면역 요법 및 단일 세포 게놈 프로파일링 시대에 암 생물학은 적절한 시공간 맥락에서 종양-면역 인터페이스를 조사하기 위한 새로운 시험관 내 및 전산 도구를 필요로 합니다. 우리는 2D 및 3D 설정에서 종양 면역 미세유체 공동 배양을 활용하기 위한 프로토콜을 설명하며, 세포 기능의 동적 다중 매개변수 모니터링과 호환됩니다.
면역 요법 및 단일 세포 게놈 프로파일링 시대에 암 생물학은 적절한 시공간 맥락에서 종양-면역 인터페이스를 조사하기 위한 새로운 시험관 내 및 전산 도구를 필요로 합니다. 우리는 2D 및 3D 설정에서 종양 면역 미세유체 공동 배양을 활용하기 위한 프로토콜을 설명하며, 세포 기능의 동적 다중 매개변수 모니터링과 호환됩니다.
복잡한 질병 모델에는 생리학적, 병리학적으로 관련성이 있고 실행 가능한 통찰력을 제공하고 다른 방법으로는 보이지 않는 프로세스를 공개할 수 있는 최첨단 도구가 필요합니다. 생체 내 풍경을 밀접하게 모방한 고급 세포 분석은 암의 진행에 영향을 미치는 양방향 종양-숙주 상호작용을 시각화하고 측정하는 새로운 방법으로 자리 잡고 있습니다. 여기에서는 자연 및 치료 유발 면역 감시 하에서 종양 미세 환경(TME)의 복잡성을 모방하여 마이크로 장치에서 고도로 제어 가능한 2D 및 3D 공동 배양을 재현하는 두 가지 다목적 프로토콜에 대해 설명합니다. 섹션 1에서는 명시야 타임랩스 현미경으로 부착 종양 세포와 부유 면역 집단 간의 누화를 모니터링하기 위한 실험 설정이 제공됩니다. 적용 시나리오로서, 우리는 면역 세포의 모집 및 활성화에 대한 소위 면역 원성 암세포 사멸 유도제와 같은 항암 치료의 효과를 분석합니다. 섹션 2에서는 3D 종양 면역 미세 환경이 경쟁력 있는 레이아웃으로 조립됩니다. 차등 면역 침윤은 최대 72시간의 형광 스냅샷으로 모니터링되어 병용 치료 전략을 평가합니다. 두 설정 모두에서, 과다한 면역 세포 파라미터(예를 들어, 면역 세포 이동 및 상호작용, 치료제에 대한 반응)를 추출하기 위한 이미지 처리 단계가 예시된다. 이러한 간단하고 강력한 방법은 암, 기질 및 면역 세포 아형의 이질성과 가소성뿐만 아니라 암 진화의 동인으로서의 상호 상호 작용을 포함하는 TME의 복잡성을 시뮬레이션하기 위해 추가로 맞춤화될 수 있습니다. 빠르게 진화하는 기술을 라이브 셀 고함량 이미징과 함께 사용하면 대규모 정보 데이터 세트가 생성되어 새로운 문제가 발생할 수 있습니다. 실제로 삼각형 ''공동 배양/현미경/고급 데이터 분석'은 맞춤형 치료 프로토콜을 지원할 수 있는 정확한 문제 매개변수화를 향한 경로를 설정합니다. 우리는 고처리량 처리를 위한 인공 지능과 암 면역 온어칩의 향후 통합이 정밀 및 개인화된 종양학을 위한 예측 및 전임상 도구로서의 기능을 활용하는 데 있어 큰 진전을 이룰 것으로 기대합니다.
실험 분야로서의 다양한 의학 분야의 진화는 통제된 조건 하에서 세포 집단과 장기 기능을 조작하는 능력에 달려 있다1. 이러한 능력은 우리 몸에서 일어나는 과정을 요약할 수 있는 측정 가능한 모델의 가용성에 뿌리를 두고 있습니다.
