Fabrication de guides d’ondes en mode zéro pour la microscopie à molécule unique à haute concentration

Résumé

Décrit ici est une méthode de lithographie de nanosphère pour la fabrication parallèle de guides d’ondes en mode zéro, qui sont des réseaux de nanoapertures dans une lame de couverture de microscopie en verre revêtu de métal pour l’imagerie à molécule unique à des concentrations nano- à micromolaires de fluorophores. La méthode tire parti de l’auto-assemblage de cristaux colloïdaux pour créer un modèle de guide d’ondes.

Résumé

En enzymologie de fluorescence à molécule unique, la fluorescence de fond à partir de substrats marqués en solution limite souvent la concentration de fluorophores à des plages pico- à nanomolaires, plusieurs ordres de grandeur inférieures à de nombreuses concentrations physiologiques de ligands. Les nanostructures optiques appelées guides d’ondes en mode zéro (ZMW), qui ont des ouvertures de 100−200 nm de diamètre fabriquées dans un métal conducteur mince tel que l’aluminium ou l’or, permettent l’imagerie de molécules individuelles à des concentrations micromolaires de fluorophores en limitant l’excitation de la lumière visible à des volumes efficaces zéptolitres. Cependant, le besoin d’équipements de nanofabrication coûteux et spécialisés a empêché l’utilisation généralisée des ZMW. En règle générale, les nanostructures telles que les ZMW sont obtenues par écriture directe à l’aide de la lithographie par faisceau d’électrons, qui est séquentielle et lente. Ici, colloïdale, ou nanosphère, la lithographie est utilisée comme une stratégie alternative pour créer des masques à l’échelle nanométrique pour la fabrication de guides d’ondes. Ce rapport décrit l’approche en détail, avec des considérations pratiques pour chaque phase. La méthode permet de faire des milliers de ZMW en aluminium ou en or en parallèle, avec des diamètres et des profondeurs de guide d’ondes finaux de 100−200 nm. Seuls l’équipement de laboratoire commun et un évaporateur thermique pour le dépôt de métaux sont requis. En rendant les ZMW plus accessibles à la communauté biochimique, cette méthode peut faciliter l’étude des processus moléculaires aux concentrations et aux taux cellulaires.

Introduction

Les techniques monomoléculaires telles que le transfert d’énergie de résonance de fluorescence à molécule unique (smFRET) ou la spectroscopie de corrélation de fluorescence à molécule unique (FCS) sont des outils puissants pour la biophysique moléculaire, permettant l’étude des mouvements dynamiques, des conformations et des interactions de biomolécules individuelles dans des processus tels que la transcription^1,2,3,la traduction^4,5,6,et bien d’autres^7. Pour smFRET, la microscopie à fluorescence par réflexion interne totale (TIRF) est une méthode courante car de nombreuses molécules attachées peuvent être suivies au fil du temps, et l’onde évanescente générée par TIR est limitée à une région de 100−200 nm adjacente à la la lamelle de couverture^8. Cependant, même avec cette restriction sur le volume d’excitation, les fluorophores d’intérêt doivent encore être dilués dans des plages pM ou nM afin de détecter des signaux à molécule unique au-dessus de la fluorécence de fond^9. Étant donné que les constantes de Michaelis-Menten des enzymes cellulaires se situent généralement dans la plage μM à mM^10,les réactions biochimiques dans les études à molécule unique sont généralement beaucoup plus lentes que celles dans la cellule. Par exemple, la synthèse des protéines se produit à 15−20 acides aminés par seconde chez E. coli^11,12, tandis que la plupart des ribosomes procaryotes dans les expériences smFRET se traduisent à 0,1−1 acide aminé par seconde¹³. Dans la synthèse des protéines, les structures cristallines et le smFRET sur les ribosomes bloqués ont montré que les ARN de transfert (ARNt) fluctuent entre les états « hybrides » et « classiques » avant l’étape de translocation ARNt-ARNm^14,15. Cependant, lorsque des concentrations physiologiques du facteur GTPase de translocation, EF-G, étaient présentes, une conformation différente, intermédiaire entre les états hybride et classique, a été observée dans smFRET^6. L’étude des processus moléculaires dynamiques à des taux et des concentrations similaires à ceux de la cellule est importante, mais reste un défi technique.

