תהליך ייצור של מפעילי אלסטומר דיאלקטרי מבוסס סיליקון

37.7K צפיות

צוטט 102 פעמים

10:32 דק׳

1 בפברואר 2016

10.3791/53423-v

1 בפברואר 2016

37.7K צפיות

Samuel Rosset¹ , Oluwaseun A. Araromi¹ , Samuel Schlatter¹ , Herbert R. Shea¹

¹Microsystems for Space Technologies Laboratory, Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne

כתב יד זה מציג את תהליך הייצור של מפעילים רכים אלסטומרים דיאלקטריים המבוססים על ממברנות סיליקון. שלושת שלבי המפתח של הייצור מוצגים בפירוט: יציקת להב של ממברנות סיליקון דקות; הדפסת כרית של אלקטרודות תואמות; והרכבה של כל הרכיבים.