이 보고서는 실온에서 사파이어 기판에 이트륨 철 가넷의 두꺼운 필름의 에어로졸 증착을 수행 할 수있는 맞춤형 시스템의 사용에 대해 설명합니다. 증착 된 필름은 기술의 능력의 대표적인 개요를 제공하는 주사 전자 현미경, 프로파일 로메, 강자성 공명을 특징으로한다.
이 보고서는 실온에서 사파이어 기판에 이트륨 철 가넷의 두꺼운 필름의 에어로졸 증착을 수행 할 수있는 맞춤형 시스템의 사용에 대해 설명합니다. 증착 된 필름은 기술의 능력의 대표적인 개요를 제공하는 주사 전자 현미경, 프로파일 로메, 강자성 공명을 특징으로한다.
에어로졸 증착 (AD)는 대량의 95 % 이상의 밀도와 두께 수백 마이크로 미터까지의 층을 생산할 수 후막 증착 공정이다. AD의 주요 장점은 증착 상온에서 전적으로 일어난다이다; 따라서 서로 다른 용융 온도를 가진 물질 시스템의 막 성장을 가능하게한다. 이 보고서는 분말을 제조하고 맞춤형 시스템을 사용하여 AD를 수행하기위한 상세 처리 단계를 설명한다. 대표적인 특성 분석 결과는이 시스템에서 성장 영화에 대한 전자 현미경, 프로필 로메, 강자성 공명 검색에서 제공됩니다. 시스템의 기능 개요를 대표로서, 포커스 기재된 프로토콜 및 시스템 설치 다음 샘플 제조에 주어진다. 결과는이 시스템이 성공적으로 하나 5 분간 증착 중에있는 R 11 μm의 두께 이트륨 철 가넷 필름> 벌크 밀도의 90 %를 증착 할 수 있음을 나타낸다유엔. 개선 두께 및 필름의 조도 변동을 에어로졸 입자 선택 나은 제어를 수득하는 방법의 설명이 제공된다.
에어로졸 증착 (AD)는 벌크 (1)의 95 %보다 큰 밀도를 갖는 두꺼운 수백 마이크로 미터까지의 층을 생산할 수 후막 증착 공정이다. 증착 프로세스는 충격 파괴 또는 변형, 부착, 및 입자의 고밀도화의 연속 프로세스를 통해 발생하는 것으로 생각된다. 한 여러 단계에 걸쳐 입자 충격 및 고밀도화를 도시하는 일련의 단계로서,이 프로세스를 보여주고있다. 도시 된 바와 같이, 입자 100-500 M / sec의 전형적인 속도로 기판을 향해 이동한다. 기판과 입자의 초기 충격 같이 이들은 골절 및 기판에 부착. 이 앵커 층은 기판과 벌크 막 사이의 기계적 접착 성을 제공한다. 이후의 영향이 발생하는 기본 입자에 부착, 점점 골절, 또한 고밀도 있습니다. 지속적인 영향, 골절, 및 치밀화의이 과정은 기본 필름을 압축하고 크리스탈 블랙 마노를 결합하기 위해 노력tallites는 벌크 물질의 95 % 이상에 도달하는 농도로 필름을 제조하고.
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1. 파우더 준비
2. 기판 준비
3. 에어로졸 증착을 수행
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증착이 완료된 후, 코팅 된 기판은 증착 챔버로부터 제거하고 광학 입체 현미경을 사용하여 검사된다. 샘플은 일반적으로 닦았과 분위기에 재 가압 동안 남아 초과 분말을 제거하는 이소프로판올로 세척한다. 필름 특성은, 프로파일 로메 필름의 자기 특성을 평가하기 위해 막 두께, 균일 한 조도 및 강자성 공명을 평가하기 위해 필름의 형태를 평가하기 위해 주사 전자 현미경을 사용하여 여기에 제시된 대표적인 결과에 대해 수행 하였다 (참조 정보 (20)를 참조 특성화 방법에 대한 자세한 내용). 본 연구에서는 3mm X 3mm 사파이어 기판 위의 프로토콜과 시스템 설치 프로그램을 사용하여 코팅 하였다. 증착 스위프는 0.65 mm / sec의 막에 걸쳐 래스터 및 75mm (2)의 전체 면적을 커버하도록 설정 하였다.