Une stratégie pour augmenter la concentration du substrat fluorescent est l’utilisation d’ouvertures de longueur d’onde sous-visibles à base de métal, appelées guides d’ondes à mode zéro (ZMW), pour générer des champs d’excitation confinés qui excitent sélectivement des biomolécules localisées dans les ouvertures¹⁶ (Figure 1). Les ouvertures sont généralement de 100−200 nm de diamètre et de 100−150 nm de profondeur¹⁷. Au-dessus d’une longueur d’onde de coupure liée à la taille et à la forme des puits (λ_c ≈ 2,3 fois le diamètre pour les guides d’ondes circulaires avec de l’eau comme milieu diélectrique^18),aucun mode de propagation n’est autorisé dans le guide d’ondes, d’où le terme de guides d’ondes en mode zéro. Cependant, un champ électromagnétique oscillant, appelé onde évanescente, en décroissance exponentielle en intensité creuse encore des tunnels à une courte distance dans le guide d’ondes^18,19. Bien que similaires aux ondes évanescentes TIR, les ondes évanescentes ZMW ont une constante de désintégration plus courte, ce qui entraîne une région d’excitation efficace de 10−30 nm dans le guide d’ondes. Aux concentrations micromolaires de ligands marqués par fluorescence, seulement une ou quelques molécules sont simultanément présentes dans la région d’excitation. Cette restriction du volume d’excitation et la réduction conséquente de la fluorescence de fond permettent l’imagerie par fluorescence de molécules uniques à des concentrations biologiquement pertinentes. Ceci a été appliqué à de nombreux systèmes^20,notamment les mesures FCS de diffusion monoprotéique^21,les mesures FRET à molécule unique des interactions ligand-protéine²² à faible affinité et protéine^23,et les mesures spectro-électrochimiques des événements de renouvellement moléculaire unique^24.

Les ZMW ont été produits en modelant directement une couche métallique à l’aide du fraisage par faisceau d’ions^25,26 ou de la lithographie par faisceau d’électrons (EBL) suivie d’une gravure au plasma^16,27. Ces méthodes de lithographie sans masque créent des guides d’ondes en série et nécessitent généralement l’accès à des installations de nanofabrication spécialisées, empêchant l’adoption généralisée de la technologie ZMW. Une autre méthode, la lithographie par nanoimpression ultraviolette^{lift-off 28}, utilise un moule à lame de quartz pour presser un gabarit ZMW inverse sur un film de résistance comme un tampon. Bien que cette méthode soit plus rationalisée, elle nécessite toujours EBL pour la fabrication du moule à quartz. Cet article présente le protocole d’une méthode de fabrication par modèle simple et peu coûteuse qui ne nécessite pas d’EBL ou de fraisage par faisceau d’ions et est basée sur un emballage rapproché de nanosphères pour former un masque lithographique.

La nanosphère ou lithographie « naturelle », qui a été proposée pour la première fois en 1982 par Deckman et Dunsmuir^29,30,utilise l’auto-assemblage de particules colloïdales monodisperses, allant de dizaines de nanomètres à des dizaines de micromètres^31,pour créer des gabarits de motif de surface via la gravure et / ou le dépôt de matériaux. Les réseaux périodiques étendus bidimensionnels (2D) ou tridimensionnels (3D) de particules colloïdales, appelés cristaux colloïdaux, sont caractérisés par une iridescence brillante de diffusion et de diffraction^32. Bien que moins largement utilisée que le faisceau d’électrons ou la photolithographie, cette méthodologie de masquage est simple, peu coûteuse et facilement réduite pour créer des tailles d’entités inférieures à 100 nm.

