הרשמה ל-JoVE נדרשת לצפייה בתוכן זה. התחברו או התחילו בגרסת ניסיון בחינם.

מאמר שיטה

הייצור של ערוצי ננו גובה שילוב הופעה גל אקוסטי המשטח באמצעות ליתיום Niobate אקוסטית הננו לוקדיה

5.5K צפיות

⸱

DOI:

10.3791/60648

⸱

5 בפברואר 2020

 , 
1Medically Advanced Devices Laboratory, Center for Medical Devices, Department of Mechanical and Aerospace Engineering, Jacobs School of Engineering, and the Department of Surgery, School of Medicine, University of California San Diego

במאמר זה

סיכום

אנו מדגימים הייצור של ערוצי ננו-גובה עם שילוב של התקנים משטח אקוסטית גל התקן על ליתיום niobate אקוסטית עבור nanofluidics המראה באמצעות פוטוגרפיה, ננו-עומק בחריטה על האור, ו-טמפרטורת החדר פלזמה הפעלה מרובת שכבות של משטח של ליתיום niobate חד-גביש, תהליך שימושי באופן דומה כדי מליטה ליתיום niobate תחמוצות.

תקציר

מניפולציה ננו מבוקרת של נוזלים ידוע להיות קשה במיוחד בשל הדומיננטיות של משטח וכוחות צמיגה. מכשירי מגה-הרץ-הזמנה גל אקוסטי (מסור) התקנים ליצור תאוצה אדירה על פני השטח שלהם, עד 108 מ מ 2, בתורו אחראי רבים של ההשפעות שנצפו שבאו להגדיר אתהשני: הזרמת אקוסטית וכוחות קרינה אקוסטית. אפקטים אלה שימשו עבור חלקיקים, תא, מניפולציה נוזלים בקנה מידה, אם כי לאחרונה מסור כבר נעשה שימוש כדי לייצר תופעות דומות בסולם הננו באמצעות קבוצה שונה לחלוטין של מנגנונים. מניפולציה הנוזלים ננו בקנה מידה מציע מגוון רחב של הזדמנויות ב-רביים שאיבה וביואקרוולאואכאואואואואויואויואויואואויוולאותרפיה שימושי עבור יישומים פיזיים כאן, אנו מדגימים את הייצור הננו-גובה ערוץ באמצעות ליתיום בטמפרטורת החדר (LN) מליטה משולבת עם מכשיר מסור. אנו מתארים את כל התהליך הניסיוני כולל ייצור ננו גובה הערוץ באמצעות תחריט יבש, פלזמה מופעל התחברות על ליתיום niobate, ההתקנה האופטית המתאימה עבור הדמיה הבאים, ו הופעה מראה. אנו מציגים תוצאות נציג עבור מילוי נימי נוזלים ונוזלים ניקוז בערוץ ננו הנגרמת על ידי מסור. הליך זה מציע פרוטוקול מעשי עבור הייצור של ערוץ ננו בקנה מידה ואינטגרציה עם התקנים מסור שימושי כדי לבנות על יישומים nanofluiאידיקה עתידיים.

מבוא

העברת נוזלים ננו-סקאלה לשליטה בננו-ערוצים —nanofluidics1— מתרחשת על אותו קשקשים באורך כמו רוב הקרו הביולוגי, והוא מבטיח ניתוח ביולוגי חישה, אבחון רפואי, עיבוד חומרים. עיצובים וסימולציות שונות פותחו ב-nanofluidics כדי לטפל בנוזלים ובשעיות החלקיקים על בסיס מעברי טמפרטורה2, כקולון גורר3, גלי שטח4, שדות חשמליים סטטיים5,6,7, ו תרמוהורזיס8 במשך 15 השנים האחרונות. לאחרונה, ראיתי כבר הראו9 כדי לייצר ננו שאיבה נוזלים ומרוקן עם הלחץ האקוסטי מספיק כדי להתגבר על הדומיננטיות של משטח וכוחות צמימים כי אחרת למנוע הובלה נוזלית יעילה ב ננומטרי. היתרון העיקרי של הזרמת אקוסטי היא היכולת לנהוג בזרימה שימושית במבנים ננו מבלי לדאוג לגבי פרטי הכימיה של מתלה הנוזל או החלקיקים, מה שהופך את המכשירים לנצל את הטכניקה באופן מיידי שימושי בניתוח ביולוגי, חישה, ויישומים אחרים פיזיקליים.

