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DOI: 10.3791/50738-v
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Une technique a été développée qui élimine Ni / Au films métalliques de contact de leur support pour permettre l'examen et la caractérisation du contact / substrat et des interfaces de contact / NW de dispositifs simples GaN de nanofils.
L’objectif global de cette procédure est de permettre l’examen et la caractérisation du substrat de contact et des interfaces de nanofils de contact pour les dispositifs à nanofils de nitrure de gallium. Pour ce faire, il faut d’abord préparer une suspension de nanofils et la disperser sur un substrat. La deuxième étape consiste à déposer les contacts nickel-or sur les nanofils, puis à agenouiller l’échantillon.
La dernière étape consiste à retirer les contacts anaux-nickel-or du substrat en les collant sur du ruban de carbone. En fin de compte, un microscope électronique à balayage est utilisé pour examiner les interfaces de contact pour la formation de vides. Cette méthode peut aider à répondre aux questions sur la façon de traiter les nanofils semi-conducteurs.
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