Diriger l’auto-assemblage de particules colloïdales détermine le succès de l’utilisation de cristaux colloïdaux comme masques pour le modelage de surface. Si la taille et la forme des particules sont homogènes, les particules colloïdales peuvent être facilement auto-assemblées avec un emballage hexagonal, entraîné par épuisement entropique^33. L’évaporation de l’eau après dépôt est une voie efficace pour sédimenter les particules colloïdales, bien que d’autres méthodes comprennent le trempage-revêtement^34,le spin-coating^35,le dépôt électrophorétique^36,et la consolidation à une interface air-eau^37. Le protocole présenté ci-dessous est basé sur la méthode de sédimentation par évaporation, qui était la plus simple à mettre en œuvre. Les interstices triangulaires entre les billes de polystyrène serrées forment des ouvertures dans lesquelles plaquer un métal sacrificiel, formant des poteaux(figure 2 et figure supplémentaire 1). Un bref recuit des perles avant cette étape ajuste la forme et le diamètre de ces poteaux. Les perles sont enlevées, une dernière couche métallique est déposée autour des poteaux, puis les poteaux sont enlevés. Après les deux étapes de dépôt de métaux sur le nanomasque colloïdal, l’élimination des poteaux intermédiaires et la modification de la chimie de surface pour la passivation et l’attache, les réseaux ZMW sont prêts à être utilisés pour l’imagerie à molécule unique. Une caractérisation plus approfondie des propriétés optiques ZMW après fabrication peut être trouvée dans un article d’accompagnement^38. Outre un évaporateur thermique pour le dépôt en phase vapeur des métaux, aucun outil spécialisé n’est nécessaire.

Protocole

REMARQUE: Toutes les étapes peuvent être effectuées dans l’espace de laboratoire général.

1. Nettoyage des lamaux de couverture en verre

1. Pour fournir une surface propre pour le dépôt par évaporation de particules colloïdales, placez des lamelle de verre borosilicate optique de 24 x 30 mm (épaisseur de 0,16 à 0,19 mm) dans les inserts rainurés d’un bocal de coloration en verre coplin pour le nettoyage.
   REMARQUE: Assurez-vous que les lamures de couverture sont verticales et bien séparées afin que toutes les surfaces soient clairement exposées pendant le processus de nettoyage.
2. Verser suffisamment d’acétone dans le bocal de coloration pour couvrir les lamaux, placer le couvercle et soniquer pendant 10 min à 40 °C.
3. Versez l’acétone et rincez les lamaux de couverture en remplissant le pot de coloration avec du_H2O distillé et en versant l’eau. Répétez 2 fois de plus.
4. Répétez la sonication de l’acétone (étapes 1.2 et 1.3) une fois de plus.
5. Verser suffisamment de KOH de 200 mM dans le bocal pour couvrir les lamelle et soniquer, recouvert, pendant 20 min à 40 °C.
   REMARQUE: Le KOH grave légèrement le verre.
6. Rincer les lamaux d’encré avec du_H2O distillé 6 fois.
7. Ajouter de l’éthanol pour couvrir les lamaux, ajouter le couvercle et soniquer pendant 10 min à 40 °C.
8. Rincer les lamaux avec du_H2O distillé 3 fois.
9. Ramassez chaque lamelle au bord à l’aide de pinces douces et séchez les lamelle avec du gaz_N2. Ne touchez que les bords de la lamelle. Placez chacune des lamelle séchée et nettoyée dans une boîte de Pétri propre.

