生体試料のSEMイメージング

1. サンプル調製

1. 手袋を着用し、サンプルを取り扱う際の汚染を避けるため、予防措置を講じてください。
2. スライド上のサンプルが乾燥しており、サンプルに汚染がないことを確認します。これは、SEMが表面特性評価を測定し、これらの欠陥が信号を著しく妨げる可能性があるためです。
3. サンプルが標準的なガラススライドにロードされている場合は、ダイヤモンドチップガラスカッターでスライドを直線でスコアリングし、スコア付けされたラインをガラスが折れるまでゆっくりと押し出して、サンプルのサイズを小さくします。
4. サンプルに応じて、同じ元素組成を持たないコーティングを選択します(EDSが受信する信号を妨げる)。このデモンストレーションでは、金パラジウムコーティングを使用します。
5. 指示に通じてスパッタコーターを使用します。機械は十分なカバレッジの薄いコーティングのために約40sのためのサンプルをスパッタにしてみましょう。
6. 導電性両面カーボンテープを使用して、サンプルをSEMスタブに取り付けます。このテープは、非導電性スライドに取り付けられている場合は、サンプルを接地するためにスパッタリングされたスライドのステージから上部に配置する必要があります。導電性銀塗料の薄層は、サンプルのステージへの導電性を高めるためにも使用できます。
7. スタブをステージに取り付け、側面のネジを締めます。

2. イメージング手順

1. ステージをチャンバーにロードします。ドアを閉めて封印しなさい。その後、「転送」ボタンを押して、ローディングチャンバから真空への通路を開きます。
2. 転写ボタンが点滅を停止し、内部ドアが開いたら、サンプルを金属棒でねじ込み、サンプルをチャンバーに押し込むことで真空チャンバーに移動できます。
3. ロッドを外し、ロッドを引き込んでロードチャンバーに完全に固定し、「保管」を押して真空チャンバーから負荷チャンバーを閉じます。サンプルが読み込まれ、残りのプロセスはコンピュータ ワークステーションから実行されます。
4. コントローラーを使用してステージを移動し、ステージ・ナビゲーション・パネルを視野に入れるまで開きます。
5. 作動距離が5-10ミリメートルになるまで、サンプルを垂直に動かします。ステージをZ方向に動かす場合は、チャンバーカメラをオンにして、サンプルが電子銃に近づくことを確認します。
6. 余分な高張力(EHT)ビームをオンにします。しばらくオフになっている場合は、列を開く必要がある場合もあります。
7. 検出器オプションからSE2信号を選択します。
8. 初期イメージングには約5kVのkV設定を使用し、バックスキャッタモードを使用してより多くの信号を求めて20~30kVまで増やします。サンプルがコーティングされていない場合は、画像内の充電アーティファクトが多くなりすぎないようにし、サンプルの損傷を防ぐために keV を低く保ちます。
9. 鮮明な画像がない場合は、構造が見えるまでフォーカス、明るさ、コントラストノブを回します。これは、絞り込みの参照になります。
10. 画像が表示されるまで、粗いモードでフォーカスノブを回します。その後、最高の焦点を見つけるために罰金に切り替えます。
11. ステージナビゲーション(Z 方向ではない)と倍率を使用して、画像を保存する領域を検索します。
12. スキャン速度を下げ、ライン平均をオンにして、保存のためのより良い画像を取得します。
13. 右クリックしてファイルの場所に保存して、イメージを保存します。
14. BSD を挿入し、サンプルがフォーカスされている Z 位置にステージを戻します。
15. より高い原子番号を示すコントラストの領域を探しながら、手順 8 ~ 11 を繰り返します。
16. 完了したら、BSD を取り外します。
17. サンプルを削除する準備ができたら、ボタン「交換」を押します。
18. サンプルをロードチャンバーに戻し、「ストア」を押してから「ベント」を押します。