בסיוע זרימת Dielectrophoresis: שיטה בעלות נמוכה עבור הזיוף של התקני ננו-חוט processable-פתרון ביצועים גבוהים

בנייר זה, הזרימה dielectrophoresis בסיוע הוכח עבור הרכבה עצמית של התקני ננו-חוט. הזיוף של טרנזיסטור אפקט שדה ננו-חוט סיליקון מוצג בתור דוגמה.

המטרה הכוללת של הליך זה היא להדגים סיוע בשדה חשמלי, הרכבה ובחירה של ננו-חוטים מוליכים למחצה באיכות גבוהה, כולל ייצור אלקטרודות מתכת ושימוש באלקטרודות אלו בדיאלקטרופורזה בסיוע זרימה ליצירת טרנזיסטורי אפקט שדה ננו-חוטים הניתנים לעיבוד בתמיסה. שיטה זו יכולה לעזור לנו לפתור את אחד האתגרים המרכזיים בתחום האלקטרוניקה הניתנת לעיבוד תמיסה, כגון מיקום ננו-חומרים מוליכים למחצה, בקרה על הכלימה הנעשית והכשרה בשטח של ננו-חוטים באיכות מעולה. התפקיד העיקרי של טכניקה זו הוא שמדובר בשיטה הניתנת לשחזור מהיר שניתן להגדיל את הייצור הניתן לשליטה של התקנים מבוססי חומרים ננו. למרות ששיטה זו יכולה לספק תובנה לגבי היישור והבחירה של ננו-חוטים, ניתן ליישם אותה גם ביישור של ננו-צינורות, פתיתי ננו וננו-חומרים דמויי להב. רוב השלבים בפרוטוקול זה מתרחשים בסביבת חדר נקי. התחל עם פרוסת סיליקון/סיליקון דו חמצני מסוג N בגודל ארבעה אינץ'. השתמש בסופר יהלומים כדי לחתוך את הוופל כדי לייצר דוגמאות בגודל מתאים. הקפד לא לגעת במשטח העליון. פצלו את הוופל לאורך החתכים כדי להניב מספר דגימות. הדגימות לניסוי זה הן 2.5 על 2.5 סנטימטרים. בסיום, קח את הדגימות לאמבט קולי. הניחו את הדגימות על מחזיק מצע וטבלו אותן בכוס מים נטולי יונים. סוניקטיבי את הדגימות בכוס למשך חמש דקות במלוא העוצמה. לאחר מכן העבירו את הדגימות לכוס עם אצטון לפני שתעבירו אותן שוב למשך חמש דקות במלוא העוצמה. לבסוף, העבירו את הדגימות לכוס עם איזופרופנול וסוניקט למשך חמש דקות נוספות במלוא העוצמה. הסר את הדגימות מהאמבטיה האולטראסונית וייבש אותן בעזרת אקדח חנקן. לאחר מכן, העבירו את הדגימות לפלזמה כדי להסיר שאריות אורגניות שנותרו. עבור פוטוליתוגרפיה, העבר את הדגימות לחדר צהוב. עבדו בארון אדים עם פלטה חשמלית ב-150