Name: ייצור ואפיון של מנחי גלים פוטוניים Crystal להאט את האור וחללים (וידאו) | JoVE Journal
Uploaded: 2012-11-30T13:00:00.000+00:00
Duration: 11 min 8 s
Description: למד לייצר ולאפיין מנחי גלים פוטוניים Crystal להאטת אור וחללים באמצעות ליתוגרפיית אלקטרונים וחיטוף פלזמה. שיטה זו מאפשרת חקר אינטראקציות אור-חומר בננו-מבנים פוטוניים.

ai_agent_IP

ai_agent

maintenance

instantTrialDurationMinutes

isBiopharma

enableNewMyJoveSectionDesign

educationFeatures

seoMetaApi

ai_copilot_institution_blacklist

ai_chat_institution_blacklist

freeAccessWindow

ssoRoleCapture

scheduledMaintenanceBanner

joveLabsFeatures

disable_autoplay_for_bots

extended_trial_duration

5 minutes

החוקרים מכירים תודה ד&quot;ר התאו גאלי, ד&quot;ר סימון L. Portalupi ופרופ &#39;לוסיו ג Andreani מאוניברסיטת פביה לדיונים מועילים הקשורים לטכניקת RS וביצוע המדידות.

<ol><li>Baba, T., Kawasaki, T., Sasaki, H., Adachi, J., Mori, D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Large+delay-bandwidth+product+and+tuning+of+slow+light+pulse+in+photonic+crystal+coupled+waveguide%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">Large delay-bandwidth product and tuning of slow light pulse in photonic crystal coupled waveguide.</a> Opt. Express. 16 (12), 9245-9253 (2008).</li>
<li>Melloni, A., Canciamilla, A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Tunable+delay+lines+in+silicon+photonics%3A+coupled+resonators+and+photonic+crystals%2C+a+comparison%5BTitle%5D)+AND+%22IEEE+Photon.+J%22%5BJournal%5D)">Tunable delay lines in silicon photonics: coupled resonators and photonic crystals, a comparison.</a> IEEE Photon. J. 2 (2), 181-194 (2010).</li>
<li>Ishikura, N., Baba, T., Kuramochi, E., Notomi, M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Large+tunable+fractional+delay+of+slow+light+pulse+and+its+application+to+fast+optical+correlator%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">Large tunable fractional delay of slow light pulse and its application to fast optical correlator.</a> Opt. Express. 19 (24), 24102-24108 (2011).</li>
<li>Beggs, D. M., Rey, I. H., Kampfrath, T., Rotenberg, N., Kuipers, L., Krauss, T. F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Ultrafast+tunable+optical+delay+line+based+on+indirect+photonic+transitions%5BTitle%5D)+AND+%22Phys.+Rev.+Lett%22%5BJournal%5D)">Ultrafast tunable optical delay line based on indirect photonic transitions.</a> Phys. Rev. Lett. 108 (21), 213901(2012).</li>
<li>Beggs, D. M., White, T. P., O'Faolain, L., Krauss, T. F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Ultracompact+and+low-power+optical+switch+based+on+silicon+photonic+crystals%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Lett%22%5BJournal%5D)">Ultracompact and low-power optical switch based on silicon photonic crystals.</a> Opt. Lett. 33 (2), 147-149 (2008).</li>
<li>Nguyen, H. C., Sakai, Y., Shinkawa, M., Ishikura, N., Baba, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((10+Gb%2Fs+operation+of+photonic+crystal+silicon+optical+modulators%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">10 Gb/s operation of photonic crystal silicon optical modulators.</a> Opt. Express. 19 (14), 13000-13007 (1364).</li>
<li>Kampfrath, T., Beggs, D. M., White, T. P., Melloni, A., Krauss, T. F., Kuipers, L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Ultrafast+adiabatic+manipulation+of+slow+light+in+a+photonic+crystal%5BTitle%5D)+AND+%22Phys.+Rev.+A%22%5BJournal%5D)">Ultrafast adiabatic manipulation of slow light in a photonic crystal.</a> Phys. Rev. A. 81 (4), 043837(2010).</li>
<li>Monat, C., Corcoran, B., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Slow+light+enhancement+of+nonlinear+effects+in+silicon+engineered+photonic+crystal+waveguides%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">Slow light enhancement of nonlinear effects in silicon engineered photonic crystal waveguides.</a> Opt. Express. 17 (4), 2944-2953 (2009).</li>
<li>Corcoran, B., Monat, C., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((light+emission+in+silicon+through+slow-light+enhanced+third-harmonic+generation+in+photonic-crystal+waveguides%5BTitle%5D)+AND+%22Nature+Photon%22%5BJournal%5D)">light emission in silicon through slow-light enhanced third-harmonic generation in photonic-crystal waveguides.</a> Nature Photon. 3, 206-210 (2009).</li>
<li>Li, J., O'Faolain, L., Rey, I. H., Krauss, T. F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Four-wave+mixing+in+photonic+crystal+waveguides%3A+slow+light+enhancement+and+limitations%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">Four-wave mixing in photonic crystal waveguides: slow light enhancement and limitations.</a> Opt. Express. 19 (5), 4458-4463 (2010).</li>
