Licht Verbeterde waterstoffluoride Passiveren: Een gevoelige techniek voor het opsporen Bulk Silicon Gebreken

Samenvatting

Een RT vloeibare oppervlaktepassivering techniek om de recombinatie activiteit van bulk silicium gebreken onderzoeken wordt beschreven. Voor de techniek succesvol zijn, zijn er drie belangrijke stappen noodzakelijk: (i) chemisch reinigen en etsen van silicium, (ii) onderdompeling van silicium in 15% fluorwaterstofzuur en (iii) verlichting van 1 min.

Samenvatting

Een procedure om de bulk levensduur (> 100 psec) silicium wafers te meten door tijdelijk het bereiken van een zeer hoog oppervlaktepassivering bij onderdompelen van de wafers in fluorwaterstofzuur (HF) wordt gepresenteerd. Door deze procedure drie cruciale stappen nodig zijn om de bulk levensduur bereiken. Allereerst vóór onderdompelen silicium wafers in HF, ze chemisch gereinigd en vervolgens geëtst in 25% tetramethylammoniumhydroxide. Ten tweede worden de chemisch behandelde wafers vervolgens in een grote plastic container gevuld met een mengsel van HF en zoutzuur, en vervolgens gecentreerd over een inductieve spoel voor photoconductance (PC) metingen. Ten derde oppervlak recombinatie remmen en meet de massa levensduur, de wafers worden verlicht 0,2 zonnen gedurende 1 minuut met een halogeenlamp, is de verlichting uitgeschakeld en een PC meting wordt meteen gemaakt. Met deze procedure kan de kenmerken van bulk silicium gebreken nauwkeurig worden bepaald. Bontvendien wordt verwacht dat een gevoelige RT oppervlaktepassivering techniek noodzakelijk is voor de behandeling bulk silicium defecten wanneer de concentratie laag is (<10 ¹² cm ^-3).

Inleiding

Hoge levensduur (> 1 msec) monokristallijn silicium wordt steeds belangrijker voor een hoog rendement zonnecellen. Inzicht in de recombinatie kenmerken van embedded onzuiverheden is geweest, en blijft een belangrijk onderwerp. Een van de meest gebruikte technieken om de recombinatie activiteit van ingegroeide defecten worden onderzocht door een photoconductance methode ^1. Door deze techniek is het vaak moeilijk volledig aparte ondergrond bulkgoed recombinatie, waardoor het moeilijk de recombinatie kenmerken van ingegroeide gebreken onderzocht. Gelukkig bestaan ​​er verschillende diëlektrische films die kunnen bereiken zeer lage effectieve oppervlakte recombinatie snelheden (S _eff) van <5 cm / sec, en dus effectief oppervlakte recombinatie remmen. Deze zijn, siliciumnitride (SiN _x: H) ^2, aluminiumoxide (Al ₂ O ₃₎ ³ en amorf silicium (a-Si: H) ^4. De afzetting en eennealing temperaturen (~ 400 ° C) van deze diëlektrische films worden beschouwd als laag te zijn genoeg niet om permanent de recombinatie activiteit van de volwassenen in defecten deactiveren. Voorbeelden hiervan zijn de ijzer-boron boor ⁵ en ⁶ zuurstof defecten. Echter, onlangs bleek dat leegstand zuurstof en beschikbaarheid fosfor defecten in n-type Czochralski (CZ) silicium volledig kan worden uitgeschakeld bij temperaturen van 250-350 ° C ^7,8. Evenzo een defect in float-zone (FZ) p-type silicium bleek te deactiveren bij ~ 250 ° C ^9. Derhalve kunnen conventionele passivering technieken zoals plasma versterkte chemische dampafzetting (PECVD) en atomic layer deposition (ALD) niet geschikt voor het remmen oppervlak recombinatie gekweekt in bulk gebreken onderzocht. Bovendien SiN _x: H en a-Si: H films bleken bulk silicium defecten deactiveren door middel hydrogenering ^10,11. Dus de recombinatieactiviteit o onderzocht f ingegroeide defecten zou een RT oppervlaktepassivering techniek ideaal. Natte chemische oppervlaktepassivering voldoet aan deze eis.

