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DOI: 10.3791/52720-v
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Nous rapportons un processus d'une altération in situ de HF traitée Si surface (001) dans un état hydrophile ou hydrophobe en irradiant les échantillons dans des chambres microfluidiques remplis de H 2 O 2 / H 2 O solution (0,01% -0,5%) ou des solutions de méthanol en utilisant pulsé laser UV d'une faible fluence rapport d'impulsions.
L’objectif global de cette expérience est de démontrer la formation de surfaces hydrophiles et hydrophobes sur du silicone par irradiation avec des lasers au fluorure de krypton et au fluorure d’argonne à partir d’échantillons immergés dans une faible concentration de solutions de peroxyde d’hydrogène ou de méthanol. Cette méthode peut aider à répondre à certaines questions clés dans le domaine de l’interaction des semi-conducteurs laser concernant la modification chimique sélective de la surface du semi-conducteur, qui peut convenir aux applications de biodétection. Le principal avantage de cette technique est qu’elle peut être appliquée dans le contrôle de l’acier de la viabilité de la surface du silicium sans surface d’aspiration.
Morphologie du semi-conducteur. Nous avons d’abord eu l’idée de cette méthode. Nous étudions le procédé de base laser U pour la formation sélective de zones de défauts de surface utilisés dans la technologie.
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