Microscopie électronique à balayage (MEB)

1. préparation de l’échantillon

1. Échantillon de place sur le talon de l’échantillon. Si nécessaire, ruban carbone peut servir pour les coller l’échantillon vers le stub.
2. Placer l’échantillon dans un système de pulvérisation d’or. À l’aide d’une pulvérisation mini-gold, bredouiller or pendant 30 s à ~ 70 mTorr pression. Une épaisseur de couche d’or différentes peut être nécessaire en fonction de la géométrie de l’échantillon. Surface plus rugueuse ou poreuse exige un temps plus de pulvérisation.
3. Supprimer ébauche du système de pulvérisation d’or.

2. l’échantillon Insertion et démarrage du SEM

1. Aérer la chambre de SEM, permettant à la chambre atteindre la pression nominale.
2. Ouvrez le compartiment d’échantillon de SEM et sortir de la scène de l’échantillon.
3. Insérez le bout de l’échantillon contenant l’échantillon sur la scène. Serrez le talon dans l’endroit.
4. Si la distance z ne peut pas être contrôlée par le logiciel, assurez-vous que la scène de l’échantillon avec le talon de l’échantillon a bonne hauteur pour obtenir la meilleure image.
5. Mettre la scène de l’échantillon dans la chambre de mesure. Refermer le compartiment de l’échantillon.
6. Mettre en marche les pompes et autoriser le système à vide atteint. Le système notifie l’utilisateur lorsque c’est terminé.
7. Ouvrez le logiciel SEM. Sélectionner le désiré tension de fonctionnement allant de 1 à 30 kV. Tension de service supérieure donne meilleur contraste de l’image, mais peut produire une résolution plus faible si les accusations s’accumulent dans l’échantillon.

3. capture de l’Image de la SEM

1. Lancer « Autofocus » dans le logiciel SEM en cliquant sur l’icône de clé. Cela permettra d’acquérir une image focalisée de l’échantillon à utiliser comme point de départ.
2. Assurez-vous que le grossissement est défini sur le niveau de zoom minimal de 50 X.
3. Sélectionnez le mode « scan rapide ».
4. Ajuster le focus en mode grossier jusqu'à ce qu’un accent rugueux est acquis.
5. Ajuster la scène manuellement en utilisant les boutons de l’extérieurs afin que la région d’intérêt n’est visible sur l’écran.
6. Augmentez le niveau de grossissement jusqu'à ce que la fonctionnalité désirée est observée. Réglez le bouton de mise au point grossière pour mettre à peu près l’image à ce grossissement. Ensuite, améliorer le focus à l’aide de la molette de mise au point fine pour obtenir une image focalisée sur le niveau d’agrandissement souhaité. Cette étape est répétée chaque fois que le niveau de grossissement est augmenté.
7. Une fois le grossissement désiré est atteint, réglez le bouton de mise au point fin pour améliorer la clarté.
8. Pour optimiser la clarté de l’image, augmenter le grossissement proche du niveau maximum et ensuite se concentrer l’image à l’aide de la molette de mise au point fine. Si une image claire ne peut être obtenue, ajuster la stigmation en direction de le x et de y. Garder ajuster la mise au point et stigmations jusqu'à obtention de l’image plus claire du niveau de grossissement exagéré.
9. Après avoir atteint une qualité d’image de l’échantillon, revenir en arrière pour le niveau d’agrandissement souhaité. L’image peut être pris en appuyant sur le bouton photo en mode « photo de rapide » ou « photo de lente ». Le mode « photo de lente » donne la meilleure qualité et haute résolution de l’image.

4. effectuer des mesures à l’aide du logiciel SEM

1. Dans la liste déroulante « Panneaux », sélectionnez « M. Tools ».
2. Diverses mesures telles que la longueur, la surface et angle peuvent être mesurées directement dans le logiciel SEM. Pour effectuer une de ces mesures, cliquez sur l’icône souhaitée dans la fenêtre outils M..
3. Faites défiler jusqu'à la station de mesure sur l’image de la SEM. Mesures sont effectuées en cliquant sur l’image pour créer des points de référence qui seront analysés par le logiciel. Les points de données mesurées peuvent être insérés directement sur l’image si souhaité par l’utilisateur.
4. Des images sont alors enregistrées sur l’ordinateur.