In de jaren 1990 Horanyi et al. Aangetoond dat onderdompeling van silicium wafers aan jodium-ethanol (IE) oplossing verschaft een middel om silicium wafers passiveren, bereiken S _eff <10 cm / sec ^12. In 2007 Meier et al. Toonden aan dat jodium-methanol (IM) oplossingen het oppervlak recombinatie 7 cm / sec ¹³ kan verminderen, terwijl in 2009 Chhabra et al. Aangetoond dat S _eff van 5 cm / sec kan worden bereikt door onderdompeling silicon wafers in quinhydron-methanol (QM) -oplossingen ^14,15. Ondanks de uitstekende oppervlaktepassivering bereikt door IE, IM en QM-oplossingen, hebben ze geen adequate oppervlaktepassivering (S _eff <5 cm / sec) om het grootste deel levensduur van een hoge zuiverheidsgraad silicium wafers te meten.

nt "> Een andere wijze om een hoog oppervlaktepassivering bereikt wordt door onderdompeling silicium wafers in HF zuur. Het begrip gebruik HF silicium wafers passiveren werd eerst geïntroduceerd door Yablonavitch et al. in 1986, die een record lage S _eff aangetoonde 0,25 ± 0,5 cm / sec ^16. Hoewel uitstekende oppervlaktepassivering werd bereikt op hoge weerstand wafers, hebben we de techniek niet kan worden herhaald, waardoor een grote onzekerheid om de levensduur meting voegen zijn. Derhalve de onzekerheid beperken door consequent realiseren vond een zeer lage S _eff (~ 1 cm / sec), hebben we een nieuwe HF passivering techniek die drie cruciale stappen omvat, (i) chemisch reinigen en etsen van silicium wafers, (ii) onderdompeling in een 15% HF oplossing en (iii) ontwikkeld verlichting voor 1 min ^17,18. Deze procedure is eenvoudig en tijdbesparend in vergelijking met de bovengenoemde traditionele PECVD en ALD depositietechnieken.

Protocol

1. Experimentele Setup

1. Zoek een geschikte zuurkast voor de meettechniek, en verwijder alle irrelevante apparatuur om een betere luchtstroom mogelijk te maken en te verminderen verrommeling. Gebruik geen andere dan fluorwaterstofzuur (HF) chemische stoffen niet in de zuurkast.
2. Test de kwaliteit van het gedeïoniseerd (DI) water uit de kraan in de zuurkast met een geleidbaarheidsmeter. Controleer of DI water een geleidingsvermogen van ten hoogste 0,055 S / cm bij een temperatuur van 20 ° C.
3. Plaats een minderheid vervoerder levensduur tester in de zuurkast. Sluit de kabels aan op een computer, die is gelegen op een tafel buiten de zuurkast.
4. Schakel de computer en de levensduur tester. Open de levensduur tester bestand op de computer en klik op de 'maatregel' knop om de juiste communicatie tussen de computer en de levensduur tester te garanderen. De lichtbron op de levensduur tester moet knipperen als de computer en de tester correct zijn aangesloten.
5. Plaats een halogeenlamp in de zuurkast. Plaats de lamp zodanig dat het de levensduur tester podium waar het monster zal worden gevestigd kan verlichten.
6. Sluit de halogeenlamp een energiebron die moet worden gesitueerd buiten het zuurkast. Wanneer de halogeenlamp is ingeschakeld, zal de intensiteit ten minste 0,02 W / cm ² van de levensduur tester stadium.

2. Voorbereiden van de 15% HF oplossing

Opmerking: HF is een gevaarlijke chemische en moet met zorg worden behandeld. Het veroorzaakt trage, aanhoudende en diepe schade aan het lichaam na blootstelling. HF niet gemakkelijk de huid verbranden als andere zuren - vrij snel geabsorbeerd in de huid en veroorzaakt diepe blaarvorming en schade aan de botten. Dit betekent dat de botten broos worden en blaren als fluor reageert met calcium. HF bindt ook met vrije calciumionen die wordt gebruikt in zenuwuiteinden regelgeving en osmotische celbalans, zodat binding van vrij calcium in het lichaam kan fataal zijn. Het is essentieel datde gebruiker volgt laboratorium veiligheid protocollen bij het gebruik van HF, en zorgt ervoor dat ze weten dat de locatie van het HF EHBO-kit en hexafluorine (of calciumgluconaat gel).