2. Dépôt par évaporation de billes de polystyrène

1. Pour créer le masque à cristaux colloïdaux pour le réseau ZMW, centrifuger 50 μL de 1 μm de diamètre, des billes de polystyrène non fonctionnalisées (2,5 % p/v dans l’eau) à 15 000 x g,25 °C pendant 5 min.
   REMARQUE: Avant de pipetter les perles, la solution mère doit être brièvement vortexée au cas où les perles se seraient déposées au fond de la bouteille.
2. Jetez le surnageant, en laissant le moins d’eau possible.
   REMARQUE: L’eau résiduelle peut modifier les propriétés d’évaporation de la remise en suspension de l’éthanol^39,de sorte que l’élimination d’une petite quantité de billes afin d’éliminer toute l’eau est acceptable.
3. Ressusciter les billes de l’étape 2.2 dans 50 μL de 1:400 TritonX-100:éthanol solvant. Pipetter de haut en bas plusieurs fois pour bien mélanger les perles avec le solvant.
   REMARQUE: TritonX-100: solvant éthanol doit être scellé avec un film de paraffine après utilisation et préparé frais une fois par mois. Les perles ont tendance à adhérer aux côtés d’un récipient en plastique, comme un tube à microcentrifugation, donc pipetter le long des côtés pour s’assurer que toutes les perles sont remises en suspension.
4. Pour mettre en place une chambre d’humidité pour le dépôt, placez 6 boîtes de Pétri, chacune avec une lamelle de couverture, sur un banc dans une ligne avec des couvercles laissés légèrement entrouvertes. Dans chaque plat, déplacez la lamelle vers la région ouverte afin que les lamelle soient exposées à l’environnement lorsque l’humidité augmente à l’étape suivante.
5. Placez un hygromètre et un petit ventilateur électrique centré derrière les boîtes de Pétri.
6. Consigner l’humidité relative (HR) de départ en laboratoire. Remplissez un bécher de 200 mL avec 150−200 mL d’eau d’environ 75 °C et placez-le derrière le ventilateur.
7. Allumez le ventilateur et couvrez les boîtes de Pétri, le ventilateur, le bécher et l’hygromètre d’un récipient de stockage en plastique transparent renversé (66 cm x 46 cm x 38 cm).
8. Laissez l’HR dans la chambre s’élever à 70−75%, ce qui prend généralement 5−10 min.
   REMARQUE: Si l’HR ambiante en laboratoire est faible (inférieure à ~ 50%), laissez la chambre atteindre une HR plus élevée, mais pas plus élevée que 80%, pour compenser la perte d’humidité pendant le dépôt (voir ci-dessous).
9. Lorsque l’HR atteint 70 à 75%, enregistrez l’HR et soulevez légèrement le récipient de stockage en plastique pour placer rapidement des couvercles sur les boîtes de Petri, ce qui empêche le mouillage trop humide des lamdes.
   REMARQUE: La température dans la chambre sera légèrement plus chaude que la température ambiante, généralement de 25−26 °C, à la suite de l’humidification. Si de l’humidité est visible sur les lamelle, les surfaces vitrées sont trop humides. Une boîte à gants commerciale pourrait simplifier cette partie du protocole.
10. Que l’HR dans la chambre continue de monter à 85%. À ce stade, enregistrez l’HR dans la chambre d’humidité et pipettez 5 μL de la suspension de perles au centre de chaque lamelle.
11. Fermez la chambre et les boîtes de Pétri après chaque dépôt pour minimiser la perte d’humidité. Visez à terminer les 6 dépôts dans un délai de 2 min.
12. Enregistrer l’HR dans la chambre après la déposition.
    REMARQUE: L’HR après le dépôt aidera à évaluer à quelle vitesse l’humidité a été perdue pendant le dépôt, ce qui dépend des conditions ambiantes de laboratoire. Pour une course typiquement réussie, la chambre commencera à 85% HR avant le dépôt et se terminera à 70−75% HR après le dépôt.
13. Laissez les gouttelettes de perles se propager et sécher pendant 5 min.
    REMARQUE: Si les cristaux colloïdaux ont de nombreux trous ou régions multicouches, alors la chambre était probablement trop humide ou sèche, respectivement. Ajuster l’humidité relative à laquelle fermer les boîtes de Pétri et commencer les dépôts (voir la section des résultats pour plus de détails sur l’optimisation).