הייצור של התקנים משולבים nanofluidic דורש הייצור של אלקטרודות- מתמר interdigital (IDT)-על מצע פיזואלקטריים, ליתיום niobate10, כדי להקל על יצירת המסור. תחריט של יון תגובתית (RIE) משמש ליצירת דיכאון ננו בחתיכה נפרדת, ו-ln-in התחברות של שתי החתיכות מייצרת ננומטרי שימושי. תהליך הייצור עבור התקנים מסור הוצג בפרסומים רבים, בין אם באמצעות רגיל או להרים את הפוטוגרפיה אולטרה סגולה לצד מתכת או התאיידות להסיר11. לתהליך in RIE לחרוט ערוץ בצורה מסוימת, את ההשפעות על שיעור האיכול ואת פני השטח הסופי של הערוץ מבחירת בכיוונים שונים בתוך, חומרי מסיכה, זרימת גז, וכוח פלזמה נחקרו12,13,14,15,16. משטח פלזמה הפעלה שימש באופן משמעותי להגדיל את אנרגיית השטח ולכן לשפר את החוזק של התחברות תחמוצות כגון בתוך17,18,19,20. כמו כן ניתן ליצור קשר עם תחמוצות אחרות ב-LN, כגון SiO2 (זכוכית) באמצעות שיטת מליטה דו-שיטית המופעלת על-ידי פלזמה21. טמפרטורת החדר מתחברים, בפרט, נחקר תוך שימוש בטיפולים שונים של ניקוי ומשטח הפעלה22.

כאן, אנו מתארים בפירוט את התהליך כדי להמציא 40 MHz משולב משולבים 100-ננומטר גובה ננוערוצים, הנקרא לעתים קרובות ערוצי nanoslit (איור 1א). מילוי נימי נוזלי אפקטיבי ומרוקן נוזלים באמצעות מראה הופעה מדגים את תוקפו של ייצור nanoslit הן ביצועים מסור בערוץ כזה ננו-סולם. הגישה שלנו מציעה מערכת ננו-שוטטיות המאפשרת חקירה של מגוון בעיות פיזיות ויישומים ביולוגיים.

הגישה מוגבלת. התחברו או התחילו תקופת ניסיון כדי לצפות בתוכן זה.

פרוטוקול

1. הכנת מסיכת ערוץ ננו-גובה

  1. פוטוליתוגרפיה: עם דפוס המתאר את הצורה הרצויה של ערוצי ננו-גובה (איור 1B), השתמש בליתוגרפיה רגילה ומתיחת הליכים כדי לייצר שקעים ננו גובה ב-וופל. שקעים אלה יהפכו לערוצי ננו-גובה על התחברות וופל בשלב מאוחר יותר.
    הערה: הממדים הצדדיים של שקעים ננו-סקאלה הם מיקרוסקאלה בפרוטוקול זה. קרן אלקטרונים או הוא/Ne יון קרן ליתוגרפיה ניתן להשתמש כדי להמציא ערוצים עם ממדים לרוחב ננו בקנה מידה; Ga+-מבוסס קרן יון הליטוגרפיה גורם נפיחות ו פרופילי מצע מחוספס23. הכיוון של שני מוצרי המשחק צריך להתאים, אחרת, מתח תרמי עלול לגרום לאלה או הקשר ביניהם להיכשל.
  2. ההצהרה להגנה על אזורים מתחריט יבש: הניחו את הופל לתוך מערכת התצהיר. לצייר למטה את ואקום החדר כדי 5 x 10-6 mTorr, לאפשר Ar לזרום ב 2.5 mTorr, ו התיז Cr ב 200 W כדי לייצר מסכת ההקרבה עבה של 400-ננומטר שבו תחריט יון תגובתי תימנע בעת שימוש בשלב 3 להלן.
  3. להמריא: להעביר את הפרוסת לתוך גביע עם אצטון מספיק כדי לטבול לחלוטין את הפרוסת. Sonicate בעוצמה בינונית עבור 10 דקות. לשטוף עם מים די ויבש וופל עם N2 יבש לזרום.
  4. קוצצת: להשתמש מסור מראה לקוביות את כל וופל לתוך שבבים בודדים עם (בדרך כלל) תבנית אחת nanoslit לכל שבב.
    הערה: ניתן להשהות את הפרוטוקול כאן.