면역요법 및 단세포 게놈 프로파일링 2의 시대에, 암 생물학은 적절한 시공간적 맥락에서 종양-면역 인터페이스를 조사하기 위해 새로운 시험관 내 및 전산 모델을 활용해야 합니다 2,3.
종양미세환경4(TME)는 암세포가 다른 세포(면역, 기질 및 내피 세포) 및 비세포(세포외 기질, ECM) 구성 요소와 지속적으로 상호 작용하고 동적으로 공동 진화하는 복잡한 조직입니다. 이 복잡한 환경의 역동적인 특성은 면역 세포가 악성 세포의 친구 역할을 하는지 아니면 적으로 작용하는지 여부를 결정하여 질병 진행과 치료에 대한 반응 모두에 큰 영향을 미칩니다. 오늘날, 종양 면역학자, 생물 정보학자 및 시스템 생물학 전문가들의 많은 노력이 공간(즉, 뚜렷한 종양 영역)과 시간(즉, 뚜렷한 종양 진행 단계)5,6에서 암 이질성5,6의 임상적 중요성을 다루고, 단일 세포 수준에서 암과 면역 세포 표현형과 기능을 특성화하기 위해 수렴되고 있습니다. 이러한 시너지 효과의 예로서, 진보된 컴퓨터 비전 기술은 이제 조직학적 샘플에서 면역 침윤물의 공간 매핑을 위해 일상적으로 사용된다 7,8.
실험 모델의 전면에서 동물 연구와 전통적인 체외 방법을 연결하는 미세 유체 공학 및 공동 배양 기술의 발전은 오가노이드, 미세 생리학적 시스템 9,10,11(MPS) 및 장기 칩12,13,14과 같은 다양한 종류의 미세 공학 세포 모델에 대한 액세스를 제공합니다 (OOC)입니다. 이들은 세포 생태계에 대한 '큰 그림'을 확대하고 미시 환경 요인을 제어하기 위해 체외 잠재력을 확장하는 동시에 고함량 현미경15 및 이미지 처리 접근 방식을 활용하는 공통된 특성을 공유합니다.
오늘날 최첨단 MPS 및 OOC 시스템은 염증성 질환, 상처 치유, 점막 면역, 독소 또는 일상 식품에 대한 반응과 같은 다양한 과정을 탐색하고 측정하기 위해 기존 조직 및 공동 배양에 다양한 면역 세포 하위 유형을 통합하는 면역학적 측면을 포함하기 시작했습니다16. TME-on-a-chip 모델 10,11,12,13,14,15,16,17은 또한 관류 가능한 미세 혈관 18,19,20,21과 통합되어 세포 유형 의존적 상호 작용, 물리적 및 화학적 섭동 및 세포 독성 활성을 조사하기 위해 개발되었습니다. 침윤성 림프구22 및 임상적으로 관련된 면역조절제23.
여기에서는 칩에 세포를 로딩하는 것부터 이미지 처리 도구에 이르기까지 다양한 프로토콜을 제공하여 2D(섹션 1) 및 3D(섹션 2) 설정(16)에서 고급 종양 면역 미세유체 공동 배양을 활용하며, 동적 다중 매개변수24 모니터링 및 세포 기능 시각화와 호환됩니다. 이는 샘플 관리 및 데이터 분석 모두에서 사용 용이성과 유연성을 유지하여 피지 프리웨어 소프트웨어와 해당 도구 상자25,26을 활용하여 달성됩니다.
섹션 1에 설명된 미세유체 장치는 부착성 암과 부유 면역 세포의 2D 공동 배양을 수행하도록 설계되었습니다. 이 플랫폼은 유전적 돌연변이27 및/ 또는 면역 결핍28의 존재 하에서 면역 세포 행동의 시험관 내 측정을 위해 검증되었다. 여기에서는 Trackmate(피지 소프트웨어에 구현된 플러그인)를 기반으로 하는 반자동 방법을 활용하여 타임랩스 명시야 이미지에서 면역 세포를 추적하는 단계를 설명합니다. 이 절차는 면역원성 세포 사멸 유도제( 27 )로 치료되거나 치료되지 않은 표적 암세포에 대한 면역 이동(29) 및 반응(즉, 상호작용 시간)의 운동학적 설명자의 추출을 가능하게 한다.