3. Recuit de perles pour réduire la taille des pores dans le modèle de cristal colloïdal

1. Pour fournir une surface de température uniforme pour le recuit des billes de polystyrène, qui rétrécit les inter-perles et arrondit les coins des interstices, placez une plaque d’aluminium plate et fraisée sur une plaque chauffante en céramique standard.
2. Réglez la température de la plaque chauffante à 107 °C, la température de transition vitreuse du polystyrène^{à 40}.
   REMARQUE: Pour obtenir une température stable et précise, une sonde de thermocouple a été maintenue dans un trou de 2−3 mm de large et de 4−5 mm de profondeur dans la plaque d’aluminium.
3. Placez une lamelle contenant le gabarit de perle sur la plaque d’aluminium chaud et recuit pendant 20 s (voir la section de discussion pour une explication du temps de fusion).
4. Après le chauffage, retirez la lamelle de couverture de la plaque d’aluminium et placez-la rapidement sur une autre surface en aluminium à température ambiante pour la refroidir.
   REMARQUE: Il est utile d’avoir les lamelle de couverture suspendues légèrement sur le bord de la plaque ou de fraiser des canaux peu profonds (voir la vidéo d’accompagnement) dans la plaque pour faciliter le ramassage des lamaux de couverture.

4. Nanofabrication de guides d’ondes en aluminium à mode zéro à l’aide du gabarit de cristal colloïdal

1. En utilisant un dépôt par évaporation thermique ou par faisceau d’électrons, déposez 300 nm de cuivre à 2 Å/s sur le gabarit de cristal colloïdal pour générer des poteaux dans les interstices entre les billes.
2. Retirez l’excès de métal sur le dessus des perles en appuyant doucement sur la surface avec du ruban adhésif. Décollez lentement le ruban adhésif pour retirer le métal.
   REMARQUE: Quelques petites taches d’excès de métal réfléchissant peuvent rester après la traction du ruban, et celles-ci peuvent souvent être éliminées par un flux de gaz N_2. S’il reste d’importantes taches d’excès de métal réfléchissant après la traction du ruban, essayez de tremper les gabarits dans du toluène pendant 2 h pour dissoudre partiellement les billes de polystyrène. Lavez les lamaux avec de l’eau distillée, séchez avec_N2,et répétez la traction du ruban adhésif. Le trempage supplémentaire ne doit pas dissoudre complètement les perles, car les perles aident à protéger les poteaux des dommages pendant la traction du ruban adhésif.
3. Pour dissoudre les billes de polystyrène, placez les modèles de perles dans du toluène et faites tremper pendant la nuit.
   ATTENTION : Les fumées de toluène peuvent être toxiques. Travaillez avec du toluène sous une cagoule bien ventilée et portez de l’équipement de protection individuelle, y compris des gants, des lunettes de sécurité et un sarrau de laboratoire. Le toluène doit être entreposé dans des armoires ventilées désignées pour les liquides inflammables.
4. Après l’incubation du toluène, rincer les gabarits une fois avec du chloroforme et deux fois avec de l’éthanol. Manipulez soigneusement les lamaux de couverture à ce stade, car les délicats poteaux métalliques de 200−300 nm de haut sont maintenant exposés. Séchez les gabarits avec du_N2 et éliminez les polymères résiduels et les contaminants dans un nettoyant à plasma d’oxygène pendant 30 min.
   ATTENTION : Les fumées de chloroforme peuvent être toxiques. Travaillez avec du chloroforme sous une hotte bien ventilée et portez de l’équipement de protection individuelle, y compris des gants, des lunettes de sécurité et un sarrau de laboratoire. Le chloroforme doit être conservé dans des armoires ventilées à l’écart des autres solvants inflammables.
5. En utilisant un dépôt par évaporation thermique ou par faisceau d’électrons, déposez 3 nm d’une couche d’adhérence en titane à 1 Å/s suivie de 100−150 nm d’aluminium à 4 Å/s autour et au-dessus des poteaux en cuivre.
   REMARQUE: On peut utiliser un revêtement plus épais pour obtenir des guides plus profonds et une meilleure atténuation de la fluorescence de fond, mais cela diminue également le rendement après avoir exposé et dissous les poteaux à l’étape suivante (voir la section de discussion).
6. Pour dissoudre les poteaux métalliques, tremper les lamaux de couverture dans l’etchant de cuivre (à base d’acide citrique; Table des matériaux) pendant 2 h.
   ATTENTION: L’antchant des métaux peut causer des brûlures de la peau. Travaillez avec des personnes-vêtements sous une hotte bien ventilée et portez un équipement de protection. Lavez-vous soigneusement les mains après la manipulation. L’etchant pour le métal doit être entreposé dans des armoires ventilées désignées pour les liquides corrosifs.
7. Rincez les lamaux avec de l’eau distillée, séchez avec_N2et polissez doucement la surface du revêtement métallique avec du papier à lentilles pour exposer tous les poteaux qui sont encore recouverts de revêtement. Replacez les lamaux de couverture dans un échant en cuivre pendant encore 2 h, puis rincez à nouveau à l’eau distillée et séchez avec_N2.
   REMARQUE: Les lames ZMW doivent être stockées dans des boîtes de Pétri couvertes et propres pour les garder exemptes de contaminants.