도 4는 필름의 상부 표면의 SEM 사진이다 개개의 입자 (0.5 μm의)의 초기 크기보다 훨씬 더 작은 많은.......
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그림 4의 SEM 이미지는 큰 골절과 치밀화가 증착 공정 중에 발생하는 것을 나타냅니다. 화상 보이드 입자의 소수를 도시 막의 상면 취해진 다. 도 1에 입자 (2)와 (3)에서 충격에 의해 도시 된 바와 같이 관찰 영역은 후속하는 입자의 추가 충격 치밀화 공정의 이점을 활용하지 못하고, 따라서 증착 될 물질의 마지막이며. 시료의 체적 내의 막 밀도 수 단면의 고배율 삽입과 함께,도 5.이 이미지에서 단면 영상으로 볼 수, 더 조밀 한 필름에 대한 증거를 제공한다.
SEM 사진에서 볼 거칠기는 프로파일 검사에서 정량적으로 확인할 수있다. 이 영화의 조도는 증착의 높은 속도 (/ 분 1.95 μm의) 때문일 수 있습니다. 이 영화가 더 형성하는 것이 가능하다천천히 완전히 파쇄 입자를 사용하고 추가의 입자가 도착하기 전에 부착하지만 막 거칠기의 증가는 또한 막 두께의 증가 (21).......
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저자가 공개하는 게 없다.
SDJ은 감사에서 자신의 파트에 대한 공학 교육 / 연구실 박사후 원정대 프로그램, 물질의 자기 적 성질에 콘라드 Bussmann에 (NRL) 및 Mingzhong 우 (콜로라도 주립 대학)과의 토론, 론 홀름 (NRL)의 미국 협회의 지원을 인정 설계 및 NRL AD 시스템의 구현.
....액세스가 제한되었습니다. 이 콘텐츠를 보려면 로그인하거나 체험판을 시작하세요.
| 이름 | 회사 | 카탈로그 번호 | 댓글 |
|---|---|---|---|
| 강자성 공명 분광계 | www.bruker.com/ | 9.5GHz 분광계 | |
| 주사 전자 현미경 | www.zeiss.com | LEO Supra 55 | |
| 프로필로미터 | www.kla-tencor.com/ | D-120 | |
| 스테레오 현미경 | www.microscopes.com | Omano 스테레오 현미경 | 증착 챔버에서 제거한 직후 검사에 사용 |
| 양면 구리 테이프 | www.2spi.com | 05085A-AB | 홀드 다운 클립 또는 기타 접착제를 사용할 수 있습니다 |
| 니트릴 시험 장갑 | www.fishersci.com 19-130-1597D | ||
| 2- 프로판올 | www.fishersci.com | A451SK-4 | |
| 아세톤 | www.fishersci.com | A11-1 | |
| 이트륨 철 가넷 분말 | www.trans-techinc.com/ | 제품 정보 요청 | 분말은 주문 제작되며 사양에 따라 분쇄됩니다 |
| 스테인레스 스틸 스푼 | www.fishersci.com | 14-429E | 분말을 퍼내고 옮기는 데 사용 |
| 알루미나 보트 | www.coorstek.com/ | 65580 | |
| 건조로 | www.paragonweb.com | KM14 세라믹로 | 용광로는 분말 체를 건조하는 동안 공기에 연결됩니다 |
| . | www.advantechmfg.com/ | 270SS8F | 대형 제품에서 대상 크기까지 체질하려면 메쉬 개구부를 선택해야 |
| 초고순도 질소 가스 | www.praxairdirect.com | NI 5.0UH-3K | 에어로졸의 매체로 사용됩니다. |
| 공기 호흡 품질 | www.praxairdirect.com | AI BR-4KN | 건조 중 용광로 내부에 사용 |
| 실험실 저울 | www.balances.com/ | Sartorius ED224S 실험실 저울 | 계량에 사용 |
| www.pmoptics.com/ | PWSP-313211 |
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