Fabrication de canaux nanométriques incorporant l'actuation des ondes acoustiques de surface via le niobate de lithium pour la nanofluidique acoustique

Notre protocole fournit une méthode de fabrication détaillée des canaux nano-hauteur incorporant l’actionnement acoustique de surface d’onde par l’intermédiaire du niobate de lithium pour les nanofluidiques acoustiques. Cette technique peut être utilisée pour effectuer la liaison multicouche active à la surface plasmatique à température ambiante du niobate de lithium cristallin unique, un processus tout aussi utile pour lier le niobate de lithium ou le dioxyde de silicium et d’autres oxydes. Tous les débris et particules doivent être enlevés pendant le nettoyage et les processus activés par la surface plasmatique afin d’éviter une défaillance de liaison dans la formation du canal de nano-hauteur.

La démonstration visuelle de cette méthode peut capturer l’ensemble du processus de fabrication en détail, ce qui donne une présentation claire du protocole pour d’autres chercheurs. Pour préparer un masque de canal nano-hauteur, placez une gaufrette inscrite avec un motif conçu pour être une photolithographie normale dans les procédures de décollage dans un système de dépôt de pulvérisateur et tirez le vide de chambre à cinq fois 10 au négatif six millitorr. Laissez l’argon couler à 2,5 millitorr et pulvériser le chrome à 200 watts pour produire un masque sacrificiel de 400 nanomètres d’épaisseur en 18 minutes.