ライト強化フッ酸不動態化：バルクシリコン欠陥を検出するための高感度テクニック

サマリー

バルクシリコンの欠陥の再結合活性を調べるRT液体表面パッシベーション技術が記載されています。 1分間15％のフッ酸と、（iii）照明（I）において、化学洗浄及びシリコンのエッチング、シリコンの（ii）の浸漬：技術を成功させるには、3つの重要な手順が必要です。

要約

手順が提示されているフッ酸（HF）にウェーハを浸漬する際に、一時的に表面パッシベーションの非常に高いレベルを達成することにより、シリコンウエハのバルク寿命（> 100マイクロ秒）を測定しました。この手順により、3つの重要なステップは、バルク寿命を達成するために必要とされます。まず、HFにシリコンウェーハを浸漬する前に、それらを化学的に洗浄され、その後、25％の水酸化テトラメチルアンモニウムでエッチングされます。第二に、化学的に処理されたウェハは、次いでHFと塩酸の混合物を充填した大きなプラスチック容器に入れられ、その後、光伝導（PC）の測定のために誘導コイルを上にセンタリング。表面再結合を抑制し、バルク寿命を測定するために、ウェハはハロゲンランプを用いて1分間、0.2太陽に照らされている第三に、照明がオフにされ、そしてPCの測定が直ちに行われます。この手順により、バルクシリコンの欠陥の特性を正確に決定することができます。毛皮thermore、それは、その濃度が（<10 ^{12 cm} -3程度）低い場合に敏感なRT表面パッシベーション技術は、バルクシリコンの欠陥を検査するために不可欠であることが予想されます。

概要

高寿命（> 1ミリ秒）単結晶シリコンは、高効率の太陽電池のため、これまで以上に重要になってきています。埋め込まれた不純物の再結合特性を理解することであって、重要な話題のままです。グローンイン欠陥の再結合活性を調べるために最も広く用いられる技術の一つは、光伝導方法¹によるものです。この技術により、それは、このように、それが困難な成長の欠陥の再結合特性を検査すること、バルク再結合から完全に独立した表面にはしばしば困難です。幸い<5 cmで/秒の非常に低い効果的な表面再結合速度を達成することができるいくつかの誘電体膜（S _effは ）存在し、効果的に表面再結合を阻害します。 _^2、酸化アルミニウム（Al 2 O _^3）3、アモルファスシリコン^{（-Si：H）4：}これらは、窒化珪素（HしたSiN _を x）です。堆積とANこれらの誘電体膜のnealing温度（〜400℃）永久グローンイン欠陥の再結合活性を不活性化しないよう十分に低いと考えられています。これの例としては、鉄-ホウ素⁵ホウ素⁶酸素欠陥です。しかし、最近では 、n -型チョクラルスキー（CZ）シリコンにおける空孔および酸素空孔リン欠陥が完全に250-350°C ^7,8の温度で失活されることがわかりました。同様にフロートゾーン（FZ） のp型シリコンの欠陥は、〜250℃で⁹で無効化することがわかりました。したがって、このようなプラズマ強化化学蒸着（PECVD）、原子層堆積（ALD）などの従来の不動態化技術は、成長中のバルクの欠陥を検査するために、表面再結合を抑制するために適切ではないかもしれません。さらに、SiNを_X：Hとa-Si：H膜は、水素化^10,11を介してバルクシリコンの欠陥を不活性化することが示されています。したがって組換え活性のOを調べるために、 Fグローイン欠陥、RT表面パッシベーション技術は理想的であろう。湿式化学表面パッシベーションは、この要件を満たします。