<li>Checoury, X., Han, Z., Boucaud, P. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Stimulated+Raman+scattering+in+silicon+photonic+crystal+waveguides+under+continuous+excitation%5BTitle%5D)+AND+%22Phys.+Rev.+B%22%5BJournal%5D)">Stimulated Raman scattering in silicon photonic crystal waveguides under continuous excitation.</a> Phys. Rev. B. 82 (4), 041308(2010).</li>
<li>Y, <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Photonic+crystal+nanocavity+laser+with+a+single+quantum+dot+gain%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">Photonic crystal nanocavity laser with a single quantum dot gain.</a> Opt. Express. 17 (18), 15975-15982 (2009).</li>
<li>Ellis, B., Mayer, M. A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Ultralow-threshold+electrically+pumped+quantum-dot+photonic-crystal+nanocavity+laser%5BTitle%5D)+AND+%22Nature+Photon%22%5BJournal%5D)">Ultralow-threshold electrically pumped quantum-dot photonic-crystal nanocavity laser.</a> Nature Photon. 24, 297-300 (2011).</li>
<li>Galli, M., Gerace, D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Low-power+continuous-wave+generation+of+visible+harmonics+in+silicon+photonic+crystal+nanocavities%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">Low-power continuous-wave generation of visible harmonics in silicon photonic crystal nanocavities.</a> Opt. Express. 18 (25), 26613-26624 (2010).</li>
<li>Notomi, M., Shinya, A., Mitsugi, S., Kira, G., Kuramochi, E., Tanabe, T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Optical+bistable+switching+action+of+Si+high-Q+photonic-crystal+nanocavities%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">Optical bistable switching action of Si high-Q photonic-crystal nanocavities.</a> Opt. Express. 13 (7), 2678-2687 (2005).</li>
<li>Shambat, G., Rivoire, K., Lu, J., Hatami, F., Vučkovič, J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Tunable-wavelength+second+harmonic+generation+from+GaP+photonic+crystal+cavities+coupled+to+fiber+tapers%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">Tunable-wavelength second harmonic generation from GaP photonic crystal cavities coupled to fiber tapers.</a> Opt. Express. 18 (12), 12176-12184 (2010).</li>
<li>Fan, S., Villeneuve, P. R., Joannopoulos, J. D., Haus, H. A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Channel+drop+filters+in+photonic+crystals%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">Channel drop filters in photonic crystals.</a> Opt. Express. 3 (1), 4-11 (1998).</li>
<li>Tanabe, T., Nishiguchi, K., Kuramochi, E., Notomi, M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Low+power+and+fast+electro-optic+silicon+modulator+with+lateral+p-i-n+embedded+photonic+crystal+nanocavity%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">Low power and fast electro-optic silicon modulator with lateral p-i-n embedded photonic crystal nanocavity.</a> Opt. Express. 17 (25), 22505-22513 (2009).</li>
<li>Nozaki, K., Tanabe, T., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Sub-femtojoule+all-optical+switching+using+a+photonic-crystal+nanocavity%5BTitle%5D)+AND+%22Nature+Photon%22%5BJournal%5D)">Sub-femtojoule all-optical switching using a photonic-crystal nanocavity.</a> Nature Photon. 4, 477-483 (2010).</li>
<li>Notomi, M., Yamada, K., Shinya, A., Takahashi, J., Takahashi, C., Yokohama, I. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Extremely+large+group-velocity+dispersion+of+line-defect+waveguides+in+photonic+crystal+slabs%5BTitle%5D)+AND+%22Phys.+Rev.+Lett%22%5BJournal%5D)">Extremely large group-velocity dispersion of line-defect waveguides in photonic crystal slabs.</a> Phys. Rev. Lett. 87 (25), 253902(2001).</li>
<li>Labilloy, D., Benisty, H., Weisbuch, C., Smith, C. J. M., Krauss, T. F., Houdré, R., Oesterle, U. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Finely+resolved+transmission+spectra+and+band+structure+of+two-dimensional+photonic+crystals+using+emission+from+InAs+quantum+dots%5BTitle%5D)+AND+%22Phys.+Rev.+B%22%5BJournal%5D)">Finely resolved transmission spectra and band structure of two-dimensional photonic crystals using emission from InAs quantum dots.</a> Phys. Rev. B. 59 (3), 1649-1652 (1999).</li>
<li>Inanç Tarhan, I., Zinkin, M. P., Watson, G. H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Interferometric+technique+for+the+measurement+of+photonic+band+structure+in+colloidal+crystals%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Lett%22%5BJournal%5D)">Interferometric technique for the measurement of photonic band structure in colloidal crystals.</a> Opt. Lett. 20 (14), 1571-1573 (1995).</li>
<li>Galli, M., Marabelli, F., Guizzetti, G. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Direct+measurement+of+refractive-index+dispersion+of+transparent+media+by+white-light+interferometry%5BTitle%5D)+AND+%22Appl.+Opt%22%5BJournal%5D)">Direct measurement of refractive-index dispersion of transparent media by white-light interferometry.</a> Appl. Opt. 42 (19), 3910-3914 (1364).</li>