중요한 것은 시계열 이미지에서 추출된 이러한 매개변수가 고급 수학 기계로 처리될 수 있다는 것입니다. 이 접근법의 잠재력에 대한 예로서, 우리 그룹은 최근 확률 론적 과정과 통계 역학의 수학적 방법을 기반으로 한 분석을 발표하여 세포 네트워크 속성을 모델링하고 면역 세포 행동에 대한 매개 변수화 된 설명을 제공합니다 (즉, 편향되거나 상관 관계가 없는 랜덤 워크, 고도로 조정되거나 조정되지 않은 움직임30,31).
두 번째 섹션에서 제공되는 3D 설정은 공동 배양 프로토콜을 기반으로 하여 서로 다른 세포 유형과 약물 조합을 사용하여 두 개의 겔 영역에 내장된 보다 복잡한 면역 적격 TME를 경쟁력 있는 방식으로 재현합니다. 여기서, 이미지 처리 단계는, 상이한 시점에서, 마트리겔 내에서 배양된 인간 A375M 흑색종 세포에서 염색된 면역 세포의 침윤을 측정하여, 항종양제 조합을 평가하기 위한 것이다32. A375M 계통은, 고도의 전이성 표현형을 특징으로 하는 A375P 유래 세포주를 면역세포의 존재 하에서 이들의 전이능을 평가하기 위해 선택하였다32.
기술된 모델은 상이한 세포 공급원(쥐 및 인간 불멸화 또는 1차 세포주, 오가노이드, 이종이식 등)과 완전히 호환될 수 있다. 우리 연구실의 최근 연구에서, 고함량 비디오 현미경과 이미지 분석을 결합하여, 경쟁력 있는 3D 레이아웃을 적용하여 조사하였다: i) 항종양성(항체 의존성 세포 매개 세포독성, ADCC) 면역 반응 및 HER2+ 유방암 온칩 모델33에서 트라스투주맙 요법에 대한 내성에서 섬유아세포의 역할 해부; ii) 종양 회피 및 T 세포 모집 메커니즘에서 골수 세포(즉, 암 관련 대식세포)의 작용34; iii) 콜라겐 매트릭스에서 약물 처리된 결장암 세포로 배양된 인터페론-α 조절 수지상 세포(IFN-DC)를 기반으로 하는 면역요법 요법의 효능 및 효율적인 운동 및 후속 식균 작용 사건을 평가하기 위한35; iv) 골수 유래 호산구의 IL-33 처리 또는 처리되지 않은 흑색종 세포로의 화학주성 이동36.
이러한 고급 모델은 암 전이 및 내성 메커니즘에서 면역 조직 구성의 역할을 이해하기 위한 관찰 창 역할을 할 수 있지만, 연구 결과를 임상으로 변환하여 기초 연구와의 격차를 좁히기 위한 노력이 필요합니다37.
새로운 시나리오로서, 보다 생리학적으로 관련성이 높은 마이크로시스템의 사용과 결합된 자동화된 고함량 현미경의 기능을 활용하는 것은 단일 실험 캠페인에서 생성할 수 있는 수백, 수천 기가바이트의 다중 매개변수 데이터를 처리, 처리 및 해석하는 데 있어 새로운 잠재적 과제를 제시하고 있습니다. 이는 OOC 실험과 인공 지능 38,39,40,41,42 (AI) 기반 알고리즘 모두의 직접적인 연결을 의미하며, 고급 자동화 분석 및 암-면역 상호작용의 인실리코 모델(in silico model)을 차례로 공급할 수 있는 특징의 생성(43)과 예측 약물 스크리닝 분석(predictive drug screening assay)44의 개발과 같은 흥미진진한 새로운 응용 분야가 지평선에 있습니다.