1990年代にHoranyi らは、S _effは <10 cmで/秒^{12を達成し} 、ヨウ素エタノール中のシリコンウェーハの浸漬（IE）の溶液をシリコンウェーハを不動態化するための手段を提供することを実証しました。 2007年マイヤーらは2009年にChhabra ら 5cmのS _effの /秒のシリコンウェーハを浸漬することによって達成することができることを実証しながらヨウ素メタノール（IM）ソリューションは、7 cmで/秒¹³に表面再結合を低減することができることを示しましたキンヒドロン-メタノール（QM）ソリューション^14,15インチIE、IMと品質管理ソリューションによって達成優れた表面保護にもかかわらず、彼らは、高純度のシリコンウェーハのバルク寿命を測定するための適切な表面パッシベーション（S _effは <5センチメートル/秒）を提供していません。

">表面パッシベーションの高いレベルを達成するための別の手段は、HF酸中にシリコンウェーハを浸漬することによってである。シリコンウェハを不動態化するためにHFを使用するという概念は、最初Yablonavitch らによって導入されたヌクレオチド。の記録低いS _effの _を示した 1986年に0.25±0.5センチメートル/秒^16。優れた表面パッシベーションは、高抵抗率のウェーハ上に達成されたが、我々はこのように寿命測定に大きな不確実性を追加して、技術は非反復であることが判明している。したがって、一貫非常に達成することにより不確実性を制限します低いS _effは （約1 cmで/秒）は、3つの重要なステップを組み込んだ新しいHFの保護技術、（I）、化学的に洗浄し、シリコンウエハのエッチング、15％のHF溶液中に（ii）の浸漬及び（iii）を開発しました照明は、1分^17,18のために、この手順は、上記の従来のPECVD及びALD堆積法と比較して簡単かつ効率的な時間の両方です。

プロトコル

1。実験のセットアップ

1. 測定技術に適したヒュームフードを見つけて、より良い空気の流れを可能にし、乱雑を減らすために、任意の無関係な機器を削除します。ドラフト内でフッ酸（HF） 以外の化学薬品を使用しないでください 。
2. 導電率計を使用して、ヒュームフード内のタップから、脱イオン（DI）水の品質をテストします。 DI水を20℃の温度で最大でも0.055μS/ cmでのコンダクタンスを持っていることを確認してください。
3. ヒュームフードの中に少数キャリア寿命試験機を置きます。ヒュームフードの外にテーブルの上に位置しているコンピュータにケーブルを接続します。
4. コンピュータおよび寿命試験機のスイッチをオンにします。コンピュータ上の寿命テスターファイルを開き、コンピュータと寿命試験機間の正しい通信を保証するために、「測定」ボタンをクリックします。コンピュータとテスターが正しく接続されている場合、寿命試験機の光源が点滅する必要があります。
5. ヒュームフード内部のハロゲンランプを配置します。それは、サンプルが置かれる生涯テスターステージを照らすことができるようにランプを配置します。
6. ヒュームフードの外側に位置する必要がある電源にハロゲンランプを接続します。ハロゲンランプをオンにすると、その強度は寿命試験機のステージ上に少なくとも0.02 W / ^cm 2とすべきです。

2. 15％のHF溶液の準備

注意：HFは危険な化学物質であり、注意して扱われなければなりません。それは、ゆっくりと持続、および暴露後の身体に深いダメージが発生します。 HFは容易に他の酸のような肌を燃焼しない - むしろそれが肌に素早く吸収し、骨に深く膨れや損傷を引き起こします。これは、フッ素は、カルシウムと反応する骨が脆く、水ぶくれになることを意味します。 HFはまた、神経の調節および浸透セルバランスで使用されている遊離カルシウムと結合するので、体内の遊離カルシウムの結合は致命的なことができます。 それは非常に重要ですユーザーは、HFを使用した場合、実験室の安全性のプロトコルに従い、彼らはHF応急処置キットとhexafluorine（またはグルコン酸カルシウムゲル）の場所を知っている保証します。

