여기, 선물이 LSMO 나노 입자를 성장 하는 프로토콜 및 무선 주파수 (RF)에 의해 단일-크리스탈 기판 (001) SrTiO3 (STO)에 영화 (Gd) BCO-스퍼터 링.
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방법 논문
고주파 마 그 네트 론 스퍼터 링 GdBa2Cu3O7−δ의 라0.67SrTiO3 (STO) 단 결정 기판에 Sr0.33MnO3 준 bilayer 영화 /
이 논문에서
요약
초록
여기, 코팅 강자성 라0.67Sr0.33MnO3 (LSMO) 나노 무선 주파수 (RF) 마 그 네트 론 스퍼터 링에 의해 (001) SrTiO3 (STO) 단 결정 기판에 하는 방법을 설명합니다. LSMO 나노 입자 20 nm, 20, 50 nm 사이 높이에 직경 10에서 예금 되었다. 같은 시간에 (Gd) 바2Cu3O7−δ ((Gd) BCO) 영화 둘 다에 조작 했다 하지 그리고 LSMO 나노 장식 STO 기판 RF 마 그 네트 론 스퍼터 링을 사용 하 여. 이 보고서는 또한 GdBa2Cu3O7−δ의 속성을 설명 합니다/라0.67Sr0.33MnO3 영화 즉 bilayer 구조 (예를 들어, 결정 단계, 형태학 화학 성분); 자화, 자석 발전기 전송 및 초전도 전송 속성 또한 평가 했다.
서론
구멍 실수로 manganite 라0.67Sr0.33MnO3 (LSMO)와 같은 넓은 밴드 격차, 반 금속 강자성, 잠재력에 대 한 특별 한 기회를 제공 하는 전자 상태에 빠뜨리는 독특한 특성을가지고 spintronic 응용 프로그램1,2,,34. (재) 바2Cu3O7−와 같은 고온 초전도 (HTS) 영화에 대 한 소용돌이 운동에 서식 하는 LSMO의 독특한 특성을 활용 하기 위해 많은 연구자는 노력 하는 현재, δ 영화 (REBCO, 다시 희귀-지구 요소 =)5,6,7,8,9,
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프로토콜
1. 기판 및 대상 준비
참고:이 섹션에서는 스퍼터 증 착 챔버 및 단 결정 SrTiO3 (STO) 기판의 준비를 설명합니다.
- 10 m m x 10 m m SrTiO3 (STO) 단일-크리스탈 기판은 RF 마 그 네트 론 스퍼터 링 프로세스를 사용 합니다.
- 순차적으로 소 프로 파 놀과 각 초음파 목욕에 실 온에서 10 분 동안 이온된 수 기판 청소. 다음 건조 질소는 기판 기판 및 좋은 영화 준수의 복.
- 실버 파우더 전도성 접착제와 기판 홀더에 (001) STO 기판 탑재 합니다. 진공 챔버에 로드 합니다.
- 마 그 네트 론 주입 총에서 LSMO 대상 탑재 하 고 총을 재조립 하십시오. 마 그 네트 론 및 주변 방패 사이 단락을 방지 하는 ohmmeter와 저항을 테스트 합니다. 진공 챔버 폐쇄 닫기 고 아래로 펌프.
- 일단 진공 1 x 10-4 Pa 보다 낮습니다, 850 ° c에 15 ° C/분 집합 8 cm 대상 기판 거리의 승 온 속도 사용 하 여 기판이 열.
- O의 10 sccm 및 5 sccm의 Ar 가스 흐름 작업으로 질량 유량 컨트롤러를 설정 합니다. 아칸소를 사용 하 ....
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결과
둘 다 맨 (Gd) BCO 영화와 LSMO의 두께 장식 STO 기판은 500nm, 표면 profilometer에 의해 측정 되었다. 필름 두께 시간 스퍼터 링에 의해 통제 되었다. 그림 1a LSMO 나노 입자의 AFM 이미지를 표시 하는 , b (10 시간을 스퍼터 링 s) 증명할 1.0 c m x 1.0 c m 단일 크리스탈 STO 기판에 STO 기판에 균일 하 게 성장 하는 LSMO 나노 입자. 표면 영화의 거칠기 측정을 특징으로 했다 원자 힘 현미경 (AFM) 도청 모드에서 작업 하 고. 이러한 LSMO 나노 입자의 직경 10에서 20에 배열 했다 nm. 그들의 높이 배열 했다 20에서 50 nm. 성장 온도 등 대상 기판 거리, 입금된 매개 변수의 적절 한 조정으로 다른 표면 지형 수 달성 될, 그림 1 cd와<.......
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토론
여기 우리가 설명 했다 준비 LSMO SrTiO3 에 균일 한 분포의 강자성 나노 입자 (STO) 단 결정 기판에이 메서드를 사용할 수 있습니다. (Gd) BCO 영화는 또한 둘 다 벌 거 벗은에 입금 하실 수 있습니다 하 고 LSMO 장식 STO 기판. 성장 온도 등 대상 기판 거리, 입금된 매개 변수의 적절 한 조정으로이 방법에 게 서 자석 및 자성 입자 또는 레이어, 예를 들어 CeO2YSZ (예금된 종류에 대 한 유용한 이트륨 안정화 지 르 코니 아)24및 ITO (인듐 주석 산화물).
프로토콜에 중요 한 단계는 LSMO 입자의 증 착을 위한 스퍼터 링 시간 이다. 프로토콜에 적절 한 스퍼터 링 시간이 필요 합니다. 스퍼터 링 시간이 너무 긴 경우에,이 연속 LSMO 박막 아니라 나노 입자를 형성할 것 이다. 다른 한편으로, 스퍼터 링 시간이 너무 짧은 경우에, LSMO 나노.......
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공개 사항
저자는 공개 없다.
감사의 글
이 작품은 국립 자연 과학 재단의 중국 (No. 51502168;에 의해 지원 되었다 No.11504227)와 상하이 시 자연 과학 재단 (No.16ZR1413600). 저자는 기꺼이 유능한 기술 지원에 대 한 경 음악 분석 센터의 상해 Jiao 집게 대학 및 Ma-테크 분석 실험실을 감사합니다.
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재료
| 이름 | 회사 | 카탈로그 번호 | 댓글 |
|---|---|---|---|
| 스퍼터 증착 시스템 | 심양 과학 기기 주식 회사 | 맞춤형 | |
| SrTiO3 단결정 기판 | Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd | 단면 에피 폴리싱 | (001) 방향 |
| La0.67Sr0.33MnO3 스퍼터링 타겟 | Hefei Ke 결정 재료 technology Co., Ltd | 맞춤형 | 60mm 직경 |
| GdBa2Cu3O7− δ 스퍼터링 타겟 | Hefei Ke crystal material technology Co., Ltd | 맞춤형 | 60mm 직경 |
| 원자력 현미경 | Brü ker | Dimension Icon | |
| X-ray Diffractometer | Brü ker | D8 물리적 | |
| 양자 디자인 | PPMS 9 |
참고문헌
- Gong, J., Zheng, D., Li, D., Jin, C., Bai, H. Lattice distortion modified anisotropic magnetoresistance in epitaxial La0.67Sr0.33MnO3 thin films. Journal of Alloys and Compounds. 735, 1152-1157 (2018).
- Wang, J., Han, Z., Bai, J., Luo, B., Chen, C.
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재인쇄 및 허가