끊임없이 확장되는 노력의 흐름은 단일 세포 다중 오믹스 판독을 통해 대규모 섭동 스크리닝을 구현하기 위한 전략의 최적화와 함께 질병 모델의 설계에 초점을 맞추고 있습니다. 이것은 의심할 여지 없이 면역 장애 및 암 전파 메커니즘에 대한 새로운 통찰력을 얻기 위한 체계적인 onco-immunology-on-a-chip 접근 방식의 적절한 수준의 방법 표준화와 함께 임상 구현에 도움이 될 것입니다.
액세스가 제한되었습니다. 이 콘텐츠를 보려면 로그인하거나 체험판을 시작하세요.
1. 부착 및 부유 세포 2D 공동 배양을 위한 칩 설계
참고: 2D 공동 배양 레이아웃(그림 1A-C)은 두 세트의 마이크로채널 어레이(500 x 12 x 10μm 3, L×W×H)로 상호 연결된3개의 챔버(높이 100μm)가 특징입니다. 중간 챔버는 로딩 단계 2.5 동안 종양 부위로 넘쳐 흐르는 부유 면역 세포를 차단하는 두 개의 폐쇄된 막다른 구획을 형성합니다. 이 장치 유형은 단일 세포(부착 또는 부유) 운동성 및 세포-세포 상호 작용(16,27,28,30,31)의 실시간 2차원 측정에 유용합니다. 전형적인 세포 이동 연구(몇 시간에서 며칠까지 수행됨)는 획득된 이미지 시퀀스를 수치적 특징(25)으로 변환하기 위해 생세포 현미경과 이미지 처리 알고리즘(45)을 결합한다. 이동 패턴에 기초하여, 세포의 변위와 속도, 면역 세포 및 표적 세포 상호작용의 지속 기간과 같은 몇 가지 생물물리학적 지표를 추정할 수 있다24.
2. 경쟁 분석에서 3D 면역 적격 암 온칩 모델
참고:그림 4에 묘사된 3D 칩 설계는 부유 면역 세포 섭취를 위한 중앙 구획, 하이드로겔 매트릭스(150-250μm 높이)에 종양 세포를 삽입하기 위한 두 개의 측면 영역 및 배지 관류 챔버의 5가지 주요 구획으로 구성됩니다. 면역 및 종양 챔버는 마이크로채널의 좁은 배열의 두 세트로 연결됩니다(200×12×10μm3, L×W×H, 그림 4E). 규칙적으로 100μm 간격의 사다리꼴 이등변 마이크로필러(각 측면 겔 영역에 대해 약 25-30개의 계면, 그림 4C)는 주입 동안 겔 용액을 가두는 장벽으로 작용하여 표면 장력과 모세관력 사이의 균형을 이용합니다(60,61) 겔-액체 계면을 설정하기 위해 종양 영역을 두 개의 측면 추가 배지 챔버에 연결합니다(그림 5). 3D 경쟁 분석의 자세한 기능은 그림 4에 나와 있습니다. 서로 다른 치료를 받은 종양 세포를 호스팅하는 두 개의 하이드로겔 구획으로 면역 세포의 우선적인 이동을 모니터링하고 정량화할 수 있습니다. 특정 경쟁 레이아웃은 다양한 암 생물학 표현형(예: 약물 내성 대 공격적, 1차 또는 전이성, 반응자 대 비반응자)을 조사하는 데 적용할 수 있습니다. 추가적으로, 겔 포매 영역은 상이한 세포 집단과 용이하게 통합되어, 기질 성분(섬유아세포, 내피 세포)23을 포함하는 보다 이질적인 TME를 재생성하거나, 약물 내성 및 종양 회피의 기전을 해부하기 위한 특정 면역억제 환경(34)(예를 들어, 대식세포)을 시뮬레이션할 수 있다.