1. （セクション1と同じ）ヒュームフードに化学的に洗浄丸いプラスチック容器（170ミリメートル：55ミリメートル、D H）を配置します。容器は透明なプラスチックのふたを持っている必要があります。化学的に、使用前に容器をきれいにする方法については第6章を参照してください。
2. HF溶液は、近くの障害物なしに製造することができるので、ヒュームフード内のプラスチック容器の周りの領域をクリアします。
3. すべての個人用保護具（P​​PE）を適用します。
4. 注意：容器に100ミリリットルのDI水（H ₂ O）にHFの50ミリリットルを追加します。
5. 注意：コンテナに塩酸（HCl）の20ミリリットルを追加し、H ₂ Oのミックス：プラスチックピンセットを使用して、HCl溶液：HFを。徹底的その後ピンセットをすすぎます。
6. 注意：プラスチック容器に蓋を置き、solutiを許可1時間のために解決するために。この間、HFヒュームは、蓋の上に凝縮します。
7. 十分に容器にラベルを付けて、それを明確にはHFが含まれていることを確認します。
   注意：HF溶液を多用して1-2ヶ月持続します。したがって溶液に測定が実行されるたびに交換する必要がありません。

寿命試験機の3キャリブレーション

1. 既知の抵抗とコンダクタンスの少なくとも6シリコンウエハの位置を確認します。理想的には、抵抗率の範囲は0.1〜Ω・cmのに及ぶべきです。
2. コンピュータで、寿命テスター校正ファイルを開きます。テーブル内の各ウェーハの抵抗率を入力し、「ウエハの更新＃」をクリックします。
3. キャリブレーションファイルの '取得データ」ボタンをクリックして、寿命試験機の詳細を入力します。
4. すべての必要なPPEを適用します。
5. 注意：場所プラスチック容器は寿命テスターステージ上のHF溶液で満たされ、誘導コイル（ブルーの上に置Eサークル領域）。
6. コンピュータ上の「空気の電圧」を測定するためのプロンプトが表示されたら、「OK」ボタンをクリックすることにより、HF溶液の電圧を測定します。この場合、空気は、HF溶液のコンダクタンスによって置換されています。
7. 注意：慎重に段階からHFを充填した容器を取り外し、ヒュームフードのベンチの上に置きます。慎重に蓋を取り外します。
8. 注意：蓋が容器から除去された場合には、プラスチック製ピンセットを使用して、HF溶液中に第1のシリコンウェハを浸します。容器上に蓋をバックに配置します。
9. 注意：バック寿命テスターステージと誘導コイル上の位置を上にプラスチック容器を置きます。シリコンウェハは、コイル（青丸領域）上の中心にあることを確認します。
10. コンピュータ上の「サンプル電圧」を測定するためのプロンプトが表示されたら、もう一度「OK」ボタンをクリックします。ステージからのコンテナを削除し、ヒュームフードのベンチの上に置きます。
11. 注意：慎重にRプラスチックのピンセットを使用して、HF溶液からシリコンウエハをemove、専用リンスビーカーウエハをすすぎます。ヒュームフードでタップの下で最終すすぎを行います。
12. 注意：バックコンテナの上に蓋を置き、バック寿命テスターステージ上にコンテナを配置します。
13. すべてのサンプルが測定されるまで繰り返して、3.12から3.6を繰り返します。
14. すべてのサンプルが測定された後、キャリブレーションファイルに「フィットデータ」ボタンをクリックします。これは、測定されたデータへの放物線にフィットし、このセットアップに固有のキャリブレーション係数A、BおよびCを提供します。
15. コンピュータで、寿命テスターファイルを開き、[設定]タブをクリックします。 HFのセットアップのための新たなキャリブレーション係数A、BおよびCに入力します。新しい名前でファイルを保存します。
    注意：HFのセットアップはわずか6ヶ月ごとにキャリブレーションが必要です。したがってセットアップに測定が実行されるたびに較正する必要がありません。