1. Plaats een chemisch gereinigd ronde plastic container (H: 55 mm, D: 170 mm) in de zuurkast (hetzelfde als in deel 1). De container moet een doorzichtige plastic deksel hebben. Zie paragraaf 6 over hoe de container vóór gebruik chemisch reinigen.
2. Wis het gebied rond de plastic container in de zuurkast zodat de HF-oplossing kan worden bereid zonder obstakels in de buurt.
3. Gelden alle persoonlijke beschermingsmiddelen (PBM).
4. WAARSCHUWING: Voeg 50 ml van HF met 100 ml DI water (H ₂ O) in de houder.
5. WAARSCHUWING: Voeg 20 ml zoutzuur (HCl) aan de houder en meng de H ₂ O: HF: HCl oplossing met plastic pincet. Spoel de pincet nadien grondig.
6. WAARSCHUWING: Plaats de deksel op de kunststof houder en laat de solutiop om zich te vestigen voor 1 uur. Gedurende deze tijd zullen HF dampen condenseren op het deksel.
7. Adequaat de container label, en maakt duidelijk dat het HF bevat.
   Opmerking: De HF-oplossing zal duren 1-2 maanden met zware gebruik. Daarom is er geen noodzaak om de oplossing elke keer dat een meting wordt uitgevoerd vervangen.

3. De kalibratie van de Lifetime Tester

1. Localisatie minstens 6 siliciumschijven van bekende weerstand en geleiding. Idealiter zou de weerstand bereik moet 0,1-100 Ω-cm overspannen.
2. Op de computer, opent u de levensduur tester kalibratie-bestand. Voer de weerstand van elke wafel in de tabel en klik vervolgens op 'update # van wafers'.
3. Klik op de 'Get data' knop in de kalibratie-bestand en voer de details van de levensduur tester.
4. Gelden alle benodigde PPE.
5. LET OP: Plaats de plastic container gevuld met de HF-oplossing op de levensduur tester podium en plaats het over de inductieve spoel (blue cirkel regio).
6. Wanneer wordt gevraagd de 'lucht spanning' op de computer te meten, meet de spanning van de HF-oplossing door te klikken op de knop 'OK'. In dit geval is de lucht werd vervangen door de conductantie van de HF oplossing.
7. LET OP: Haal de container gevuld met HF van het podium en plaats het op de zuurkast bank. Verwijder het deksel voorzichtig.
8. WAARSCHUWING: als het deksel is verwijderd uit de houder, dompel de eerste siliciumwafel in de HF oplossing met behulp van plastic pincet. Plaats het deksel weer op de container.
9. LET OP: Plaats de plastic container terug op de levensduur tester podium en plaats het over de inductieve spoel. Zorg ervoor dat de siliciumwafer wordt gecentreerd over de spoel (blauwe cirkel regio).
10. Wanneer wordt gevraagd de 'sample spanning' op de computer te meten, klikt u op de knop 'OK' nogmaals. Verwijder de container uit het podium en plaats het op de zuurkast bank.
11. LET OP: Zorgvuldig r chrap het silicium wafer van de HF-oplossing met behulp van plastic pincet en spoel de wafer in de daarvoor bestemde spoeling bekers. Doe een laatste spoeling onder de kraan in de zuurkast.
12. LET OP: Plaats het deksel weer op de container, en terug op de levensduur tester podium positie van de container.
13. Herhaal stap 3,6 om 3,12 tot alle monsters zijn gemeten.
14. Zodra alle van de monsters zijn gemeten, klikt u op de knop 'Fit gegevens' in de kalibratie-bestand. Dit zal een parabolische curve voor de gemeten gegevens passen en zorgen kalibratie coëfficiënten A, B en C die specifiek zijn voor deze opstelling zijn.
15. Op de computer, opent u de levensduur tester bestand en klik op het tabblad 'Instellingen'. Voer de nieuwe kalibratie coëfficiënten A, B en C voor de HF setup. Sla het bestand onder een nieuwe naam.
    Opmerking: De HF setup vereist slechts een kalibratie elke 6 maanden. Daarom is er geen noodzaak om de setup kalibratie als een meting wordt uitgevoerd.

jove_title "> 4 Wet Chemische behandeling van silicium wafers Voorafgaand aan meten.