참고: Nguyen et al.33에 보고된 바와 같이 Live/dead 분석용 상용 키트(예: Thermo Fisher Scientific, Incucyte 시약)를 사용하여 핵 및 활성 카스파제 염색을 구현하여 유사분열 또는 세포사멸 사멸 사건을 평가할 수 있습니다.
액세스가 제한되었습니다. 이 콘텐츠를 보려면 로그인하거나 체험판을 시작하세요.
종양 면역 침윤은 숙주 항종양 반응의 파라미터이다. 종양은 침윤 백혈구의 구성, 밀도, 위치 및 기능적 상태에서 이질적이며, 암세포와의 상호 작용은 질병 경과 및 치료에 대한 반응을 예측하기 위해 임상적으로 관련된 정보의 기초가 될 수 있습니다. 이러한 의미에서 미세유체 기술은 종양의 면역 조직을 탐색하고 항암 요법에 대한 반응을 모니터링하기 위한 보완적이고 특권적인 체외 도구로 사용될 수 있습니다. 미세유체 분석, 생세포 이미징 및 추적 소프트웨어의 결합은 면역 세포가 다양한 맥락에서 이동 패턴을 조정하는 방법을 정량화하기 위한 신뢰할 수 있는 정량화 방법을 확립할 수 있습니다. 이 장에서는 표준 소프트 리소그래피 절차로 실현된 임시 미세 유체 장치에서 면역 및 표적 암세포의 다목적 2D 또는 3D 공동 배양을 설정하는 단계를 보고했습니다. 섹션 1에서는 부착성(MDA-MB-231 암세포)과 비부착성(PBMC) 집단 간의 화학적 및 물리적 접촉을 허용하기 위해 미세유체 장치를 사용했습니다. 일부 화학요법제(예를 들어, 다른 것...
액세스가 제한되었습니다. 이 콘텐츠를 보려면 로그인하거나 체험판을 시작하세요.
설명된 방법은 보다 관련성이 높은 시험관 내 모델의 채택으로 이점을 얻을 수 있는 종양 면역학 분야의 두 가지 중요한 측면을 조정 가능한 복잡성으로 요약하기 위한 일반적인 접근 방식을 설계하려고 합니다. 첫 번째는 종양 세포 집단 측면과 관련이 있으며, 단일 세포 특성을 다루면 치료에 대한 내성, 전이에 대한 성향, 줄기 세포 및 분화 등급을 포함하여 이질성과 상관관계가 있는 생물학적 및 임상적 중요성에 대한 더 나은 설명으로 이어질 수 있습니다. 이야기의 다른 측면은 질병의 특성과 치료63, 특히 면역 요법에 대한 개인의 반응을 심오하게 형성할 수 있는 비암성 구성 요소(면역 및 기질 세포, 혈관) 및 화학적/물리적 환경(ECM 구성 요소, 케모카인 및 기타 용해성 인자 방출)을 포함하는 TME로 대표됩니다. 설명된 접근 방식을 다른 연구 분야로 내보내려면 새로운 모델의 개발 및 채택으로 인한 한계와 과제에 대한 깊은 이해가 필요합니다.
액세스가 제한되었습니다. 이 콘텐츠를 보려면 로그인하거나 체험판을 시작하세요.
저자는 공개 할 것이 없습니다. AS는 Fondazione Italiana per la Ricerca sul Cancro (AIRC, Start-Up 2016 # 18418) 및 Ministero Italiano della Salute (RF_GR-2013-02357273)의 지원을 받고 있습니다. GS 및 FM은 이탈리아 암 연구 협회(AIRC) 번호 21366에서 GS의 지원을 받습니다.