jove_title "> 4。シリコンウェーハのウェット化学処理前の測定に

1. 標準クリーン1（SC 1）を準備します。
   1. 注意：アルカリ割り当てられたヒュームフードでは、2リットルのガラスビーカーに脱イオン水1295ミリリットルに水酸化アンモニウム（NH ₄ OH）の185ミリリットルを追加します。
   2. 注意：ホットプレート上に置き、ビーカーとHを加熱₂ O：NH〜50℃の温度に₄ OH溶液。ビーカーをカバーするために時計のガラスを使用してください。
   3. 注意：H _{2 O}たら：NH _{4 OH}溶液を、約50℃の温度に到達した過酸化水素（H ₂ O _2）の185 mLを加え、温度を〜75℃に達するまで加熱を続けました。このH ₂ O：NH _{4 OH：H 2 O 2}溶液を、SC 1として知られています。
      注：SC 1は、効果的に清浄なシリコンウエハに、毎日変更する必要があります。
2. 標準クリーン2（SC 2）を準備します。
   1. 注意：酸は、ヒュームフードを割り当てました2Lのガラスビーカー内の脱イオン水1295ミリリットルに塩酸185ミリリットルを追加します。
   2. 注意：ホットプレート上に置き、ビーカーを_し 、H 2 O熱：〜50℃の温度にHCl溶液を。ビーカーをカバーするために時計のガラスを使用してください。
   3. 注意：一旦、H _{2 O：HCl}溶液を、約50℃の温度に達したH _{2 O 2}の185 mlを加え、温度を〜75℃に達するまで加熱を続けました。このH _{2 O：}塩酸：H ₂ O _2溶液をSC 2として知られています。
      注意：変更SC 2日常に効果的に清浄なシリコンウェーハを。
3. シリコンエッチング液を準備します。
   1. アルカリ割り当てられたヒュームフードでは、 化学的に清浄な 2リットルのガラスビーカーに水酸化テトラメチルアンモニウム（TMAH）の1600ミリリットルを追加します。化学的に使用する前にビーカーをきれいにする方法については6章を参照してください。
   2. ホットプレート上にビーカーを置き、〜85の温度にTMAH溶液を加熱6; C。ビーカーをカバーするために時計のガラスを使用してください。
      注：それは1ヶ月後、すなわち 、結晶化を開始するまで、TMAH溶液は、変化する必要はありません。
4. 湿式化学処理を実行します。
   1. 石英クレードルにロードサンプルとラボで共同HF溶液中に配置します。濃度は重要ではありません。
   2. 〜10秒後、またはサンプルは、HF溶液からクレードルを取り外して、DI水で満たされた3ビーカーを使用してすすぎ、（ドライプル）疎水性になって一度。
   3. SC 1が用意されているヒュームフードにウェーハのクレードルを運びます。 SC 1〜75℃で安定したら、ゆっくりとSC 1へのウエハのクレードルを浸します。
   4. 10分間SC 1内のウエハを清掃してください。
   5. 10分が経過した後、SC 1からウェーハのクレードルを除去し、脱イオン水で満たされた3 2Lのガラスビーカーを使用して洗浄する。これらのガラスビーカー前のDI水でそれらを充填する化学的にきれい 。上の第6章を参照してください。どのように化学的にビーカーをきれいにします。
   6. すすいだ後、唯一のポストSC 1の処理のために専用されているHF溶液にサンプルを置きます。濃度は重要ではありません。
   7. 〜10秒後、またはサンプルは、HF溶液からクレードルを取り外して、DI水で満たされた3ビーカーを使用してすすぎ、（ドライプル）疎水性になって一度。ステップ4.4.5と同じビーカーを使用してください。
   8. SC 2が用意されているヒュームフードにウェーハのクレードルを運びます。 SC 2〜75℃で安定したら、ゆっくりとSC 2にウェーハのクレードルを浸します。
   9. 10分間SC 2内のウエハを清掃してください。
   10. 10分が経過した後、SC 2のウェハのクレードルを除去し、脱イオン水で満たされた3ビーカーを使用してそれらをすすぎます。ステップ4.4.5と同じビーカーを使用してください。
       注：ウェーハのクレードルは、次の日まで、脱イオン水で満たしたすすぎビーカーの中に格納することができます。
   11. すすいだ後、唯一のポストのために専用されているHF溶液にサンプルを置きますSC 2処理。濃度は重要ではありません。
   12. 〜10秒後、またはサンプルは、HF溶液からクレードルを取り外して、DI水で満たされた3ビーカーを使用してすすぎ、（ドライプル）疎水性になって一度。ステップ4.4.5と同じビーカーを使用してください。
   13. TMAH溶液が調製されたヒュームフードにウェーハのクレードルを運びます。 TMAH溶液は〜85℃で安定したら、ゆっくりTMAH溶液中にウェーハのクレードルを浸します。
   14. 5分間TMAH内のウエハをエッチングします。これは、シリコンの〜5ミクロンを削除します。
   15. 5分が経過した後、TMAH溶液からウェーハのクレードルを除去し、脱イオン水で満たされた3ビーカーを使用してそれらをすすぎます。ステップ4.4.5と同じビーカーを使用してください。 TMAHは非常に「粘着性」であるとして、以上の3回のすすぎが必要になることがあります。
   16. 実験が設定されているヒュームフードにDI水でウェーハのクレードルを運びます。 1.1節を参照してください。
   17. STE後2時間以内に準備されたシリコンウエハを測定P 4.4.16。