1. Bereid standaard schoon 1 (SC 1).
   1. LET OP: In een alkalische toegewezen zuurkast, voeg 185 ml ammoniumhydroxide (NH ₄ OH) tot 1295 ml DI water in een 2 L glazen beker.
   2. VOORZICHTIG: Plaats het bekerglas op een hete plaat en verwarm het H ₂ O: _NH4OH oplossing tot een temperatuur van -50 ° C. Gebruik een horlogeglas om de beker te dekken.
   3. VOORZICHTIG: Nadat de H ₂ O: NH ₄ OH-oplossing een temperatuur van -50 ° C bereikt, voeg 185 ml waterstofperoxide (H ₂ O ₂₎ en verder verwarmen tot de temperatuur bereikt ~ 75 ° C. Deze H ₂ O: NH ₄ OH: H ₂ O ₂ oplossing bekend als SC 1.
      Opmerking: SC 1 moet dagelijks om effectief schoon silicium wafers worden veranderd.
2. Bereid standaard schoon 2 (SC 2).
   1. LET OP: In een zuur toegewezen zuurkast,voeg 185 ml HCl tot 1295 ml DI water in een 2 L glazen beker.
   2. VOORZICHTIG: Plaats het bekerglas op een hete plaat en verwarm het H ₂ O: HCl-oplossing tot een temperatuur van -50 ° C. Gebruik een horlogeglas om de beker te dekken.
   3. VOORZICHTIG: Nadat de H ₂ O: HCl-oplossing een temperatuur van -50 ° C bereikt, voeg 185 ml H ₂ O ₂ en verder verwarmen tot de temperatuur bereikt ~ 75 ° C. Deze H ₂ O: HCl: H ₂ O ₂ oplossing bekend als SC 2.
      Opmerking: Verander SC 2 dagelijks om effectief schoon silicium wafers.
3. Bereid de silicium etsen oplossing.
   1. In een alkalisch toegewezen zuurkast, voeg 1600 ml tetramethylammoniumhydroxide (TMAH) om een chemisch schoon 2 L glazen beker. Zie paragraaf 6 over hoe chemisch reinigen van de beker voor gebruik.
   2. Plaats het bekerglas op een hete plaat en verwarm het TMAH oplossing tot een temperatuur van -856; C. Gebruik een horlogeglas om de beker te dekken.
      Opmerking: De TMAH oplossing hoeft niet te veranderen totdat het begint te kristalliseren, dat wil zeggen na 1 maand.
4. Voer de natte chemische behandeling.
   1. Monsters lading in een kwarts cradle en leg ze in een gemeenschappelijke HF-oplossing in het lab. De concentratie is niet kritisch.
   2. Na ~ 10 seconden of zodra de monsters worden hydrofobe (pull droog), verwijder de wieg van de HF-oplossing en spoel met 3 bekers gevuld met DI-water.
   3. Vervoeren de bakermat van wafers voor de zuurkast, waar SC 1 is opgesteld. Wanneer SC 1 is gestabiliseerd op ~ 75 ° C, langzaam dompel de bakermat van de wafers in SC 1.
   4. Reinig de wafers in SC 1 gedurende 10 min.
   5. Na 10 minuten verstreken is, verwijdert u de wieg van wafers van SC 1 en spoel ze met behulp van drie 2 L glazen bekers gevuld met DI-water. Chemisch schone deze glazen bekers voor ze te vullen met DI-water. Zie paragraaf 6 ophoe chemisch reinigen van de bekers.
   6. Na het spoelen, plaatst de monsters in een HF-oplossing die is gewijd alleen voor post SC 1 verwerking. De concentratie is niet kritisch.
   7. Na ~ 10 seconden of zodra de monsters worden hydrofobe (pull droog), verwijder de wieg van de HF-oplossing en spoel met 3 bekers gevuld met DI-water. Gebruik dezelfde bekers als in stap 4.4.5.
   8. Vervoeren de bakermat van wafers voor de zuurkast, waar SC 2 is opgesteld. Wanneer SC 2 is gestabiliseerd op ~ 75 ° C, langzaam dompel de bakermat van de wafers in SC 2.
   9. Reinig de wafers in SC 2 gedurende 10 min.
   10. Na 10 minuten verstreken is, verwijdert u de wieg van wafers van SC 2 en spoel ze met behulp van 3 bekers gevuld met DI-water. Gebruik dezelfde bekers als in stap 4.4.5.
       Opmerking: De wieg van wafers kunnen worden opgeslagen in één van de spoelen bekers gevuld met gedeïoniseerd water tot de volgende dag.
   11. Na het spoelen, plaatst de monsters in een HF-oplossing die is gewijd alleen voor postSC 2 verwerken. De concentratie is niet kritisch.
   12. Na ~ 10 seconden of zodra de monsters worden hydrofobe (pull droog), verwijder de wieg van de HF-oplossing en spoel met 3 bekers gevuld met DI-water. Gebruik dezelfde bekers als in stap 4.4.5.
   13. Vervoeren de bakermat van wafers voor de zuurkast waar de TMAH oplossing is voorbereid. Wanneer de TMAH oplossing heeft zich gestabiliseerd op ~ 85 ° C, langzaam dompel de bakermat van wafers in de TMAH oplossing.
   14. Etsen wafers in TMAH gedurende 5 min. Dit ~ 5 micrometer silicium te verwijderen.
   15. Na 5 minuten is verstreken, verwijdert de wieg van wafers van het TMAH oplossing en spoel ze met behulp van 3 bekers gevuld met DI-water. Gebruik dezelfde bekers als in stap 4.4.5. Meer dan 3 spoelingen kunnen worden verlangd als TMAH is nogal 'sticky'.
   16. Vervoeren de bakermat van de wafers in DI water om de zuurkast, waar het experiment opzet is geweest. Zie paragraaf 1.1.
   17. Meet de bereide silicium wafers binnen 2 uur na step 4.4.16.