| 이름 | 회사 | 카탈로그 번호 | 댓글 |
|---|---|---|---|
| <강>세포 배양 재료 | |||
| 50 mL 튜브 | Corning-Sigma Aldrich, St. Louis, MO | CLS430828 | 원심분리 튜브 |
| 5-aza-2'-deoxycytidine DAC | Millipore-Sigma; St. Louis, MO | A3656 | DNA-하이포메틸화제 |
| 6-웰 플레이트 | Corning-Sigma Aldrich, St. Louis, MO | CLS3506 | 배양 접시 |
| 75cm2 세포 배양 처리 플라스크 | Corning, New York, NY | 430641U | 배양 플라스크 |
| A365M | American Type Culture Collection (ATCC), Manassas, VA | br/> CVCL_B222 | 인간 흑색종 세포주 |
| 독소루비신 염산염 | Millipore-Sigma; 세인트루이스, MO | D1515 | 안트라사이클린 항생제 |
| Dulbecco's Modified Eagle Medium DMEM | EuroClone Spa, 밀라노, 이탈리아 | ECM0728L | SK-MEL-28 세포용 배양 배지 |
| Dulbecco's Phosphate Buffer Saline w/o Calcium w/o Magnesium | EuroClone Spa, Milan, Italy | ECB4004L | Saline Buffer solution |
| Fetal Bovine Serum | EuroClone Spa, Milan, Italy | ECS0180L 세포 배양 | |
| 보조 Ficoll | GE-Heathcare | 17-1440-02 | 인간 혈액에서 단핵 세포 분리. |
| 혈구계 | Neubauer | 세포 계수 | |
| Heparinized 바이알 | Thermo Fisher Scientific Inc., Waltham, MA | 정맥혈 채취 | |
| 용 바이알 인터페론 알파 -2b | Millipore-Sigma; 세인트루이스, 미주리 | SRP4595 | 재조합 인간 사이토 카인 |
| L-Glutamine 100X | EuroClone Spa, 밀라노, 이탈리아 | ECB3000D | 세포 배양 보조 |
| 액체 질소 | |||
| 림프폴라이트 세포 분리 매체 | Cedarlane Labs, Burlington, Canada | 밀도 구배 원심분리에 의한 림프구 분리 | |
| Lymphoprep | Axis-Shield PoC AS, Oslo, Norway | ||
| Matrigel | Corning, New York, NY | 354230 | 성장 인자 감소 기저막 매트릭스 |
| MDA-MB-231 | American Type Culture Collection(ATCC), 버지니아주 매너서스 | HTB-26 | 인간 유방암 세포주 |
| 페니실린/ 스트렙토마이신 100X | EuroClone Spa, Milan, Italy | ECB3001D | 세포 배양 보조 |
| 피펫 에이드 | Drummond Scientific Co., Broomall, PA | 4-000-201 | 액체 처리 |
| PKH26 적색 형광 세포 링커 | Millipore-Sigma; 세인트루이스, 미주리 | PKH26GL | 녹색 형광 세포 |
| 염료 PKH67 녹색 형광 세포 링커 | Millipore-Sigma; 세인트루이스, 미주리 | PKH67GL | 녹색 형광 세포 염료 |
| RPMI-1640 | EuroClone Spa, 밀라노, 이탈리아 | ECM2001L | MDA-MB-231 세포 |
| (2 mL, 5 mL, 10 mL, 25 mL, 50 mL) | Corning- Millipore-Sigma; St. Louis, | MO CLS4486; CLS4487; CLS4488; CLS4489; CLS4490 | 액체 취급 |
| 멸균 팁 (1-10 μ L, 10-20 μ L, 20-200 μ L, 1000 &뮤; L) | EuroClone Spa, 이탈리아 밀라노 | ECTD00010; ECTD00020; ECTD00200; | 마이크로피펫 |
| 타이머 | |||