5.測定手順

1. すべての必要なPPEを適用します。
2. DI水で2 2リットルのプラスチックビーカーを記入し、ドラフト内に置いてください。これらは、シリコン試料ポスト測定をすすぐために使用されます。
3. すすぎビーカーに近いヒュームフード内部の空の500ミリリットルのプラスチックビーカー、所定の位置にプラスチック製のピンセットを置きます。これらのピンセットは、シリコンのサンプルを処理するために使用されます。
4. コンピュータで、寿命テスターファイルを開きます。ファイルは、HFの測定のセットアップのための正しいキャリブレーション係数が含まれていることを確認します。第3章を参照してください。
5. 生涯テスターファイルでは、「一時的」モードを選択します。シリコンウェハの詳細は、例えば、厚さ、抵抗率及びドーパント型のために、測定することが入ります。
6. 注意：場所の容器（ふた）は寿命試験機のステージにHFで満たされ、誘導コイル（青い丸領域）の上に中央に配置します。ソリューションがために解決しましょう1分。
7. コンピュータで、寿命テスターファイルの 'ゼロ楽器」ボタンをクリックしてください。これは、溶液の電圧を測定します。
   注：溶液の組成が時間とともに変化するため、時間が経つにつれて、溶液電圧が低下します。かかわらずこの、HF溶液は、溶液が変更されずに1~2ヶ月のために使用することができる理由は、そのパッシベーション品質の劣化を示さありません。
8. 注意：慎重寿命テスター段階からコンテナを削除し、ヒュームフードのベンチの上に置きます。
9. 注意：慎重にHF溶液を充填した容器から蓋を外します。蓋にいくつかの結露がある場合は、慎重にドラフト内でタップを使用して、DI水で蓋をすすぎます。
10. 注意：慎重にHF溶液に第1​​のシリコンウェハを浸します。プラスチックピンセットを使用して、軽くそれは容器の底部の上に座っていることを確認するために、シリコンウエハ上に押し下げます。
11. ピンセットをすすぎますSとは、空の500ミリリットルのプラスチックビーカーに戻ってそれらを配置します。
12. 注意：慎重にコンテナに裏蓋を配置し、寿命試験機のステージにコンテナを配置します。シリコンウェハは、誘導コイル（青い丸領域）の上に配置されていることを確認。
13. あなたの手袋をすすぎ、乾燥させてください。 コンピュータを操作する前にそれらを削除します。
14. ヒュームフード中の蛍光ランプが点灯している場合は、測定が行われるべきである前に、それをオフにする必要があります。最小光は、測定時に必要とされます。
15. 上のハロゲンランプを切り替え、それはプラスチック容器の蓋を介してシリコンウェハを照射されていることを確認。 1分間の時間（正確な時間は重要ではありません）。
16. 照明期間中は、コンピュータ上の生涯ファイルに「測定」ボタンをクリックします。 「データを取る 'という小さなウィンドウが表示されます。
17. ファイルの名前をウィンドウのデータとる」を、タイプで。 「サンプル平均の下で10を選出します。
18. シリコンウェーハを1分間照射されたとき、オフのハロゲンランプを切り替えて、 すぐに 「撮影データ」ウィンドウに「平均」ボタンをクリックします。寿命試験機は10回点滅し、寿命測定を平均化します。
    注意：ハロゲンランプがオフされると、シリコンウエハの不動態化が低下し始め、したがって、それが最良の結果を達成するために、照明の直後に測定することが重要です。
19. 平均化が完了すると、「撮影データ」ウィンドウで「OK」ボタンをクリックします。
20. 別の測定が必要な場合は、繰り返しが5.15から5.18までを繰り返します。
21. 注意：測定が完了すると、寿命テスター段階からコンテナを削除し、ヒュームフードのベンチの上に置きます。
22. 注意：慎重にHF溶液を充填した容器から蓋を外します。蓋にいくつかの結露がある場合は、慎重にタップを使用して、DI水で蓋をすすぎますヒュームフードインチ
23. 注意：慎重にプラスチックのピンセットを使用して、HF溶液からシリコンウェーハを取り外し、専用のリンスビーカーにウェハをすすぎます。ヒュームフードでタップの下で最終すすぎを行います。
24. より多くのサンプルを測定する場合、繰り返しは5.10から5.23までを繰り返します。
25. すべてのサンプルが測定された後、蓋を容器上に配置されていることを確認し、ドラフトでのHF溶液を保存します。コンテナが適切にラベル付けされていることを確認します。
26. すべてのビーカーとピンセットをすすぎ、実験室での割り当てられたスポットに格納します。
27. 寿命試験機は、使用後1時間ヒュームフードに残り、その後、ヒュームフードからそれを削除することを許可します。