2. ננו-גובה ערוץ ייצור

  1. איכול ראאקטיבי (RIE): להשתמש RIE לחרוט שקעים ננו לתוך אזורים שנחשפו של המצע LN. אזורים שנותרו מכוסים על ידי ההקרבה של Cr יהיו מוגנים מתחריט. הגדר את הכוח RIE 200W, חום החדר כדי 50 ° c, למשוך את הריק החדר כדי 20 mTorr, להגדיר את SF6 זרימה קצב 10 sccm, ו לחרוט עבור 20 דקות כדי לייצר nanoslit עומק 120 ננומטר ב LN.
  2. קידוח החור של הערוץ ושקעים: עם קלטת דו צדדית, לחבר שבב בתוך חרוט לצלחת פלדה קטנה ואת הצלחת לתחתית צלחת פטרי. צלחת פטרי צריכה להיות גדולה מספיק כדי לאפשר טבילה מלאה של שבב LN ולוחית פלדה. ממלאים את צלחת פטרי עם מים כדי לטבול במלואו את השבב. צרף a 0.5-mm קוטר היהלום מקדחה לתוך לחיצה מקדחה, ולקדוח במהירות גבוהה של לפחות 10,000 סל ד כדי למכונה אינלטס ושקעים הרצוי. קידוח דרך מצע בעובי 0.5 מ"מ צריך לקחת בערך 10 עד 15 s24 (איור 1B).
    הערה: הטבילה בזמן הקידוח מונעת חימום מקומי מופרז ושיבוש חלקיקים באתר המקדחה. סוגים אחרים של פיסות מקדחה סביר לעבוד, וקידוח יד אינו אפשרי בכל מהירות לידע שלנו. מהירויות סיבוב קצת מקדחה של 10,000 סל ד או יותר מומלץ להימנע מניפוץ ה-LN.
  3. תחריט רטוב Cr: השתמש בעט יהלום חריטה כדי לסמן בבירור את הפנים שטוח, בלתי חרוט של ה-LN הקדח לעקוב אחר איזה צד ערוץ ננוגובה ממוקם בשלבים הנותרים. Sonicate את האסימונים בתוך Cr.
    הערה: ניתן להשהות את הפרוטוקול כאן. קשה מאוד לקבוע באיזה צד של שבב ה-LN יש את הדיכאון הננו-סקאלה חרוט לאחר Cr מוסר. הזמן הsonication תלוי בקצב החריטה ובעובי מסכת Cr.