5. Measurement Procedure

1. Gelden alle benodigde PPE.
2. Vul twee 2 L plastic bekers met DI-water en plaats ze in de zuurkast. Deze zullen worden gebruikt voor het spoelen van het silicium stalen paal meting.
3. Plaats plastic pincet in een lege 500 ml plastic beker en plaats binnen de zuurkast in de buurt van de spoeling bekers. Deze pincet worden gebruikt om het silicium monsters hanteren.
4. Op de computer, opent u de levensduur tester bestand. Zorg ervoor dat het bestand bevat de juiste kalibratie coëfficiënten voor de HF meetopstelling. Zie paragraaf 3.
5. In de levensduur tester bestand, selecteert u de 'Transient' modus. Vul de gegevens van de siliciumwafel te meten, bijvoorbeeld de dikte, weerstand en het type doteringsmiddel.
6. LET OP: Plaats de container (deksel op) gevuld met HF op het podium van de levensduur tester en centreren het over de inductieve spoel (blauwe cirkel regio). Laat de oplossing voor het regelen1 minuut.
7. Op de computer, klikt u op de 'Zero instrument' knop in het leven tester bestand. Hierdoor wordt de spanning van de oplossing te meten.
   Opmerking: In tijd, zal de oplossing spanning verminderen, omdat de samenstelling van de oplossing verandert met de tijd. Los daarvan, is de HF oplossing worden geen verslechtering in de passiveringslaag kwaliteit, daarom is de oplossing kan gedurende 1-2 maanden zonder wijziging onderging.
8. LET OP: Haal de container uit de levensduur tester podium en plaats het op de zuurkast bank.
9. LET OP: Verwijder het deksel voorzichtig uit de container gevuld met het HF-oplossing. Als er wat condensatie op het deksel voorzichtig spoel de deksel in DI-water met behulp van de kraan in de zuurkast.
10. LET OP: dompel voorzichtig de eerste silicium wafer in de HF-oplossing. De plastic pincet, druk voorzichtig op de silicium wafer om te verzekeren dat zit op de bodem van de houder.
11. Spoel de pincets en plaats ze terug in de lege 500 ml plastic beker.
12. LET OP: Plaats het deksel weer op de container en plaats de container op de levensduur tester podium. Zorg ervoor dat de siliciumwafer is gepositioneerd over de inductieve spoel (blauwe cirkel regio).
13. Spoel en droog uw handschoenen. Verwijder ze voor het bedienen van de computer.
14. Indien de fluorescerende licht in de zuurkast is, moet worden uitgeschakeld voordat een meting wordt verricht. Minimaal licht is vereist tijdens de meting.
15. Schakel de halogeenlamp aan en zorgen dat het verlichten van de siliciumwafel door het deksel van de plastic container. Tijd voor 1 min (de exacte tijd is niet kritisch).
16. Tijdens de verlichting periode, klikt u op de 'Measure' knop in het leven bestand op de computer. Een klein venster genaamd 'Taking data' zal verschijnen.
17. In de 'Taking data' venster, typ een naam voor het bestand. Onder 'sample middeling' select 10.