<li>Galli, M., Bajoni, D., Marabelli, F., Andreani, L. C., Pavesi, L., Pucker, G. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Photonic+bands+and+group-velocity+dispersion+in+Si%2FSiO2+photonic+crystals+from+white-light+interferometry%5BTitle%5D)+AND+%22Phys.+Rev.+B%22%5BJournal%5D)">Photonic bands and group-velocity dispersion in Si/SiO2 photonic crystals from white-light interferometry.</a> Phys. Rev. B. 69 (11), 115107(2004).</li>
<li>Vlasov, Y. A., O'Boyle, M., Hamann, H. F., McNab, S. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Active+control+of+slow+light+on+a+chip+with+photonic+crystal+waveguides%5BTitle%5D)+AND+%22Nature%22%5BJournal%5D)">Active control of slow light on a chip with photonic crystal waveguides.</a> Nature. 438, 65-69 (2005).</li>
<li>Gomez-Iglesias, A., O'Brien, D., O'Faolain, L., Miller, A., Krauss, T. F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Direct+measurement+of+the+group+index+of+photonic+crystal+waveguide+via+Fourier+transform+spectral+interferometry%5BTitle%5D)+AND+%22Appl.+Phys.+Lett%22%5BJournal%5D)">Direct measurement of the group index of photonic crystal waveguide via Fourier transform spectral interferometry.</a> Appl. Phys. Lett. 90 (26), 261107(2007).</li>
<li>Akahane, Y., Asano, T., Song, B. -S., Noda, S. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((High-Q+photonic+nanocavity+in+a+two-dimensional+photonic+crystal%5BTitle%5D)+AND+%22Nature%22%5BJournal%5D)">High-Q photonic nanocavity in a two-dimensional photonic crystal.</a> Nature. 425, 944-947 (2003).</li>
<li>McCutcheon, M. W., Rieger, G. W., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Resonant+scattering+and+second-harmonic+spectroscopy+of+planar+photonic+crystal+microcavities%5BTitle%5D)+AND+%22Appl.+Phys.+Lett%22%5BJournal%5D)">Resonant scattering and second-harmonic spectroscopy of planar photonic crystal microcavities.</a> Appl. Phys. Lett. 87 (22), 221110(2005).</li>
<li>Galli, M., Portalupi, S. L., Belotti, M., Andreani, L. C., O'Faolain, L., Krauss, T. F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Light+scattering+and+Fano+resonances+in+high-Q+photonic+crystal+nanocavities%5BTitle%5D)+AND+%22Appl.+Phys.+Lett%22%5BJournal%5D)">Light scattering and Fano resonances in high-Q photonic crystal nanocavities.</a> Appl. Phys. Lett. 94 (7), 71101(2009).</li>
<li>WÃest, R., Strasser, P., Jungo, M., Robin, F., Erni, D., Jückel, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((An+efficient+proximity-effect+correction+method+for+electron-beam+patterning+of+photonic-crystal+devices%5BTitle%5D)+AND+%22Microelectron+Eng%22%5BJournal%5D)">An efficient proximity-effect correction method for electron-beam patterning of photonic-crystal devices.</a> Microelectron Eng. 67-68, 182-188 (2003).</li>
<li>Tanaka, Y., Asano, T., Akahane, Y., Song, B. -S., Noda, S. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Theoretical+investigation+of+a+two-dimensional+photonic+crystal+slab+with+truncated+cone+air+holes%5BTitle%5D)+AND+%22Appl.+Phys.+Lett%22%5BJournal%5D)">Theoretical investigation of a two-dimensional photonic crystal slab with truncated cone air holes.</a> Appl. Phys. Lett. 82 (11), 1661(2003).</li>
<li>Asano, T., Song, B. -S., Noda, S. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Analysis+of+the+experimental+Q+factors+%28%7E+1+million%29+of+photonic+crystal+nanocavities%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">Analysis of the experimental Q factors (~ 1 million) of photonic crystal nanocavities.</a> Opt. Express. 14 (5), 1996-2002 (2006).</li>
<li>O'Faolain, L., Schulz, S. A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Loss+engineered+slow+light+waveguides%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">Loss engineered slow light waveguides.</a> Opt. Express. 18 (26), 27627-27638 (2010).</li>
<li>Joannopoulos, J. D., Johnson, S. G., Winn, J. N., Meade, R. D. <a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=author%3aJoannopoulos%2C+JD+%22Photonic+crystals%2C+molding+the+flow+of+light%22">Photonic crystals, molding the flow of light</a>. , 2nd ed, Princeton University Press. (2008).</li>
<li>Li, J., White, T. P., O'Faolain, L., Gomez-Iglesias, A., Krauss, T. F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Systematic+design+of+flat+band+slow+light+in+photonic+crystal+waveguides%5BTitle%5D)+AND+%22Opt.+Express%22%5BJournal%5D)">Systematic design of flat band slow light in photonic crystal waveguides.</a> Opt. Express. 16 (9), 6227-6232 (2008).</li>
<li>Takeda, M., Ina, H., Kobayashi, S. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Fourier-transform+method+of+fringe-pattern+analysis+for+computer-based+topography+and+interferometry%5BTitle%5D)+AND+%22J.+Opt.+Soc.+Am%22%5BJournal%5D)">Fourier-transform method of fringe-pattern analysis for computer-based topography and interferometry.</a> J. Opt. Soc. Am. 72 (1), 156-160 (1982).</li>
</ol>

