Radio Frequency Magnetron Sputtering of GdBa2Cu3O7&#8722;&#948;/ La0.67Sr0.33MnO3 Quasi-bilayer Films on SrTiO3 (STO) Single-crystal Substrates

Ying Wang; Zhen Li; YongSheng Liu; Yijie Li; Linfei Liu; Da Xu; Xiaojing Luo; Tian Gao; Yanyan Zhu; Luozeng Zhou; Jianming Xu

doi:10.3791/58069

Radio frecuencia de magnetrón Sputtering de GdBa2Cu3O7−

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Radio Frequency Magnetron Sputtering of GdBa₂Cu₃O₇₋_δ/ La_0.67Sr_0.33MnO₃ Quasi-bilayer Films on SrTiO₃ (STO) Single-crystal Substrates

Radio frecuencia de magnetrón Sputtering de GdBa2Cu3O7−δ/ La0.67Films Sr0.33MnO3 cuasi-bicapa sobre sustratos de monocristal SrTiO3 (STO)

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06:49 min

April 12, 2019

DOI: 10.3791/58069-v

Ying Wang^1,2, Zhen Li^1,2, YongSheng Liu¹, Yijie Li², Linfei Liu², Da Xu², Xiaojing Luo¹, Tian Gao^1,3, Yanyan Zhu^1,4, Luozeng Zhou³, Jianming Xu³

¹Department of Physics, Mathematics, Shanghai Key Laboratory of Materials Protection and Advanced Materials in Electric Power,Shanghai University of Electric Power, ²Key Laboratory of Artificial Structure and Quantum Control, Ministry of Education, Department of Physics,Shanghai Jiao Tong University, ³Shanghai Institute of Space Power-sources, ⁴Shanghai Key Laboratory of High Temperature Superconductors,Shanghai University

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Aquí, presentamos un protocolo para producir nanopartículas LSMO y (Gd) BCO películas SrTiO (001)₃ (STO) monocristal sustratos por radio frecuencia (RF)-sputtering.

Este método puede crear las nanopartículas LSMO uniformemente en un sustrato de un solo cristal STO. Además, la película GBCO se puede obtener mediante el mismo método en la misma cámara de vacío. La principal ventaja de esta tecnología es que las nanopartículas LSMO con un tamaño uniforme y una película GBCO superconductora de alta calidad se pueden depositar en la misma cámara de vacío.

Este método puede proporcionar información sobre el área de deposición de película, el área de crecimiento de nanopartículas, etc. También se puede aplicar a la deposición de película de metal, deposición de nanopartículas de metal, etc. Este método permitirá a los investigadores familiarizarse con los equipos de vacío y aprender más sobre la tecnología de crecimiento de película.

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