5. Nanofabrication de guides d’ondes en mode zéro or à l’aide du modèle de cristal colloïdal

REMARQUE : La méthode de fabrication des ZMW en or(figure supplémentaire 1),qui reflète le protocole de fabrication des ZMW en aluminium, est fournie dans cette section.

1. À l’aide d’un dépôt par évaporation par faisceau thermique ou par faisceau d’électrons, déposer 3 nm d’une couche d’adhérence en titane à 1 Å/s suivie de 300 nm d’aluminium à 4 Å/s.
2. Retirez l’excès de métal sur le dessus des perles en appuyant doucement sur la surface avec du ruban adhésif. Décollez lentement le ruban adhésif pour retirer le métal.
3. Pour dissoudre les billes de polystyrène, placez les modèles de perles dans du toluène et faites tremper pendant la nuit.
4. Après l’incubation du toluène, rincer les gabarits une fois avec du chloroforme et deux fois avec de l’éthanol. Séchez les gabarits avec du_N2 et éliminez les contaminants polymères résiduels dans un nettoyant à plasma d’oxygène pendant 30 min.
5. En utilisant un dépôt par évaporation par faisceau thermique ou par faisceau d’électrons, déposez 100−150 nm d’or à 5 Å/s autour et au-dessus des poteaux en aluminium.
6. Pour dissoudre les poteaux métalliques, trempez les lamaux de couverture dans de l’aluminium etchant (à base d’acide phosphorique; Table des matériaux) pendant 1 h.
7. Rincez les lamaux avec de l’eau distillée, séchez avec_N2et polissez doucement la surface du revêtement métallique avec du papier à lentilles pour exposer tous les poteaux qui sont encore recouverts de revêtement. Replacez les lamaux de couverture en aluminium pendant 1 h, puis rincez à nouveau à l’eau distillée et séchez avec_N2.
   REMARQUE: Les lames ZMW doivent être stockées dans des boîtes de Pétri couvertes et propres.

Résultats

L’auto-assemblage des particules colloïdales de polystyrène par sédimentation par évaporation (étapes 2.1 à 2.13) peut produire une gamme de résultats puisqu’il nécessite un contrôle du taux d’évaporation du solvant. Cependant, comme les dépôts sont rapides (10 à 15 min par tour), la procédure peut être rapidement optimisée pour différentes conditions ambiantes de laboratoire. La figure 3A montre un gabarit colloïdal bien formé après dépôt et évaporation. Macroscopiquement, la région des per...