אין ניגודי האינטרסים הכריזו.

ייצור מדגם הבחירה של אלומת אלקטרונים להתנגד (כלומר Zep 520A) שלנו היא בשל הרזולוציה הגבוהה שלו בו זמנית וההתנגדות לחרוט. אנו מאמינים כי 520A Zep עשוי להיות מושפע מאור UV הנפלט מנורות מעבדה עיליות; ככזה אנו ממליצים להניח את דגימות ספין מצופים במיכלים אטומים UV תוך הזזתם ממעבדה אחת לשנייה. התקדמות להגדרת דפוס הגבישים פוטוניים, לפני חשיפת המד...

<table><tbody><tr><td>אצטון</td><td>פישר סיינטיפיק</td><td>A/0520/17</td><td><חזק>זהירות: דליק, השתמש באוורור טוב והימנע מכל מקורות ההצתה.</חזק></td></tr><tr><td>איזופרופנול</td><td>פישר סיינטיפיק</td><td>P/7500/15</td><td><חזק>זהירות: דליק, השתמש באוורור טוב והימנע מכל מקורות ההצתה.</חזק></td></tr><tr><td>קרן אלקטרונים להתנגד</td><td>ל-Marubeni Europe plc.</td><td>ZEP520A</td><td><חזק>זהירות: דליק, מזיק בשאיפה, הימנע ממגע עם העור והעיניים.</חזק></td></tr><tr><td>קסילן</td><td>פישר סיינטיפיק</td><td>X/0100/17</td><td><חזק>זהירות: דליק ורעיל מאוד, השתמש באוורור טוב, הימנע מכל מקורות ההצתה, הימנע ממגע עם העור והעיניים.</td></tr><tr><td>Microposit S1818 G2</td><td>Chestech Ltd.</td><td>10277866</td><td><חזק>זהירות: דליק וגורם לגירוי בעיניים, באף ובדרכי הנשימה.</חזק></td></tr><tr><td>Microposit מפתח MF-319</td><td>Chestech Ltd.</td><td>10058721</td><td><חזק>זהירות: נוזל אלקליין ועלול לגרום לגירוי בעיניים, באף ובדרכי הנשימה.</חזק></td></tr><tr><td>חומצה הידרופלואורית</td><td>פישר סיינטיפיק</td><td>22333-5000</td><td><חזק>זהירות: מאכל במיוחד, הורס בקלות רקמות; לטפל עם ציוד מגן אישי מלא מדורג עבור HF.</td></tr><tr><td>Microposit 1165 Remover</td><td>Chestech Ltd.</td><td>10058734</td><td><חזק>זהירות: דליק וגורם לגירוי בעיניים, באף ובדרכי הנשימה.</חזק></td></tr><tr><td>חומצה גופרתית</td><td>Fisher Scientific</td><td>S/9120/PB17</td><td>זהירות: קורוזיבי ורעיל מאוד; יש לטפל בציוד מגן אישי ולהימנע משאיפת אדים או ערפל.</td></tr><tr><td>Hydrogen</td><td>Peroxide Fisher Scientific</td><td>BPE2633-500</td><td><חזק>זהירות: מסוכן מאוד במקרה של מגע בעור ובעיניים; ידית עם ציוד מגן אישי.</td></tr><tr><td colspan="4" ><חזק>ציוד</חזק></td></tr><tr><td>פרוסת סיליקון על מבודד</td><td>Soitec</td><td>G8P-110-01</td><td></td></tr><tr><td>Diamond Scribe</td><td>J M Diamond Tool Inc.</td><td>HS-415</td><td></td></tr><tr><td>מיקרוסקופ שקופיות</td><td>פישר סיינטיפיק</td><td>FB58622</td><td></td></tr><tr><td>כוסות</td><td>פישר סיינטיפיק</td><td>FB33109</td><td></td></tr><tr><td>פינצטה</td><td>SPI Supplies</td><td>PT006-AB</td><td></td></tr><tr><td>אמבט אולטרסאונד</td><td>Camlab</td><td>1161436</td><td></td></tr><tr><td>ספין-ציפוי</td><td>אלקטרוני מיקרו מערכות בע"מ</td><td>EMS 4000</td><td></td></tr><tr><td>Pipette</td><td>Fisher Scientific</td><td>FB55343</td><td></td></tr><tr><td>מערכת ליתוגרפיה E-beam Raith</td><td>Gmbh</td><td>Raith 150</td><td></td></tr><tr><td>מערכת תחריט יונים תגובתית</td><td>קניינית מעוצבת פנימית</td> <td>-</td><td></td></tr> <tr><td>יישור מסכת UV</td><td>Karl Suss</td><td>MJB-3</td><td></td></tr><tr><td>ASE source</td><td>Amonics</td><td>ALS-CL-15-B-FA</td><<td>strong>זהירות: קרינת IR בלתי נראית.</חזק></td></tr><tr><td>סיבים במצב יחיד</td><td>Thorlabs</td><td>P1-SMF28E-FC-2</td><td></td></tr><tr><td>3 dB מפצלי סיבים</td><td>Thorlabs</td><td>C-WD-AL-50-H-2210-35-FC/FC</td><td></td></tr><tr><td>עדשות אספריות</td><td>פוקוס חדש</td><td>5720-C</td><td></td></tr><tr><td>XYZ שלבים</td><td>Melles Griot</td><td>17AMB003/MD</td><td></td></tr><tr><td>קוביית מפצל קרן מקטב</td><td>Thorlabs</td><td>PBS104</td><td></td></tr><tr><td>גלאי IR</td><td>פוקוס חדש</td><td>2033</td><td></td></tr><tr><td>100&#215; מטרה</td><td>Nikon</td><td>BD Plan 100x</td><td></td></tr><tr><td>אוסילוסקופ</td><td>Tektronix</td><td>TDS1001B</td><td></td></tr><tr><td>מנתח ספקטרום אופטי</td><td>Advantest</td><td>Q8384</td><td></td></tr><tr><td>כרטיס חיישן IR</td><td>ניופורט</td><td>F-IRC2</td><td></td></tr><tr><td>TLS מקור</td><td>Agilent</td><td>81940A</td><td>זהירות: קרינת IR בלתי נראית.</חזק</td></tr><tr><td>>IR מצלמה</td><td>אלקטרופיזיקה</td><td>7290A</td><td></td></tr><tr><td>גלאי IR</td><td>פוקוס חדש</td><td>2153</td><td></td></tr><tr><td>מולטימטר דיגיטלי</td><td>Agilent</td><td>34401A</td><td></td></tr><tr><td>מלאי תאורה</td><td>ייל</td><td>לייט קרדית</td><td></td></tr><tr><td>מונוכרומטור</td><td>מוצרים ספקטרליים</td><td>DK480</td><td></td></tr><tr><td>גלאי מערך</td><td>Andor</td><td>DU490A-1.7</td><td></td></tr><tr><td>GIF סיבים</td><td>Thorlabs</td><td>31L02</td><td></td></tr></tbody></table>

ייצור ואפיון של מנחי גלים פוטוניים crystal להאט את האור וחללים

Fabrication And Characterization Of Photonic Crystal Slow Light Waveguides And Cavities