18. Wanneer het silicium wafer is belicht gedurende 1 minuut, schakelt de halogeenlamp uit en onmiddellijk klik op de 'gemiddelde' knop in het venster 'Taking data'. De levensduur tester knippert 10 keer en het gemiddelde van de levensduur metingen.
    Opmerking: Als de halogeenlamp is uitgeschakeld, wordt de passivering van de siliciumwafel beginnen te degraderen, en dus is het belangrijk om onmiddellijk na belichting meten om de beste resultaten te bereiken.
19. Wanneer de middeling is voltooid, klikt u op de knop 'OK' in het venster 'Taking data'.
20. Als een andere meting nodig is, herhaal dan de stappen 5,15-5,18.
21. LET OP: Als de meting is voltooid, verwijdert u de container uit de levensduur tester podium en plaats het op de zuurkast bank.
22. LET OP: Verwijder het deksel voorzichtig uit de container gevuld met het HF-oplossing. Als er wat condensatie op het deksel voorzichtig spoel de deksel in DI-water met behulp van de kraanin de zuurkast.
23. LET OP: Haal de silicium wafer van de HF-oplossing met behulp van plastic pincet en spoel de wafer in de daarvoor bestemde spoeling bekers. Doe een laatste spoeling onder de kraan in de zuurkast.
24. Als er meer monsters worden gemeten, herhaalt u stap 5,10-5,23.
25. Nadat alle monsters zijn gemeten, zorgen het deksel op de houder geplaatst en bewaar de HF oplossing in de zuurkast. Zorg ervoor dat de container wordt naar behoren geëtiketteerd.
26. Spoel alle bekers en pincet en bewaar ze in de hun toegewezen plekken in het laboratorium.
27. Laat de levensduur tester in de zuurkast blijven gedurende 1 uur na gebruik en verwijder deze vervolgens uit de zuurkast.

6. Chemische zuivering van bekers en containers

1. In een alkalisch toegewezen zuurkast, bereiden een SC 1 oplossing, zoals beschreven in paragraaf 4.1.1-4.1.4.
2. Chemisch schoon bekers en containers, giet de SC 1 oplossing in de bekers / containers. De bekers can slechts gereinigd één tegelijk.
3. Laat de oplossing voor het reinigen van de beker / container voor 10 min. Indien de beker / houder plastic, kan niet op een hete plaat geplaatst, en derhalve de SC 1 oplossing koelen tijdens het reinigen. Dit heeft geen invloed op het reinigingsproces.
4. Na 10 min, giet de SC 1 oplossing in een bekerglas / container wanneer zij gereinigd ook. Anders laat de SC 1 oplossing afkoelen in een grote beker. Eenmaal afgekoeld, kan SC 1 gegoten worden in de gootsteen met stromend water.
5. Spoel SC 1 schoongemaakt beker / container in DI water.
6. In een zure toegewezen zuurkast, bereiden een SC 2-oplossing, zoals beschreven in paragraaf 4.2.1-4.2.4.
7. Giet de SC 2 oplossing in beker / container uit stap 6.5. Laat de oplossing terug in het bekerglas / container 10 min reinigen.
8. Na 10 min, giet de SC 2 oplossing in een bekerglas / container wanneer zij gereinigd ook. Anders laat de SC 2 oplossing afkoelen in een grote beker. Eenmaal afgekoeld, SC 2 kan worden opgeruimd tHij wastafel met stromend water.
9. Spoel SC 2 schoongemaakt beker / container in DI water. De beker / container is nu chemisch gereinigd.

