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方法論記事

ドライ フィルムのレジストを用いた電気化学マイクロ流体バイオ プラットフォーム: デバイス作製、チップの試金の準備、およびシステム操作

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DOI:

10.3791/56105

2017年9月19日

* These authors contributed equally

この記事について

サマリー

マイクロ流体バイオ センサー プラットフォームは、設計された、様々 な検体の迅速・高感度な定量化のため低コスト ドライ フィルム現像液の技術を用いて作製しました。この単回使用システムは、ストップ フロー法による上チップ-固定化酵素試金の電気化学的読み出しができます。

要約

近年、バイオ マーカー診断ポイント ・ オブ ・ ケア診断にとって、人間の病気の診断のために欠かせないツールとなった。使いやすい、低コストのセンサー プラットフォームは、定量的かつ具体的にはさまざまな種類の分析 (例えば、バイオ マーカー、ホルモンや薬) を測定するが望ましい。このため、ドライ フィルムのレジスト技術 - 安価な安易な、高速加工 - を有効にするは、ここで紹介するマイクロ流体バイオ センサーを製造する使用されました。その後使用される生物検定によって汎用性の高いプラットフォームは、生体分子の様々 なタイプの検出が可能です。デバイスの作製、白金電極のみクリーン ルーム工程で柔軟性の高いポリイミド (PI) 箔で構成されています。PI 箔はエポキシ系フォトレジスト絶縁電極用基板として提供しています。マイクロ流路がその後開発と PI ウエハの上にドライ フィルムのレジスト (DFR) 箔の積層によって生成されます。チャネルの疎水性停止バリアを使用して、チャネルは、2 つの特定の領域に分かれています: 酵素試金のアンペロ メトリック信号の読み出しのための電気化学的測定セル固定セクション。

チャネル表面への生体分子の吸着によるオンチップ生物検定の固定化が実行されます。グルコース酸化酵素酵素は、電気化学信号のトランスデューサーとして使用されます。基板、グルコースの存在下でこれがプラチナの作用電極で検出された過酸化水素が生成されます。ストップ フロー法は、迅速な検出と信号増幅を得るに適用されます。異なる生体分子は、病気のまたは監視、パーソナライズされた療法を促進する治療薬に関しては、さまざまな種類の指標を与えて導入マイクロ流体システムによる定量的測定できます。

概要

過去二十年以上診断アプリケーションは世界の公衆衛生の開発に関する詳細な研究の基礎になっています。伝統的に、病気の検出実験室の診断ツールを使用します。にもかかわらず、彼らはまだ病気の診断に重要な役割を再生、ポイント ・ オブ ・ ケア ・ テスト (POCT) 患者の近くを実行または患者自身によって近年ますます一般的になっています。急性心筋梗塞や糖尿病のモニタリングなど、すぐに治療を必要とするような場合に特に臨床知見の迅速な確認が欠かせません。したがって、POCT 機器非専門家を運営することができ、同時に短時間1,2,3,4 で正確な体外診断テストを実行することが可能である必要があります。.

顕著な改善は、POCT の分野ですでに達成されています。しかし、まだ5,6,78を克服するために多くの課題があります。POCT プラットフォーム市場を正常に起動し....

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プロトコル

1 マイクロ流体バイオ センサーを用いた DFR 技術の作製

  1. ウェーハの PI の準備。
    1. カット PI 基板 6 にウェーハをラウンドします。脱水焼くに約 1 時間の 120 の ° C のオーブンで PI ウェーハを置く
  2. リフトオフ プロセス用フォトリソグラフィまず
    1. 3,000 rpm、2,000 rpm の加速時 30 の回転するスピン コーターをプログラム/s の場所スピンコーター PI ウエハーと真空を適用する、それを修正します。リフトオフ プロセスを可能に、レジスト 2 mL を分注、スピンコーター プログラムを開始します。スピンコーターからウェハを削除し、ソフト焼く 100 で 2 分間ホット プレート上の PI ウェーハ ° C
    2. 肉眼で PI 基板上の電極をパターニングのため目的のマスクを調整し、400 mJ/cm 2 UV 光にそれを露出する (365 nm)。わずか 1 分の場所ボウルにウェハ軌道シェーカーでレジスト マッチング開発者でいっぱいそれを振る
    3. 余分なレジストを除去した後は、濡れたベンチに脱イオン水 (純水) で PI ウエハを洗浄し、乾燥後、圧縮空気を使用してシャワーを使用します
  3. プラチナ電極の形成のための....