אור האיטי היה אחד הנושאים החמים ביותר בקהילת פוטוניקה בעשור האחרון, שהניב עניין רב הן מנקודת מבט בסיסית ולפוטנציאל הרב שלה ליישומים מעשיים. גלבו גביש להאט את האור פוטוניים, בפרט, שחק תפקיד מרכזי ולהיות מועסקים בהצלחה לעיכוב אותות אופטיים 1-4 והשיפור של שני המכשירים 5-7 וקויים ליניארי. 8-11 חללי גבישים פוטוניים להשיג אפקטים דומים לזה של גלבו אור האיטי, אבל על רוחב פס מופחת. חללים אלו מציעים יחס Q-factor/volume גבוה, למימוש אופטי וחשמלי 12 13 נשאבים לייזרי סף נמוכים במיוחד והשיפור של אפקטים לא לינארית. 14-16 יתר על כן, מסננים פסיביים 17 ומאפננים 18-19 הוכחו, מציג קו רוחב r-Ultra צר, גבוה חופשי רפאיםערכי Ange ושיא של צריכת אנרגיה נמוכה. כדי להשיג את התוצאות הללו המרגשים, פרוטוקול ייצור דיר איתן חייב להיות מפותח. במאמר זה אנו לוקחים מבט מעמיק בפרוטוקול הייצור שלנו, אשר מעסיק יתוגרפיה אלומת אלקטרונים להגדרת דפוסי גבישים פוטוניים ומשתמש בטכניקות תחריט יבשות ורטובות. התוצאות שלנו מותאמות ייצור המתכון בגבישים פוטוניים שאינם סובלים ממצב אנכי סימטריה ולהציג חספוס טוב מאוד קצה קיר. אנחנו דנים בתוצאות של משתנה פרמטרי התחריט ואת ההשפעות מזיקות שהם יכולים להיות על מכשיר, מה שמוביל למסלול אבחון שניתן לנקוט על מנת לזהות ולמנוע בעיות דומות. המפתח להערכת גלבו אור האיטי הוא האפיון הפסיבי של שידור וספקטרום ראשי קבוצה. שיטות שונות כבר דיווח, בעיקר פתרון שולי פברי פרו של ספקטרום השידור 20-21טכניקות ד interferometric. 22-25 כאן, אנו מתארות טכניקה ישירה, פס רחבה מדידת שילוב interferometry רפאים עם ניתוח התמרה פורה 26. השיטה שלנו בולטת לפשטות ולכח שלה, כפי שאנו יכולים לאפיין גבישים פוטוניים חשופים עם הגישה גלבו, ללא צורך עבור רכיבים על שבב הפרעות, וההתקנה מורכב רק interferometer מאך-Zehnder, ללא צורך בחלקים נעים וסריקות עיכוב. כאשר חללי אפיון פוטוניים גביש, טכניקות מעורבות מקורות פנימיים או 21 בגלבו חיצוני מצמידים ישירות ל27 השפעת החלל על ביצועים של החלל עצמו, ובכך מעוות את המדידה. כאן, אנו מתארים שיטה חדשנית ולא פולשנית שעושה שימוש בקרן אור מקוטבת בדיקה הצולבת והוא ידוע כפיזור תהודה (RS), שבו החללית יחד מחוץ למטוס אל תוך החלל דרך אובייקטיבי. הטכניקה הייתה הראשון demonstraטד על ידי Mccutcheon אח&#39; 28. ופיתוח נוסף על ידי גלי ואח&#39; 29.

דגימות מיוצבות
איור 1 מציג תמונת מיקרוסקופ אלקטרונים סורק (SEM) של תבנית שנחשפה ופותחה ברזיסט למקרין אלקטרונים - מהקצה ה"נקי" בין הרזיסט למצע הסיליקון ניכר כי החשיפה והפיתוח הושלמו באופן מלא. חשיפה של תבניות בדיקת מינון, המורכבות מצורות חוזרות פשוטות (במקרה שלנו ריבועים של 50 × 50 μm), כאשר לכל אחת מינון בסיס שונה, משמשת לקביעת מקדם המינון וזמן הפיתוח הנכונים עבור שכבות עתידיות.
בעת יצירת תכונות ברזולוציה גבוהה באמצעות ליתוגרפיה של אלומת אלקטרונים, מ...

שימוש בגלבו פוטוניים גביש להאט את האור וחללי האומצה באופן נרחב על ידי קהילת פוטוניקה ביישומים רבים שונים. לכן ייצור ואפיון של התקנים אלה הם עניין רב. מאמר זה מתאר טכניקת הייצור שלנו ושתי שיטות אפיון אופטיות, דהיינו: פיזור interferometric (גלבו) ותהודה (עששת).

ייצור ואפיון של מנחי גלים פוטוניים Crystal להאט את האור וחללים

Slow light has been one of the hot topics in the photonics community in the past decade, generating great interest both from a fundamental point of view ...