ビーカーやコンテナの6化学クリーニング

1. セクション4.1.1-4.1.4で説明したようにアルカリ性に割り当てられたヒュームフードでは、SC 1溶液を調製。
2. 化学的にきれいなビーカーや容器に、ビーカー/容器にSC 1溶液を注ぎます。ビーカーCAnは一度に一つを洗浄すること。
3. 溶液を10分間ビーカー/コンテナをきれいにしましょう​​。ビーカー/容器がプラスチックである場合には、ホットプレート上に配置することができないので、SC 1溶液は、きれいな時に冷却されます。これは、洗浄プロセスには影響しません。
4. 彼らはまた、クリーニングが必要な場合は、10分後、別のビーカー/容器にSC 1溶液を注ぎます。それ以外の場合は、大きなビーカー内のSC 1溶液を冷まします。冷却後、SC 1は流水でシンクを下に注ぐことができます。
5. DI水中SC 1洗浄ビーカー/コンテナを洗い流します。
6. 酸割り当てられたヒュームフードでは、セクション4.2.1-4.2.4で説明したように、SC 2溶液を調製。
7. ステップ6.5からビーカー/容器にSC 2溶液を注ぎます。溶液を10分間ビーカー/コンテナを清掃することを許可します。
8. 彼らはまた、クリーニングが必要な場合は、10分後、別のビーカー/容器にSC 2溶液を注ぎます。それ以外の場合は、大きなビーカー内のSC 2溶液を冷まします。冷却すると、SC 2は、Tを下に注ぐことができます彼は流水でシンク。
9. DI水中SC 2洗浄ビーカー/コンテナを洗い流します。ビーカー/コンテナは、現在、化学的に洗浄されます。

