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Selective Area Modification de la Silicon mouillabilité de surface par irradiation laser pulsé UV...
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JoVE Journal Engineering
Selective Area Modification of Silicon Surface Wettability by Pulsed UV Laser Irradiation in Liquid Environment

Selective Area Modification de la Silicon mouillabilité de surface par irradiation laser pulsé UV en milieu liquide

Full Text
8,613 Views
08:48 min
November 9, 2015

DOI: 10.3791/52720-v

Neng Liu1, Khalid Moumanis1, Jan J. Dubowski1

1Laboratory for Quantum Semiconductors and Photon-based BioNanotechnology, Interdisciplinary Institute for Technological Innovation, Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes (LN2)- CNRS UMI-3463, Faculty of Engineering,Université de Sherbrooke

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Please note that some of the translations on this page are AI generated. Click here for the English version.

Nous rapportons un processus d'une altération in situ de HF traitée Si surface (001) dans un état ​​hydrophile ou hydrophobe en irradiant les échantillons dans des chambres microfluidiques remplis de H 2 O 2 / H 2 O solution (0,01% -0,5%) ou des solutions de méthanol en utilisant pulsé laser UV d'une faible fluence rapport d'impulsions.

L’objectif global de cette expérience est de démontrer la formation de surfaces hydrophiles et hydrophobes sur du silicone par irradiation avec des lasers au fluorure de krypton et au fluorure d’argonne à partir d’échantillons immergés dans une faible concentration de solutions de peroxyde d’hydrogène ou de méthanol. Cette méthode peut aider à répondre à certaines questions clés dans le domaine de l’interaction des semi-conducteurs laser concernant la modification chimique sélective de la surface du semi-conducteur, qui peut convenir aux applications de biodétection. Le principal avantage de cette technique est qu’elle peut être appliquée dans le contrôle de l’acier de la viabilité de la surface du silicium sans surface d’aspiration.

Morphologie du semi-conducteur. Nous avons d’abord eu l’idée de cette méthode. Nous étudions le procédé de base laser U pour la formation sélective de zones de défauts de surface utilisés dans la technologie.

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Ingénierie Numéro 105 Silicon mouillabilité de surface l'interaction laser-surface le traitement de zone désignée laser excimer la spectroscopie de photoélectrons X angle de contact

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