המטרה הכוללת של הליך זה היא לייצר ולאפיין גביש פוטוני, מוביל גל אור איטי או חלל. זה מושג על ידי הכנת הסיליקון על שבב המבודד לליתוגרפיה של קרן אלקטרונים על ידי ניקוי וסיבוב ציפוי השבב בהתנגדות ZEP חמש 20. השלב השני הוא לחשוף ולפתח את דפוס הגביש הפוטוני באמצעות ליתוגרפיה של קרן אלקטרונים להגדרת דפוס וקסילן לפיתוח.לאחר מכן, העבירו את דפוס הגביש הפוטוני לשכבת הסיליקון העליונה של השבב על ידי חריטת פלזמה של הדגימה בתחריט היונים התגובתי. השלב האחרון הוא הסרת שכבת התחמוצת הקבורה על ידי חריטת הסיליקה בחומצה הידרופלואורית. זה יוצר התקני גביש פוטוני ממברנה, במילים אחרות, מכשירים עם אוויר מעל ומתחת לשכבת הגביש הפוטוני מסיליקון.בסופו של דבר, המכשיר מאופיין אופטית אם הדגימה מכילה מדריכי גלי גביש פוטוניים בין ניסוי אור איטי מבוסס אינטרפרומטר מבוצע אם הדגימה מורכבת מחללי גביש פוטוניים. במקום זאת, נעשה שימוש בטכניקת פיזור תהודה לאפיון. מטרת העבודה שלנו היא לחקור אינטראקציה של חומר אור בננו-מבנים פוטוניים וליצור התקנים חדשים ולחקור מושגים מעניינים במבנים כאלה.אז כדי להתרכז ולהיות מסוגלים להתמקד באמת בפיזיקה של העבודה הזו, אנחנו צריכים פרוטוקול ייצור אמין. פיתחנו פרוטוקול המבוסס על סיליקון על מבודד, שאנו מוצאים אמין ונוח מאוד, ועל ידי הפיכת פרוטוקול זה לזמין למגוון רחב יותר של משתמשים וחוקרים אחרים, אנו מקווים לעורר פעילות רבה יותר בתחום זה. באשר לאפיון החיים האיטיים שלנו של מדריכי גלי קריסטל טוריים, הטכניקה שלנו בולטת בפשטותה ובעוצמתה מכיוון שהיא אינה דורשת רכיבים אינטרפרומטריים על השבב או חלקים נעים.היתרון העיקרי של טכניקת פיזור תהודה זו על פני השיטות הקיימות הוא בכך שהיא מאפשרת אפיון של חללי גביש פוטוניים וסידור מחוץ למישור, אשר בדרך כלל ידרוש מקור אור פנימי כדי להתחיל לנקות סיליקון על פרוסת מבודד על ידי הנחתו באמבט קולי של אצטון למשך דקה עד שתיים. לאחר מכן העבירו את הדגימה לאיזופרופנול למשך 30 שניות כדי להסיר שאריות אצטון ולייבש אותה באמצעות אקדח חנקן נקי ויבש. לאחר מכן, הנח את הוופל לתוך קודן ספין ופיפטה על מספיק CEP 5 28 Photoresist כדי לכסות לחלוטין את הדגימה.סובב את הדגימה ב-3, 200 סל"ד למשך 60 שניות כדי לייצר סרט בעובי 350 ננומטר. מוציאים את הוופל ממקודד הסיבוב ואופים על צלחת חמה בחום של 180 מעלות צלזיוס למשך 10 דקות. לאחר קירור השבב, הנח אותו בתא החשיפה לדפוס של מערכת הליתוגרפיה של קרן האלקטרונים ושאב מטה כאשר הושג ואקום מלא.הגדר את מתח התאוצה ל -30 קילו-וולט והשאיר את המערכת לשיווי משקל למשך שעה. לאחר מכן חשוף את הדגימה במינון שטח של 55 מיקרו אמפר לסנטימטר בריבוע. באמצעות גודל מדרגה של שני ננומטר.פתח את הדגימה על ידי הכנסתה לקסילן בטמפרטורה של 23 מעלות צלזיוס למשך 45 שניות. לאחר מכן שטפו את שאריות הקסילן עם איזופרופנול. לאחר ניקוי תא תחריט היונים הריאקטיבי, טען את הדגימה ושאב את המערכת לפחות משלוש פעמים 10 לשש השלילי.מיליבר לאחר מכן יש לבצע חימום מוקדם של החדר על ידי זרימה בפלואור וגופרית הקס פלואוריד ביחס של אחד לאחד ב-100 SECM, ולאפשר לגזים לזרום למשך 10 דקות לפחות. לאחר מכן, הגדר את הספק ה-RF ל-20 וואט והצית פלזמה. חרטו את הדגימה למשך כשתי דקות תוך הקפדה על שמירה על לחץ תא של חמש פעמים 10 לשני מילי-בר שלילי.לאחר מכן הסר את הדגימה ונקה אותה על ידי שטיפה. בשנת 1165, הסר עם תסיסה קולית למשך דקה עד שתיים, ואחריה אצטון ואיזופרופנול. כדי להתחיל בבידוד הממברנה, יש לצפות את הדגימה במיקרו פוטו-רזיסט רגיש ל-UV S 1818 G שתיים.שימוש במסכת צילום מתאימה. הגדר חלונות בתוך ההתנגדות מעל דפוסי הגביש הפוטוני באמצעות מיישר מסיכת ה-UV. חשוף את הדגימה למשך כ-30 עד 45 שניות.פתח את ההתנגדות לתמונות במפתח מיקרו פוזיט MF 3 1 9 למשך 30 עד 45 שניות. שטיפה לאחר מכן ומים נטולי יונים. לאחר מכן, חרטו את הדגימה בחלק אחד של חומצה הידרופלואורית לחמישה חלקים של מים נטולי יונים למשך 15 דקות.לאחר התחריט יש לשטוף היטב את הדגימה ומים נטולי יונים. הסר את הפוטו-התנגדות שנותרה באמצעות אצטון למשך חמש דקות או עד שהדגימה נראית נקייה. לאחר מכן שוטפים, איזופרופנול ומייבשים בחנקן.