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結果

設計とマイクロ流体バイオ センサー プラットフォームの試作:

ウエハー レベルで複数 DFR 層を用いた標準写真平版の技術によりマイクロ流体バイオ センサー チップの作製を実現します。この製作方法は、マイクロ流路の形成、プラチナ パターン PI 基板 DFRs の先進層の積層に依存します。作製手順を描いた短い概要は、図 1で与えられます。シングル 6-でウェハ構成 130 マイクロ流体バイオ センサー、8 × 10 mm の寸法で各2

figure-results-1
図 1。マイクロ流体バイオ センサー .......

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ディスカッション

マイクロ流体電気化学バイオ センサーの作製はここで説明したプロトコルにより、生体分子の検出のための低コスト、コンパクト、簡単に使用できるプラットフォームの開発。バイオ センサーでその後使用されるアッセイ、に応じていくつかの異なるマーカーを検出できます。これは、プラットフォームは、非常に汎用性とポイント ・ オブ ・ ケア アプリケーションに標準的な診断テスト (例えば医者のオフィスで特定の疾患の有無を判定) から様々 な分野への幅広いアクセスを提供します (など薬物療法を個別の患者の治療薬物モニタリング)。特にポイント ・ オブ ・ ケア診断、小型バイオ センサーは通常長い転換を広範な実験装置、専門の従業員と大規模な試薬およびサンプル ボリュームを必要とする従来の方法に比べて多くの利点があります。回。

このバイオ センサーの作製が必要厳密に次のプロトコル;そうでなければ、生産問題に発生します。最も頻繁に観察された問題の 1 つは、異なる層のずれです。これは、異なる層のより簡単より正確なアライメントを可能にする製造プロセスのより高度な装置を使用して.......

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開示事項

著者が明らかに何もありません。

謝辞

著者は、ドイツ研究振興協会 (DFG) 許可番号 UR 70/10-01 と UR 70/12-01 下でこの作業を部分的に資金調達のために感謝したいと思います。

....

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材料

この記事で使用された材料の一覧
名前会社カタログ番号コメント
Material
PyraluxDuPontAP8525Rポリイミド基板として使用
MA-N 1420マイクロレジスト技術MA-N1420リフトオフ プラチナdepositionionを定義するためのリシット
Ma-D 533sマイクロレジスト技術MA-N1420
電極・接点パッド材料
Ma-R 404sマイクロレジスト技術MaR404SMA-N1420
SU-8 3005MicroChem Corp.SU-8-3005電極領域を定義し、絶縁体としてフォトレジスト
1-メトキシ-2-プロパノール酢酸Sigma-Aldrich108-65-6SU-8 3005
2-プロパノールVWR8.18766.2500SU-8 現像液の除去
1020RUltron Systems Inc.1020R紫外線敏感な粘着テープ
Arguna SDegussa1935参照電極
KClのMethrom62308.020銀の塩素化のために
PyraluxDuPontPC1025乾燥フィルムのフォトレジスト
Fluka71352Pyraluxのための現像液PC1025
水素Σアルドリッチ30720の開発を上回る
停止障壁を採用するため
名前会社名カタログ番号コメント
Equipment
PA104メガエレクトロニクス-バブルエッチングタンク
FED 53バインダー9010-0018オーブン
SPIN150APT-スピンコー
ターPräzithermHarry Gestigkeit GmbHPZ 28-2ホットプレート
HellasBungard Elektronik40000露光ユニット
Tetra30-LF-PCDiener-プラズマユニット
Univex 500Leybold-物理蒸着ユニット
シェーカー S4ELMI-オービタルシェーカー
Sonorex Super 10 PBandelin783ソニックバス
6221 DC および ACケースレー-電流源
HRL 350オザテック-ラミネーターユニット
バキュームペンEFD-バキュームペン
プラチナ用MaD533S現像液 -用リムーバー 接触パッドの保護のための塩化 DFRテフロンAF1600デュポンAF1600

参考文献

  1. Spindel, S., Sapsford, K. E. Evaluation of optical detection platforms for multiplexed detection of proteins and the need for point-of-care biosensors for clinical use. Sensors (Basel). 14 (12), 22313-22341 (2014).
  2. Luppa, P. B., Bietenbeck, A., Beaudoin, C., Giannetti, A.

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再版と許可

タグ

電気化学検出白金電極ポリイミド基板ストップフロー法グルコースオキシダーゼアビジン固定化疎水性バリアシリンジポンプ