Resultaten

Figuur 1a toont schematisch en Figuur 1b toont een foto van de experimentele opstelling. Wanneer een siliciumwafer wordt ondergedompeld in de HF oplossing, vervolgens op de levensduur tester podium geplaatst en een meting wordt uitgevoerd (voor verlichting), een levensduur curve die wordt begrensd door oppervlakte recombinatie resulteert, zoals aangegeven door de blauwe driehoekjes in figuur 2. Echter, wanneer het monster wordt verlicht 1 min (terwijl o...

Discussie

De succesvolle implementatie van de bulk silicium levensduur meettechniek hierboven beschreven is gebaseerd op drie cruciale stappen, (i) chemisch reinigen en etsen van het silicium wafers, (ii) onderdompeling in een 15% HF-oplossing en (iii) de verlichting gedurende 1 minuut ^{17, 18,19.} Zonder deze stappen kan de bulk levensduur niet worden gemeten met zekerheid.

Aangezien de meettechniek wordt uitgevoerd bij kamertemperatuur, de oppervlaktepassivering kwaliteit is zeer gevoelig v...

Materialen

Lijst van materialen gebruikt in dit artikel

Naam	Bedrijf	Catalogusnummer	Opmerkingen
Hydrofluoric acid (48%)	Merck Millipore,   http://www.merckmillipore.com/AU/en/product/Hydrofluoric-acid-48%25,MDA_CHEM-100334	1003340500	Schadelijk en giftig. Elke leverancier kan worden gebruikt mits de chemische stof Analytische Reagens (AR) kwaliteit is.
Hydrochloric acid 32%, AR	ACI Labscan, http://www.rcilabscan.com/modules/productview.php?product_id=1985	107209	Schadelijk en giftig. Elke leverancier kan worden gebruikt mits de chemische stof Analytische Reagens (AR) kwaliteit is.
Ammonia (30%) Solution AR	Chem-supply, https://www.chemsupply.com.au/aa005-500m	AA005	Schadelijk en giftig. Elke leverancier kan worden gebruikt mits de chemische stof Analytische Reagens (AR) kwaliteit is.
Hydrogen Peroxide (30%)	Merck Millipore, http://www.merckmillipore.com/AU/en/product/Hydrogen-peroxide-30%25,MDA_CHEM-107209	1072092500	Schadelijk en giftig. Elke leverancier kan worden gebruikt mits de chemische stof Analytische Reagens (AR) kwaliteit is.
Tetramethylammonium hydroxide (25% in H2O)	J.T Baker, https://us.vwr.com/store/catalog/product.jsp?product_id=4562992	5879-03	Schadelijk en giftig. Elke leverancier kan worden gebruikt mits de chemische stof Analytische Reagens (AR) kwaliteit is.
640 ml ronde plastic container	Sistema, http://sistemaplastics.com/products/klip-it-round/640ml-round		Dit is een goede container voor het opslaan van de 15% HF-oplossing in.
WCT-120 levensduurtester	Sinton Instruments, http://www.sintoninstruments.com/Sinton-Instruments-WCT-120.html
Dell werkstation met Microsoft Office Pro, Data acquisitiekaart en software inclusief Sinton Software onder bestaande licentie.	Sinton Instruments, http://www.sintoninstruments.com
Halogeen optische lamp, ELH 300 W, 120 V	OSRAM Sylvania, http://www.sylvania.com/en-us/products/halogen/Pages/default.aspx	54776	Elke gelijkwaardige lamp kan worden gebruikt.
Spanningsbron	Zelf gemaakte voeding		Elke voeding kan worden gebruikt mits deze maximaal 90 Volt en 1-5 Amps kan produceren.
Conductiviteitsmeter	WTW, http://www.wtw.de/uploads/media/US_L_07_Cond_038_049_I_02.pdf	LF330