לאחר מכן, נקו את הדגימה באמבט פיאנה של שלושה חלקים של חומצה גופרתית לחלק אחד מי חמצן למשך חמש דקות. לאחר מכן שטפו את הדגימה באצטון מים נטולי יונים ואיזופרופנול. לבסוף, חצב את הדגימה על ידי ביצוע שריטות קטנות בכל צד של השבב המצפה את השריטות כלפי מעלה בקצה מגלשת זכוכית ולחץ כדי להיבקע לאורך קווי השריטות.על מנת למדוד עקומות אינדקס שידור וקבוצה של מדריכי גלי גביש פוטוניים באור איטי, הגדר מערכת זיהוי אינטרפרומטרית מדומה של זנדר המוצגת כאן כמתואר בפירוט בפרוטוקול הנלווה. לאחר מכן, הכנס את השבב למקומו וחבר אור למוליך גל רכס ריק. כוונן את שלב ההשהיה עד שאורך זרוע הייחוס קצר יותר מזרוע הדגימה.המשך להתאים את שלב ההשהיה ולהתבונן בכוח המועבר דרך עור רציף של מנתח הספקטרום האופטי. התאם עד שנצפו ארבעה עד 10 שוליים בטווח אורכי גל של 10 ננומטר. לאחר ההתאמה, שמור על קו ההשהיה קבוע לאורך כל המדידות.לאחר מכן, כייל את ההגדרה על ידי הפעלת שלוש סריקות של מוביל הגל הריק על מנתח הספקטרום האופטי ברזולוציה של 0.05 עד 0.1 ננומטר. סריקה אחת לספקטרום ההפרעות וסריקה אחת לכל אחת משתי הזרועות בנפרד. רשום כל ספקטרום נמדד.לאחר מכן הפעל את אותן שלוש סריקות על כל מוביל גלי קריסטל פוטוני על השבב. לבסוף, חשב את עקומת השידור על ידי נורמליזציה של ספקטרום הדגימה של מוביל גל גביש פוטוני לזה שבמוביל הגל הריק. כמו כן, חשב את עקומת אינדקס הקבוצה מספקטרום ההפרעות כמתואר בפרוטוקול.התחל בהרכבה אנכית של הדגימה עם כיוון של 45 מעלות לציר המקטב על בלוק מיקרו XY, Z מונע דיפרנציאלי, והתאם את בלוק המיקרו כך שהדגימה תהיה בפוקוס וניתן יהיה לראות חלל עם המצלמה באמצעות מקור פליטה ספונטני מוגבר. יישר את הקורה עם מרכז החלל. לאחר מכן, התחל סריקה רחבה ברזולוציה של עומס עד בינוני.על מנת לזהות את פסגות החלל, קבל את אורך גל המסלול של התהודה בסריקת הפליטה הספונטנית המוגברת בדיוק של פלוס מינוס ננומטר אחד. לאחר זיהוי שיאי החלל, בצע סריקות ברזולוציה גבוהה כאשר מקור הלייזר המתכוונן מוחלש לרמות מיקרו וואט. סרוק ברזולוציה של פיקו מטר אחד לטווח של שני ננומטר שבמרכזו אורך גל התהודה שנמצא קודם לכן.שנה את מיקום ה-XY, Z של בלוק המיקרו והפעל מחדש את הסריקה עד שיחס האות לרעש יהיה מקסימלי וצורת הקו תהיה קרובה לזו של lian המוצג כאן. תחריט מוצלח עם מערכת תחריט היונים הריאקטיבי מייצר דגימה עם דפנות אנכיות וללא הרחבה של החורים באף אחד ממשטחי הסיליקון. הגדרות לחץ, כוח וזמן עברו אופטימיזציה ליצירת מבנה אידיאלי.כאשר לחץ תחריט היונים הריאקטיבי הוא מעל האופטימלי, עליית הלחץ גורמת לזווית בדופן הגביש הפוטוני. עלייה בהספק ה-RF יכולה גם לגרום לאי-סדרים בגביש, כגון התרחבות חורי הגביש הפוטוניים המוצגים מימין. זמן חשיפה רב מדי גורם לשילוב של השפעות עקב התמוטטות הפוטו-רזיסט וכתוצאה מכך התרחבות חורי הגביש הפוטוניים והדפנות הזוויתיות.מוליך גל ריק מביא לשוליים מפוזרים באופן אחיד על פני כל טווח אורכי הגל. כאשר הריק מוחלף במוליך גל גביש פוטוני מהונדס באורך 80 מיקרומטר, השוליים הופכים צפופים יותר באורכי גל מעל 1,575 ננומטר המסמנים את המעבר ממשטר האור המהיר למשטר האור האיטי. שיטה זו מספקת מדדים קבוצתיים נמדדים בעודף 100 עבור מוביל גל באורך 80 מיקרומטר, וכמעט 90 עבור מוביל באורך 300 מיקרומטר.סריקות ברזולוציה גבוהה עם מקור לייזר T Noble יפיקו באופן אידיאלי צורת קו Lian לניתוח גורם Q מדויק של 43,855 באורך גל של כ-1,562 ננומטר. הפרוטוקול שתיארנו זה עתה עבר אופטימיזציה עבור מדריכי גלי גביש פוטוניים וחללים בתחום אורכי הגל החשוב של טלקומוניקציה של 1550 ננומטר. ברור שאנחנו יכולים גם ליצור סוגים אחרים של מדריכי גלים שהם תובעניים באותה מידה.אנו יכולים לעשות זאת גם באורכי גל שונים, ועל ידי מתן כל הפרטים הללו לקהילה, אנו מקווים שאנשים אחרים יקבלו השראה לנסות זאת גם בחומרים שונים ועבור יישומים אחרים. בעזרת טכניקת המדידה שלנו, המבוססת על אינטרפרומטריה ספקטרלית וניתוח טרנספורמציה של פואר, אנו מסוגלים למדוד מדדים קבוצתיים העולים על 100 עם הגדרה אופטית פשוטה מאוד. טכניקת אפיון החלל מאפשרת אפיון מהיר, פשוט ולא פולשני של התכונות הספקטרליות של ננו חללי גביש פוטוניים, כגון קביעת גורם האיכות של MOS התהודה.

