21 décembre 2015
Un protocole pour la croissance sans pépins et à haut rendement de réseaux de nanofils de bismuth par technique d’évaporation thermique sous vide est présenté.
L'objectif général de cette procédure expérimentale est de faire croître des nanofils monocristallins de bismuth de manière reproductible par évaporation thermique sous vide élevé. Cette méthode peut être utilisée pour synthétiser des nanofils de bismuth de haute qualité avec un rendement élevé. Ce matériau suscite un grand intérêt dans le domaine des études sur la semi-conductivité.
Le principal avantage de cette technique est qu'elle ne nécessite ni catalyseurs ni germes, et que la procédure de synthèse s'effectue sous vide élevé, de sorte que le nanofil est formé avec une hyperpureté. Cette méthode permet de comprendre comment la porosité à l'échelle nanométrique induit une croissance spontanée de nanofils, mais elle devrait également s'appliquer à d'autres systèmes à bas point de fusion, comme l'indium et l'étain. Pour commencer, purgez la chambre de dépôt jusqu'à la pression atmosphérique puis ouvrez la chambre.
La dépressurisation s'effectue en appuyant sur le bouton de démarrage de la dépressurisation PC situé sur l'interface du logiciel de contrôle, ce qui lance automatiquement une séquence permettant de ramener la chambre à la pression atmosphérique. Une fois la pression atmosphérique atteinte, ouvrez la chambre en tirant sur la porte d'accès frontale.
Ensuite, montez un creuset d'évaporation en tungstène entre une paire d'électrodes d'évaporation thermique. Placez un gramme de pastilles de bismuth dans le creuset d'évaporation, puis fixez une cible de vanadium sur la source de pulvérisation cathodique. Connectez ensuite les connecteurs mini banane du contrôleur de température en boucle fermée au passage étanche électrique du système de dépôt.
Pour nettoyer les substrats de croissance par plasma d'oxygène, placez les substrats de croissance dans un nettoyeur à plasma et faites le vide dans la chambre en appuyant sur le bouton « vac on » jusqu'à atteindre une pression de base de 10 millitorr. Ouvrez la vanne de gaz d'oxygène et introduisez de l'oxygène dans la chambre en appuyant sur le bouton « gas on » du panneau avant. Réglez le débit en appuyant sur les boutons INCR et DECR pour le contrôle du débit de gaz afin de maintenir une pression dans la chambre d'environ 100 millitorr.
Ensuite, réglez la puissance du plasma à 20 watts en appuyant sur les boutons INCR et DECR pour le contrôle de la puissance, puis allumez le plasma en appuyant sur le bouton RF on. Attendez cinq minutes avant d'éteindre le plasma en appuyant sur le bouton RF on. Ouvrez ensuite la chambre en appuyant sur le bouton de purge avant de retirer les substrats pour charger le substrat.
Commencez par fixer l'ensemble de commande de température du substrat sur le porte-substrat. Utilisez des pinces à ressort pour monter les substrats de croissance sur la partie supérieure de l'ensemble chauffage-refroidissement par effet Peltier. Ensuite, installez le porte-substrat entièrement assemblé dans la chambre de dépôt en phase vapeur.
Avec les substrats orientés vers les sources de dépôt, connectez les raccords électriques à l'ensemble du refroidisseur chauffant Peltier. Fermez l'obturateur du substrat afin d'éviter un dépôt involontaire sur le substrat. Ensuite, commencez à pomper la chambre de dépôt.
La pompe est activée en appuyant sur le bouton de démarrage de la pompe PC situé dans l'interface du logiciel de contrôle, ce qui lance automatiquement une séquence permettant de pomper la chambre jusqu'à sa pression de base afin de déposer du vanadium à l'aide d'une source de pulvérisation cathodique. Démarrer le débit d'argon dans la source de pulvérisation. Régler le débit entre 40 et 50 centimètres cubes par minute normalisés. Ajuster la vitesse de rotation des pompes turbomoléculaires pour obtenir une pression dans la chambre comprise entre 2,5 et 3 millitorr, tandis que la chambre atteint progressivement sa pression d'équilibre.
Réglez les facteurs de calibration d'épaisseur du microbalance à cristal de quartz ou QCM pour le vanadium. La densité est de 5,96 grammes par centimètre cube, et le facteur Z est de 0,530. Activez la source de pulvérisation cathodique et réglez la puissance entre 200 et 250 watts sans ouvrir l'obturateur du substrat.