結果

図1aに概略を示し 、図1bは、実験の写真を示します。シリコンウェーハをHF水溶液に浸漬されると、その後寿命試験機台上に置き、測定は（照明の前に）実行され、表面再結合によって制限される寿命曲線は、 図2の青い三角で示すようになります。 図2の赤色の丸で示すようしかし、 図1に示すように、（HFに浸漬している間）、そして測定を照射した直後に実行され、サンプルを1分間照射されたときに、寿命の増加が起こります。表面再結合の減少への照明の結果後の寿命の増加、ひいては図2の赤い丸は今バルク再結合によって制限され、表面されていない寿命を表します。生涯ポスト照明意志の増加サンプリングするサンプルごとに異なり、技術が正しく動作している場合しかし、寿命の増加は常に照明による表面再結合の減少は、バルク再結合するので寿命が改善されませんそれによってバルク寿命は、（<100マイクロ秒）低くない提供起こるべき支配的になり...

ディスカッション

上述のバルクシリコン寿命測定技術の実装を成功は、3つの重要なステップ、（I）、化学的に1分¹⁷は15％のHF溶液および（iii）照明における（ii）の浸漬、洗浄、シリコンウエハのエッチングに基づいています^{、 18,19。}これらのステップがなければ、バルク寿命はどの確実に測定することはできません。

測定技術は、室温で実施されるように、表面パッシベーション品質は表面汚染（金属、有機膜）に非常に敏感です。 ²⁰効果的に表面の汚染物質を除去するために、SC 1溶液が（：NH _{4 OH、H 2 O 2 H 2 O）}が使用されます。シリコンウェハは、SC 1に浸漬される場合、溶液は、例えば、金、銀、銅、ニッケル、カドミウム、亜鉛、コバルト、クロム²⁰として金属汚染物質と共に、酸化分解および溶解による有機表面フィルムを除去します。ポストSC 1洗浄には、そのよ可能ですOME微量元素は、クリーンから生じる水和酸化物膜中にトラ...

材料

この記事で使用された材料の一覧

名前	会社	カタログ番号	コメント
フッ化水素酸(48%)	メルクミリポア、   http://www.merckmillipore.com/AU/en/product/Hydrofluoric-acid-48%25,MDA_CHEM-100334	1003340500	有害で有毒です。化学物質が分析試薬(AR)グレードであれば、どのサプライヤーでも使用できます。
塩酸32%、AR	ACI Labscan、http://www.rcilabscan.com/modules/productview.php?product_id=1985	107209	有害で有毒です。化学物質が分析試薬(AR)グレードであれば、どのサプライヤーでも使用できます。
アンモニア(30%)溶液AR	化学供給、https://www.chemsupply.com.au/aa005-500m	AA005	で有毒です。化学物質が分析試薬(AR)グレードであれば、どのサプライヤーでも使用できます。
過酸化水素(30%)	メルクミリポア、http://www.merckmillipore.com/AU/en/product/Hydrogen-peroxide-30%25,MDA_CHEM-107209	1072092500	有害で有毒です。化学物質が分析試薬(AR)グレードであれば、どのサプライヤーでも使用できます。
水酸化テトラメチルアンモニウム(H2O)	J.T Baker、https://us.vwr.com/store/catalog/product.jsp?product_id=4562992	5879-03	で25%有害で有毒です。化学物質が分析試薬(AR)グレードであれば、どのサプライヤーでも使用できます。
640ml丸型プラスチック容器	Sistema、http://sistemaplastics.com/products/klip-it-round/640ml-round		これは15%HF溶液を保存するのに適した容器です。
WCT-120寿命	テスターSinton Instrumentsは、
。	Sinton Instruments, http://www.sintoninstruments.com
Halogen optical lamp, ELH 300 W, 120 V	OSRAM Sylvania, http://www.sylvania.com/en-us/products/halogen/Pages/default.aspx	54776	同等のランプを使用することができます。
電圧電源	自家製電源		最大90ボルトと1〜5アンペアを生成できれば、どの電源でも使用できます。
導電率計	WTW, http://www.wtw.de/uploads/media/US_L_07_Cond_038_049_I_02.pdf	LF330