| Trypan Blue 솔루션 | Thermo Fisher Scientific Inc., 매사추세츠주 월섬 | 15250061세포 | 생존율 평가를 위한 세포 염색 |
| Trypsin | EuroClone Spa, 이탈리아 밀라노 | ECM0920D | 부착 세포 |
| <강력>세포 배양 장비 | |||
| EVOS-FL 형광 현미경 | Thermo Fisher Scientific Inc., Waltham, MA | 살아있는 세포용 형광 현미경 | |
| Humified cell culture incubator | Thermo Fisher Scientific Inc., Waltham, MA | 311 Forma Direct Heat COIncubator; TC 230 | 37 °에서 세포 배양의 배양; C, 5% CO2 |
| Juli 현미경 | Nanoentek | ||
| 실험실 냉장고 (4 ° C) | FDM | ||
| 실험실 안전 캐비닛 (클래스 II) | 멸균 VBH 72 MP | 층류 후드 | |
| 광학 현미경 | Zeiss | ||
| 냉장 가능한 원심 분리기 | Beckman Coulter | ||
| 온도 조절 수조 | |||
| < 강>미세 가공 재료 | |||
| 3-Aminopropyl)triethoxysilane (Aptes) | Sigma Aldrich | A3648 | 실란화 제제는 PDMS를 플라스틱 커버슬립에 접착하기 위한 것입니다 |
| 크롬 석영 마스크 / 4"x4", HRC / AZ 없음 | MB 승& 에이, 독일 | 포토리소그래피용 광학 마스크 | |
| 유리 커버슬립, D 263 M Schott 유리, (170 ± 5 &마이크로; m) | Ibidi, Germany | 10812 | |
| 수소 과산화물 용액 30% | Carlo Erba 시약 | 412081 | 피라냐 용액용 시약 |
| 메틸 이소부틸 케톤 | Carlo Erba 시약 | 461945 | PMMA 전자 빔 레지스트 개발자 |
| 현미경 유리 슬라이드 (50개 슬라이드 팩) 76.2 mm x 25.4 mm | Sail Brand | 7101 | 칩 본딩용 기판 |
| 플런저가 있는 Miltex 생검 펀치, 칩 저장소용 ID 1.0mm | Tedpella | 피부 생검 펀치 | |
| PMMA 950 kDa | Allresist, Germany | AR-P. 679.04 | 광학 마스크 패터닝을 위한 포지티브 전자 레지스트 |
| 폴리머 처리되지 않은 커버슬립 | Ibidi, Germany | 10813 | 칩 본딩용 기판 |
| 프라임 CZ-Si Wafer, 4", (100), Boron Doped | Gambetti Xenologia Srl, Italy | 30255 | |
| Propan-2-ol | Carlo Erba 시약 | 415238 | |
| 프로필렌 글리콜 모노메틸 에테르 아세테이트 (PGMEA) | Sigma Aldrich | 484431-4L | SU-8 레지스트 개발자 |
| SU-8 3005 | 마이크로 레지스트 기술, 독일 | C1.02.003-0001 | 네거티브 포토레지스트 |
| SU-8 3050 | 마이크로 레지스트 기술, 독일 | C1.02.003-0005 | 네거티브 포토레지스트 |
| 바이오 펀치 제품군, ID 4.0 mm, 6.0 mm, 8.0 mm | Tedpella | 15111-40, 15111-60, 15111-80 | 칩 저장소 용 피부 생검 펀치 |
| 황산 96 % | Carlo Erba 피 | 라냐 용액 | 410381 |
| SYLGARD 184 실리콘 엘라스토머 키트 | Dowsil, 다우 코닝 | 11-3184-01 | 실리콘 엘라스토머 (PDMS) |
| 트리메틸 클로로 실란 (TMCS) | SU-8 패턴 마스터 | ||
| < 강>미세 가공 장비 < / 강> | |||
| 100 kV 전자 빔 리토그래 | Raith-Vistec EBPG 5HR | ||
| 핫 플레이트 | |||
| 광학 리토그래피 시스템 | EV-420 양면 접촉 마스크 정렬기 | ||
| 반응성 이온 에칭 시스템 | Oxford plasmalab 80 plus 시스템 | ||
| 진공 건조기 |
액세스가 제한되었습니다. 이 콘텐츠를 보려면 로그인하거나 체험판을 시작하세요.
이 JoVE 논문의 텍스트 또는 그림 재사용 허가 요청
허가 요청