3. טמפרטורת החדר-מליטה מופעלת פלזמה

  1. ניקוי הממס שבבי: לאסוף זוגות שבב-מכשיר אחד מסור (מפוברק על ידי פוטוגרפיה רגילה, התצהיר התיז ו-off הליכים) ו אחד השבבים הננו-משנה חרוט-ביחד כדי להכין אותם להתחברות. לטבול את זוגות השבבים בגביע של אצטון ממוקם באמבטיה sonication ו sonicate עבור 2 דקות. העבר את האסימונים כדי מתנול ו sonicate עבור 1 דקות. העבר את האסימונים למים של DI.
  2. ניקוי פיראניה: להכין חומצה פיראניה בגביע זכוכית בשכונה מאוורר היטב, המוקדש לשימוש של חומצה, על ידי הוספת H2O2 (30% במים) עד H2כך4 (96%) ביחס של 1:3. מניחים את כל האסימונים במחזיק טפלון. מניחים את המחזיק בגביע ולטבול את כל האסימונים לתוך הפתרון פיראניה עבור 10 דקות, ולאחר מכן לשטוף את האסימונים ואת המחזיק ברציפות בשתי אמבטיות נפרדות של מים DI. יבש את האסימונים עם N2 יבש ומיד להעביר אותם חמצן (O2) ציוד פלזמה הפעלה, שמירה עליהם מכוסים במהלך הטיפול כדי למנוע זיהום.
    התראה: פתרונות פיראניה הם מאוד מסוכנים, הם מאוד אוקסיגון, ומסוכן. בצע את הכללים הספציפיים לטפל בהם במוסד שלך, אבל לפחות לנקוט טיפול קיצוני ללבוש את ציוד הבטיחות הנכונה. עם סיום העבודה, יש לקרר את פתרון הפיראנה למשך שעה אחת לפחות לפני שהיא מזיגת למיכל פסולת ייעודי.
    הערה: יש צורך לשטוף את שבבי LN פעמיים בשתי אמבטיות מים DI. שטיפה אותם פעם אחת משאיר שאריות מאחור זה כנראה להרוס את ההתחברות. אלקטרודות זהב משמשות IDTs בגלל ההתנגדות הטובה שלהם לפתרון פיראניה.
  3. פלזמה הפעלה המשטח: להפעיל את משטחי השבב באמצעות פלזמה עם 120 W של כוח בזמן שנחשף O2 זרימה ב 120 sccm עבור 150 s. מיד להעביר את הדגימות לאמבטיה טרי די מים לפחות 2 דקות.
    הערה: הטיפול במשטח פלזמה במהירות ואחריו טבילה במים די יהיה ליצור קבוצות הידרוקסיל על פני השטח LN, הגדלת אנרגיית השטח החופשי שלה כדי לקדם מאוחר יותר את ההתחברות.
  4. הקשר עם טמפרטורת החדר: יבש דגימות עם N2 יבש ובזהירות להניח את השבב nanoslit על שבב המכשיר המסור בעמדה הרצויה. היישר מהדף כדי להפיק את הכיוון הרצוי. לאחר מכן השתמש בפינצטה או בדומה כדי לדחוף את המדגם ממרכזו כדי ליזום את הקשר. לחץ בעדינות למטה באזורים שלא הצליחו להתחבר לאחר הדחיפה הראשונית.
    הערה: ניתן לראות בקלות את החיבור דרך ה-LN השקוף. אזורים בונדד. הם לגמרי שקופים בתוך זה לא מלוטש בצד כפול יהיה קשה יותר להעריך.
  5. חימום לאחר ההתחברות: במקום דגימות בונדד במלחציים שצצו כדי להפעיל בבטחה המון על זה למרות התרחבות תרמית, והניחו את הדגימות בתנור בטמפרטורת החדר (25 ° c). הניחו את טמפרטורת החימום של התנור ל-300 ° צ', שיעור השיפוע ל-2 ° צ'/מינימום מקסימום, לשכון זמן עד 2 שעות ולאחר מכן כדי לכבות באופן אוטומטי כדי לאפשר והדגימות המכפפות בתוך לצנן באופן טבעי לטמפרטורת החדר.
    הערה: ניתן להשהות את הפרוטוקול כאן. ההתחברות בין קבוצות הידרוקסיל מייצרת מים בקשר, והחימום מסיר את המים כדי להגדיל באופן דרסטי את עוצמת הקשר. הכוחות הצנועים מספיקים. ניסיון ליצור קשר עם שני שבבים מכיוונים שונים או חומרים עלולים לגרום לסדקים עקב התרחבות תרמית לא תואמת ומתח הסוגר.

