2. Abra el compartimento de muestra del SEM y quitar el escenario de la muestra.
3. Insertar el trozo de muestra que contiene la muestra en el escenario. Apriete el talón en su lugar.
4. Si la distancia z no puede ser controlada por el software, asegúrese de que el escenario muestra con trozo de muestra tiene la altura correcta para obtener la mejor imagen.
5. Poner la etapa de muestra en cámara de la muestra. Cierre el compartimento de muestra.
6. Encienda las bombas y sistema a vacío. El sistema notificará al usuario cuando este se haya completado.
7. Abra el software de SEM. Seleccione la deseada tensión que van desde 1 a 30 kV. Voltaje de funcionamiento más alto da mejor contraste de la imagen, pero puede producir una resolución más baja si los cargos se acumulan en la muestra.

3. captura de la imagen de SEM

1. Comenzar 'Autofoco' en el software de SEM haciendo clic en el icono de llave. Esto adquirirá una imagen enfocada de la muestra a utilizar como punto de partida.
2. Asegúrese de que el aumento se establece en el nivel mínimo de zoom de 50 X.
3. Seleccione el modo 'fast scan'.
4. Ajuste el enfoque en modo grueso hasta que se adquiere un enfoque áspero.
5. Ajustar el escenario manualmente con los botones exteriores para que la región de interés es visible en la pantalla.
6. Aumentar el nivel de ampliación hasta que se observe la característica deseada. Ajuste la perilla de enfoque gruesa para más o menos enfocar la imagen en este aumento. Entonces, mejorar el enfoque con el mando de enfoque fino para obtener una imagen enfocada en el nivel de ampliación deseado. Este paso se repetirá cada vez que se aumenta el nivel de ampliación.
7. Una vez se haya alcanzado la ampliación deseada, ajuste la perilla de enfoque fineza para mejorar la claridad.
8. Para optimizar la claridad de la imagen, aumentar la magnificación cerca del nivel máximo y luego enfocar la imagen mediante la perilla de enfoque fino. Si no puede obtenerse una imagen nítida, ajuste la stigmation en dirección x e y. Mantener ajustando el enfoque y stigmations hasta obtener la imagen más clara en el nivel de ampliación exagerada.
9. Después de alcanzar una calidad de imagen de la muestra, volver al nivel de ampliación deseado. Puede tomar la imagen pulsando el botón de la foto 'foto lento' o ' rápido ' modo. El modo 'foto lento' da mejor calidad y alta resolución de la imagen.

4. realizar mediciones utilizando el Software de SEM

1. En la lista desplegable de 'Paneles', seleccione 'Herramientas de la M.'.
2. Las distintas medidas como longitud, área y ángulo pueden medirse directamente en el software de SEM. Para realizar una de estas medidas, haga clic en el icono deseado en la ventana de M. herramientas.
3. Desplácese hasta el sitio de medición en la imagen SEM. Las mediciones se realizan haciendo clic en la imagen para crear puntos de referencia que será analizada por el software. Puntos de datos medidos pueden insertarse directamente en la imagen si lo desea el usuario.
4. Imágenes luego se guardan en el ordenador.