fabrication-characterization-photonic-crystal-slow-light-waveguides

Research

JoVE Journal

Engineering

הנדסה

אנו מתארים את השימוש בטכניקת לייזר פחמן דו חמצני reflow לייצר חללים סיליקה התהודה, כולל חופשית עומד microspheres ועל שבב microtoroids. שיטת reflow מסיר פגמים על פני השטח, מה שמאפשר חיים ארוכים פוטון בתוך המכשירים. המכשירים וכתוצאה מכך יש אולטרה גורמים באיכות גבוהה, מה שמאפשר יישומים החל התקשורת כדי biodetection.

ייצור של אולטרה סיליקה Microresonators באיכות גבוהה פקטור

את הטכניקות שפותחו במעבדה המותאמות אישית שלנו לבנות מערכות מיקרוגל פוטוניקה המבוססת על תהודה גלריות מצב Ultra-Q גבוהה לחישות מוצגות. הפרוטוקולים להשיג ולאפיין תהודה אלה מפורטים, והסבר של חלק מהיישומים שלהם במיקרוגל Photonics הוא נתון.

מיקרוגל Photonics מערכות המבוססות על מהודי לחישות-גלריה של מצב

אנו מפתחים ולאפיין סיב אופטי פולימר הפרעות המשתמש לוקליזציה אנדרסון רוחבית כמנגנון waveguiding רומן. סיבי microstructured זה יכול להעביר קרן מקומית קטנה עם רדיוס כי ניתן להשוות את רדיוס האלומה של סיבים אופטיים קונבנציונליים.

ייצור ואפיון של סיבים אופטיים הפרעות פולימר ללוקליזציה רוחבית אנדרסון אור

עירורים אופטו-מכניים פרמטריים הודגמו לאחרונה בניסוי בתהודה אופטומכנית מיקרופלואידית באמצעות לחץ קרינה אופטי ופיזור ברילואין מגורה. מאמר זה מתאר את הייצור של מהודים מיקרופלואידיים אלה יחד עם מתודולוגיות ליצירה ואימות של תנודות אופטומכניות.

ייצור ובדיקה של מתנדים optomechanical Microfluidic

מבנים מסודרים להציע מנגנונים חדשים לגיבוש bandgaps פוטוניים וחופש חסר תקדים בעיצובים פונקציונליים-פגם. כדי לעקוף את האתגרים חישובית של מערכות לא מסודרות, אנו בונים דגימות מקרוסקופית המודולרי של הסוג החדש של חומרי PBG ולהשתמש מיקרוגלים לאפיין תכונות פוטוניים קנה המידה בלתי משתנה שלהם, באופן קל ולא יקר.

שימוש במיקרוגל ודוגמאות מקרוסקופית של דיאלקטרי מוצקים לחקר מאפיינים פוטוניים של הפרעות חומרי bandgap פוטוניים

אנו מציגים פרוטוקול עבור בודה חללים גבישים פוטוניים 1-D על סיבי סיליקה בקוטר subwavelength (nanofibers אופטי) באמצעות אבלציה לייזר המושרה femtosecond.

המצאה של 1-D פוטוניים Crystal חלל על nanofiber שימוש Femtosecond אבלציה לייזר המושרה

פרוטוקולים לסינתזה של microspheres מפולימרים, מניפולציה של microspheres, ומדידות photoluminesencence מיקרו מוצגים.

ייצור של פולימרים microspheres עבור מהוד אופטי ויישומי לייזר

מטוסי פאנטום רקמות אופטי הם כלים חיוניים כיול של אפיון של מערכות הדמיה אופטית ואימות של מודלים תיאורטיים. מאמר זה מפרט את שיטת ייצור דמה הכולל שכפול של רקמות התכונות האופטיות ואת מבנה רקמות תלת מימדי.

ייצור ואפיון רקמות אופטי הפאנטומים המכיל למפלגות

מבנה הלהקה של פוטטון מאפשר להבין כיצד מופצים מצבים אלקטרומגנטיים מוגבלים בתוך גביש פוטוני. בקריסטלים פוטוני המשלבים אלמנטים מגנטיים, מצבים אופטיים כאלה ומוגנטים, מלווים בפעילות מגנטית-אופטית משופרת ושונתה. אנו מתארים הליך מדידה כדי לחלץ את המבנה להקה אופטית מגנטו על ידי מיקרוסקופ חלל פורייה.

מגנטו-אופטיים ומשולשים-אפיון של מבנים ננוטוני

מתואר כאן שיטת ליטוגרפיה ננוספירה לייצור מקביל של מגלי גל במצב אפס, שהם מערכים של ננו-פטרטורים במיקרוסקופיה זכוכית מצופה מתכת עבור הדמיית מולקולה בודדת בריכוזים ננו-למיקרומולרים של פלואורופורים. השיטה מנצלת את ההרכבה העצמית של הגביש הקולואידי כדי ליצור תבנית מגיד גל.

ייצור של מגלי גל במצב אפס למיקרוסקופיה של מולקולה בודדת בריכוז גבוה

פרוטוקול זה מתאר בנייה של אטלון פברי-פרו בעלות נמוכה, בדיד, מצומד סיבים ומרווח אוויר, עם יישומים שונים, כגון בספקטרוסקופיית גז עקבות. הייצור אפשרי בכל מתקן עם ציוד מעבדה אופטי סטנדרטי זמין.

ייצור אטאלון פברי-פרוט בעלות נמוכה, מצומד סיבים ומרווח באוויר

למד לייצר ולאפיין מנחי גלים פוטוניים Crystal להאטת אור וחללים באמצעות ליתוגרפיית אלקטרונים וחיטוף פלזמה. שיטה זו מאפשרת חקר אינטראקציות אור-חומר בננו-מבנים פוטוניים.

ייצור ואפיון של מנחי גלים פוטוניים Crystal להאט את האור וחללים

גלה סרטונים נוספים