4. התקנה ובדיקות נסיוניות

  1. התבוננות: להתבונן nanoslit תחת מיקרוסקופ הפוך. כלול וסובב מסנן הקיטוב הליניארי בנתיב האופטי כדי לחסום את התמונה המבוססת על הכפלה בתוך ה-LN. השתמש במים אלקטרופורזה באמצעות הים כדי להתבונן בתנועה הנוזלים ב nanoslit הושלמה.
    הערה: הנוזל האולטרה-טהור מומלץ מאוד למנוע סתימה, במיוחד לאחר התאיידות.
  2. הופעה: לצרף בולמים בקצות המכשיר מסור כדי למנוע גלים אקוסטיים משתקף. השתמש במחולל אותות כדי להחיל שדה חשמלי sinusoidal על IDT בתדירות התהודה של סביב 40 MHz. השתמש במגבר כדי להגביר את האות. השתמש באולוסקופ כדי למדוד את המתח, הזרם והעוצמה בפועל שהוחלו על ההתקן. הקלט את התנועה נוזלים במהלך הופעה בתוך nanoslit באמצעות מצלמה מחוברת למיקרוסקופ.

הגישה מוגבלת. התחברו או התחילו תקופת ניסיון כדי לצפות בתוכן זה.

תוצאות

אנו מבצעים הגשת נימי נוזלים ומסור המושרה נוזל ניקוז ב ננו-גובה לאחר הייצור מוצלחת והתחברות של התקנים משולבים nanoflu, משולב. גלים אקוסטיים פני השטח מופקים על ידי IDTs הופעה על ידי אות sinusoidal מוגבר בתדר התהודה של IDTs של 40 MHz, והמסור מפיץ לתוך nanoslit באמצעות מצע פיזואלקטריים LN. התנהגות הנוזל באינטראקציה nanoslit עם מסור עשוי להיות נצפתה באמצעות מיקרוסקופ הפוך.

אנו מדגימים מילוי נימי נוזלים ב-100-nm בערוצים גבוהים של רוחב שונה. איור 2 מראה מילוי נימי של מים...

הגישה מוגבלת. התחברו או התחילו תקופת ניסיון כדי לצפות בתוכן זה.

דיון

מליטה בטמפרטורת החדר היא המפתח. לבדיית מכשירי מסור משולבים יש להתייחס לחמישה היבטים כדי להבטיח התחברות מוצלחת וחוזק מליטה מספיק.

זמן וכוח להפעלת משטח הפלזמה
הגדלת כוח הפלזמה תסייע להגביר את אנרגיית פני השטח ולהגדיל בהתאם את חוזק המליטה. אבל החיסרון של הגדלת הכוח במהלך הפעלת משטח פלזמה היא עלייה בחספוס פני השטח, אשר עלול להשפיע לרעה על ייצור nanoslit וביצועי הובלה של נוזלים. הוכח כי הזמן הפעלת משטח פלזמה לא יעזור להגדיל את האנרגיה פני השטח לאחר כמות מסוימת של זמן

הגישה מוגבלת. התחברו או התחילו תקופת ניסיון כדי לצפות בתוכן זה.

גילויים

. למחברים אין מה לגלות

תודות

המחברים אסירי תודה לאוניברסיטת קליפורניה ולמתקן NANO3 ב-UC בסן דייגו לאספקת כספים ומתקנים לתמיכה בעבודה זו. העבודה הזאת בוצעה בחלקו בתשתית הננו-טכנולוגיה של סן דייגו (SDNI) של UCSD, חבר בתשתיות הלאומיות ננוטכנולוגיה מתואמת, אשר נתמכת על ידי הקרן הלאומית למדעים (גרנט ECCS – 1542148). העבודה המוצגת כאן נתמכת בנדיבות על ידי מלגת מחקר מקרן W.M. קק. המחברים גם אסירי תודה על התמיכה של העבודה הזאת על ידי משרד המחקר הימי (דרך גרנט 12368098).

הגישה מוגבלת. התחברו או התחילו תקופת ניסיון כדי לצפות בתוכן זה.