Laissez fonctionner la source pendant deux minutes. Ouvrez l'obturateur du substrat pour commencer le dépôt de vanadium. Pendant ce temps, réinitialisez à zéro l'épaisseur accumulée sur le QCM.
Poursuivre le dépôt jusqu'à ce qu'une épaisseur apparente de 20 nanomètres soit accumulée par lecture du QCM. Ensuite, fermer l'obturateur du substrat et réduire progressivement la puissance de pulvérisation à zéro. Puis éteindre la source et couper l'écoulement d'argon.
Enfin, remettez la pompe turbomoléculaire à pleine puissance. Il est très important que la température du substrat soit maintenue de manière stable et précise, car les lignes du nano virus sont fortement ajustées en fonction de la température. Pour le dépôt de bismuth à des températures supérieures ou inférieures à la température ambiante, réglez la valeur souhaitée sur le régulateur de température. Attendez jusqu'à ce que la température souhaitée soit atteinte.
Régler les facteurs de calibration d'épaisseur pour le QCM en ce qui concerne le bismuth. La densité est de 9,78 grammes par centimètre cube, et le facteur Z est de 0,790. Allumer l'alimentation électrique de l'évaporation thermique de la source de bismuth.
Ensuite, augmentez lentement la puissance de chauffage du creuset en tungstène jusqu'à atteindre un taux de dépôt de deux angströms par seconde. Selon la lecture du QCM, réinitialisez l'épaisseur accumulée du QCM à zéro. Pendant ce temps, ouvrez le volet du substrat pour commencer le dépôt de bismuth.
Poursuivre le dépôt jusqu'à l'accumulation d'une épaisseur apparente de 50 nanomètres. Fermer ensuite l'obturateur du substrat. Diminuer progressivement la puissance d'évaporation thermique jusqu'à zéro.
Éteignez la source. Coupez l'alimentation électrique du refroidisseur chauffant thermoélectrique. Relâchez la chambre de dépôt à la pression atmosphérique et ouvrez la chambre.
Enfin, récupérez le porte-substrat et collectez les substrats recouverts de nanofils de bismuth. Les images de microscopie électronique à balayage en coupe transversale, ou MEB, du sous-couche de vanadium formée par magnétron, pulvérisation cathodique et évaporation thermique sont présentées ici. Des images MEB sont présentées pour les nanofils de bismuth formés à différentes températures de substrat.
La structure cristalline des nanofils de bismuth est déterminée par microscopie électronique en transmission, diffraction électronique en zone sélectionnée et études par diffraction des rayons X. Une analyse élémentaire par spectroscopie de dispersion d'énergie des rayons X indique que les nanofils de bismuth ne forment pas un alliage avec la sous-couche de vanadium. Après avoir visionné cette vidéo, vous devriez avoir une bonne compréhension de la manière de faire croître de manière habile.
La fabrication de nanostructures cristallines par évaporation thermique sous vide élevé nécessite un contrôle précis de la température du substrat, car celle-ci peut influencer de manière significative les dimensions des nanostructures. Une pression de base faible est également essentielle afin d'éviter l'oxydation des matériaux déposés après leur formation. Cette technique a ouvert la voie aux chercheurs dans le domaine de la synthèse des nanostructures, en leur permettant d'utiliser l'énergie de surface comme force motrice pour produire des nanostructures de haute qualité et hautement ordonnées.
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Cet article présente un protocole pour la croissance sans germe et à haut rendement de réseaux de nanofils de bismuth en utilisant une technique d'évaporation thermique sous vide. La méthode permet la synthèse de nanofils de bismuth de haute qualité de manière évolutive.
Ce protocole permet une synthèse à grande échelle et sans catalyseur de nanofils de bismuth de haute pureté par évaporation thermique sous vide, offrant une voie reproductible pour la production de nanomatériaux pertinents pour les semiconducteurs. En exploitant la porosité à l'échelle nanométrique de films minces de vanadium pour induire la formation spontanée de nanofils, cette méthode fournit une base mécanistique permettant de réduire les risques liés à la validation de cibles dans les systèmes de matériaux à bas point de fusion. L'approche soutient les flux de travail de découverte précoce où le contrôle structural et compositionnel des nanomatériaux influence le développement d'essais ultérieurs et la modélisation prédictive.
La méthode s'inscrit dans le continuum de découverte allant de la synthèse précoce de nanomatériaux à l'évaluation préclinique, où la pureté du matériau et la cohérence structurale influencent la confiance dans la cible et la fiabilité des tests.