Discussion

Pour l’auto-assemblage colloïdal (protocole section 2), l’utilisation d’éthanol plutôt que d’eau comme solvant de suspension accélère le processus d’évaporation de sorte que les gabarits soient prêts en 2−3 min après dépôt plutôt qu’en 1−2 h comme dans les méthodes précédentes^48,49. Le protocole de sédimentation par évaporation présenté ici est également plus simple que les protocoles de sédimentation précédents qui nécessitent de contrôler l’inclinaison de la su...

Matériaux

Liste des matériaux utilisés dans cet article

Nom	Entreprise	Numéro de catalogue	Commentaires
1. Couvercle en verre Nettoyage
acétone	Sigma	32201	1 L
Pot de coloration en verre Coplin	Fisher Scientific	08-817	Pot de coloration avec 8 rainures et couvercle en verre moulé
Couvre-objectifs	VWR	48404-467	24 mm x 30 mm (N° 1½ ;, rectangulaire)
Ethanol	Sigma	E7023	1 L
KOH	Sigma	30603	hydroxyde de potassium
	Fisher Scientific	R80115TS	100 mm de diamètre, 15 mm de profondeur
Sonicator	Branson	Z245143	Nettoyeur à ultrasons de table, 5510
2. Dépôt par évaporation de billes de polystyrène
Clear contenant de stockage	Fisher Scientific	50-110-8222	26 x 18 x 15 po.
Ventilateur de bureau	O2Cool	FD05001A	Tout petit ventilateur de bureau (~5 po) fonctionnera
Bécher en verre	Fisher Scientific	02-555-25B	250 mL
Hygromètre	Fisher Scientific	11-661-19
Microtubes à centrifuger	Fisher Scientific	21-402-903	1,5 mL
Microsphères de polystyrène	Polysciences	18602-15	1,00 et micro ; m de diamètre, non fonctionnalisé
Triton X-100 dépressurisé	Sigma	X100	100 mL
3. Recuit de billes pour réduire la taille des pores dans le cristal colloïdal Plaque en aluminium
	Fisher Scientific	AA11062RY	Personnalisée en interne à 14 cm x 14 cm
Plaque chauffante en céramique	Fisher Scientific	HP88857100	13 x 8,2 x 3,8 po.
Régulateur de température	McMaster-Carr	38615K71	Lire la température avec sonde thermocouple
Sonde thermocouple	McMaster-Carr	9251T93	Type K, sonde de surface
4/5. Nanofabrication de guides d’ondes en mode zéro à l’aide du modèle de cristal colloïdal
Agent de gravure d’aluminium	Transène	Pastilles
	Kurt J. Lesker	EVMAL40QXHB	Pour l’évaporation par faisceau d’électrons
Chloroform	Sigma	288306	1 L
Agent de gravure de cuivre	Transene	49-1
Pastilles de cuivre	Kurt J. Lesker	EVMCU40QXQA	Pour l’évaporation par faisceau d’électrons
Pastilles d’or	Kurt J. Lesker	EVMAUXX40G	Pour l’évaporation par faisceau d’électrons
Papier lentille	Thorlabs	MC-5
Nettoyeur plasma	Harrick Plasma	PDC-32G
Ruban adhésif	Staples	MMM119
Système de dépôt de couche mince	système d’évaporation thermique de table	Kurt J. Lesker	PVD-75
Pastilles de titane	Kurt J. Lesker	EVMTI45QXQA	Pour l’évaporation par faisceau d’électrons
Toluene	Sigma	244511	1 L
Representative Results
COMSOL Logiciel de modélisation multiphysique	COMSOL, Inc.
Séparateur spectral Dual View	Photometrics, Inc.