חומרים

רשימת החומרים שנעשה בהם שימוש במאמר זה
שםחברהמספר קטלוגהערות
AbsorberDragon Skin, Smooth-On, Inc., Macungie, PA, ארה"בDragon Skin 10 MEDIUM
AmpliifierMini-Circuits, ברוקלין, ניו יורק, ארה"בZHL – 1– 2W– S+
מצלמהניקון, מינאטו, טוקיו, יפןD5300
מפתחFuturrex, ניו ג'רזי, ארה"בRD6
עט חריטה בקצה יהלוםMalco, ממפיס, טנסי, ארה"בMalco A50 ארה"ב תוצרת קרביד עם קצה
מסור חיתוךדיסקו, טוקיו, יפןדיסקו אוטומטי מסור חיתוך 3220
תנור חימוםקרבוליט, עמק התקווה, בריטניהHTCR 6/28תנור חדר נקי בטמפרטורה גבוהה -
מקדח חוריםדרמל, מאונט פרוספקט, אילינוידגם #40004000 מיקרוסקופ סיבובי הפוך במהירות משתנה בעל ביצועים גבוהים
, אירווין, קליפורניה, ארה"בIN480TC-FL-MF603
מצע ליתיום ניובטPMOptics, ברלינגטון, MA, ארה"בPWLN-4312324 אינץ' צד כפול מלוטש 0.5 מ"מ עובי 128° יישור מסכות ליתיום ניובט חתוך Y-rotated
Heidelberg Instruments, היידלברג, גרמניהMLA150
Nano3 מתקן חדר נקיUCSD, לה ג'ולה, קליפורניה, ארה"ב תהליך הייצור מתבצע בו.
פוטו-רזיסט שליליFuturrex, ניו ג'רזי, ארה"בNR9-1500PY
אוסילוסקופKeysight Technologies, סנטה רוזה, קליפורניה, ארה"בInfiniiVision 2000 X-Series
הפעלת משטח פלזמהPVA TePla, קורונה, קליפורניה, ארה"בPS100Tepla Asher
גיליון מקטבאופטיקה אדמונד, ברינגטון, ניו ג'רזי, ארה"ב#86-182
RIE תחריטאוקספורד מכשירים, אבינגדון, בריטניהPlasmalab 100
מחולל אותותNF Corporation, יוקוהמה, יפןWF1967 מחולל
תצהיר מקרטעדנטון ואקום, ניו ג'רזי, ארה"בדנטון 18דנטון דיסקברי 18 מערכת מקרטע
טבל פרוסות טפלוןShapeMaster, אוגדן, אילינוי, ארה"בSM4WD1רקיק דיפר 4 אינץ'
סופר דיסקו HTCR רב תכליתי

מקורות

  1. Eijkel, J. C., Van Den Berg, A. Nanofluidics: what is it and what can we expect from it? Microfluidics and Nanofluidics. 1 (3), 249-267 (2005).
  2. Longhurst, M. J., Quirke, N. Temperature-driven pumping of fluid through single-walled carbon nanotubes. Nano Letters. 7 (11), 3324-3328 (2007).
  3. Wang, B., Král, P. Coulombic dragging of molecules on surfaces induced by separately flowing liquids. Journal of the American Chemical Society. 128 (50), 15984-15985 (2006).
  4. Insepov, Z., Wolf, D., Hassanein, A. Nanopumping using carbon nanotubes. Nano Letters. 6 (9), 1893-1895 (2006).
  5. Gong, X., et al. A charge-driven molecular water pump. Nature Nanotechnology. 2 (11), 709(2007).
  6. Joseph, S., Aluru, N. R. Pumping of confined water in carbon nanotubes by rotation-translation coupling. Physical Review Letters. 101 (6), 064502(2008).
  7. Rinne, K. F., Gekle, S., Bonthuis, D. J., Netz, R. R. Nanoscale pumping of water by AC electric fields. Nano Letters. 12 (4), 1780-1783 (2012).
  8. Eslamian, M., Saghir, M. Z. Novel thermophoretic particle separators: numerical analysis and simulation. Applied Thermal Engineering. 59 (1-2), 527-534 (2013).
  9. Miansari, M., Friend, J. R. Acoustic Nanofluidics via Room-Temperature Lithium Niobate Bonding: A Platform for Actuation and Manipulation of Nanoconfined Fluids and Particles. Advanced Functional Materials. 26 (43), 7861-7872 (2016).
  10. Minzioni, P., et al. Roadmap for optofluidics. Journal of Optics. 19 (9), 093003(2017).
  11. Connacher, W., et al. Micro/nano acoustofluidics: materials, phenomena, design, devices, and applications. Lab on a Chip. 18 (14), 1952-1996 (2018).
  12. Ren, Z., et al. Etching characteristics of LiNbO3 in reactive ion etching and inductively coupled plasma. Journal of Applied Physics. 103 (3), 034109(2008).
  13. Winnall, S., Winderbaum, S. Lithium niobate reactive ion etching. Defence Science and Technology Organization. , Salisbury (Australia). No. DSTO-TN-0291 (2000).
  14. Hu, H., Ricken, R., Sohler, W. Etching of lithium niobate: micro-and nanometer structures for integrated optics. Topical Meeting Photorefractive Materials, Effects, and Devices-Control of Light and Matter, Bad Honnef. , (2009).
  15. Jackel, J. L., Howard, R. E., Hu, E. L., Lyman, S. P. Reactive ion etching of LiNbO3. Applied Physics Letters. 38 (11), 907-909 (1981).
  16. Smith, S. E. Investigation of nanoscale etching and poling of lithium niobate. , Montana State University-Bozeman, College of Engineering. Doctoral dissertation (2014).
  17. Tomita, Y., Sugimoto, M., Eda, K. Direct bonding of LiNbO3 single crystals for optical waveguides. Applied Physics Letters. 66 (12), 1484-1485 (1995).
  18. Howlader, M. M. R., Suga, T., Kim, M. J. Room temperature bonding of silicon and lithium niobate. Applied Physics Letters. 89 (3), 031914(2006).
  19. Chang, C. M., et al. A parametric study of ICP-RIE etching on a lithium niobate substrate. 10th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems. , 485-486 (2015).
  20. Queste, S., et al. Deep reactive ion etching of quartz, lithium niobate and lead titanate. JNTE (Journées Nationales sur les Technologies) Proceedings. , (2008).
  21. Xu, J., Wang, C., Tian, Y., Wu, B., Wang, S., Zhang, H. Glass-on-LiNbO3 heterostructure formed via a two-step plasma activated low-temperature direct bonding method. Applied Surface Science. 459, 621-629 (2018).
  22. Tulli, D., Janner, D., Pruneri, V. Room temperature direct bonding of LiNbO3 crystal layers and its application to high-voltage optical sensing. Journal of Micromechanics and Microengineering. 21 (8), 085025(2011).
  23. Sridhar, M., Maurya, D. K., Friend, J. R., Yeo, L. Y. Focused ion beam milling of microchannels in lithium niobate. Biomicrofluidics. 6 (012819), (2012).
  24. Shilton, R. J., Yeo, L. Y., Friend, J. R. Drilling inlet and outlet ports in brittle substrates. Chips and Tips. , Available from: http://blogs.rsc.org/chipsandtips/2011/10/10/drilling-inlet-and-outlet-ports-in-brittle-ubstrates/?doing_wp_cron=1563672390.4860339164733886718750 (2011).

הגישה מוגבלת. התחברו או התחילו תקופת ניסיון כדי לצפות בתוכן זה.

הדפסות חוזרות והרשאות

תגיות

SAW
הייצור של ערוצי ננו גובה שילוב הופעה גל אקוסטי המשטח באמצעות ליתיום Niobate אקוסטית הננו לוקדיה
צור קשר
המלצה לספרייה

פרטיות

תנאי שימוש

מדיניות

2026 © זכויות יוצרים MyJoVE Corporation. כל הזכויות שמורות.