Een abonnement op JoVE is vereist om deze inhoud te bekijken. Log in of start vandaag met uw gratis proefperiode.

Methodenartikel

Een silicium-tipped Fiber-optic Sensing Platform met hoge resolutie en snelle respons

6.6K weergaven

DOI:

10.3791/59026

7 januari 2019

* These authors contributed equally

In dit artikel

Samenvatting

Dit werk meldt een innovatief silicium-tipped glasvezel sensing platform (Si-FOSP) voor hoge resolutie en snelle-reactie meting van een verscheidenheid van fysieke parameters, zoals temperatuur, stroming en straling. Toepassingen van deze Si-FOSP beslaan van oceanografisch onderzoek, mechanische industrie, aan onderzoek naar fusie-energie.

Samenvatting

In dit artikel introduceren we een innovatieve en praktisch veelbelovende glasvezel sensing platform (FOSP) die wij voorgesteld en onlangs aangetoond. Deze FOSP is afhankelijk van een silicium Fabry-Pérot-interferometer (FPI) gekoppeld aan het einde van de vezel, hierna aangeduid als Si-FOSP in dit werk. De Si-FOSP genereert een interferogram bepaald door de optische weglengte (OPL) van de silicium-spouw. Te meten grootheid verandert de OPL en dus verschuift het interferogram. Vanwege de unieke optische en thermische eigenschappen van het materiaal silicium vertoont deze Si-FOSP een voordelige prestaties in termen van gevoeligheid en snelheid. Bovendien schenkt de volwassen silicon fabricage-industrie de Si-FOSP met uitstekende reproduceerbaarheid en lage kosten naar praktische toepassingen. Afhankelijk van de specifieke toepassingen, ofwel een lage-finesse of high-finesse versie zal worden gebruikt, en twee verschillende methoden van demodulatie zal dienovereenkomstig worden vastgesteld. Gedetailleerde protocollen voor het fabriceren van beide versies van de Si-FOSP zal worden verstrekt. Drie representatieve toepassingen en de bijbehorende volgens resultaten getoond. Het ene is een prototype onderwater thermometer voor profilering van de thermoclines van de Oceaan, de tweede is een flowmeter voor het meten van de snelheid van de stroming in de Oceaan, en de laatste is een bolometer gebruikt voor de controle van de uitlaatgassen straling van magnetisch beperkt hoge-temperatuur plasma.

Inleiding

Glasvezel sensoren (FOSs) geweest de focus voor veel onderzoekers als gevolg van zijn unieke eigenschappen, zoals de geringe grootte, zijn low-cost zijn lichte gewicht en de immuniteit voor elektromagnetische interferentie (EMI)1. Deze FOSs heb brede toepassingen in vele gebieden, zoals milieubewaking, Oceaan surveillance, olie-exploratie en industrieel proces onder andere. Als het gaat om de temperatuur-gerelateerde sensing, zijn niet de traditionele FOSs superieur in termen van resolutie en snelheid voor de gevallen waar meting van notulen en snelle temperatuurschommelingen wenselijk is. Deze beperkingen vloeien voort uit de optische en therm....

Toegang beperkt. Log in of start een proefperiode om deze inhoud te bekijken.

Protocol

1. fabricage van Low-Finesse sensoren

  1. De pijlers van silicium te fabriceren. Patroon van een stuk van 200 µm-dikke dubbele-side-gepolijst (DSP) silicium wafer in standalone silicon pijlers (Figuur 2a), met behulp van standaard micro-elektromechanisch systeem (MEMS) fabricage vergemakkelijkt.
    Opmerking: Het patroon wafer is gebonden op een andere grotere silicium wafer met behulp van een dun laagje fotoresist. De kracht van de hechting van de fotoresist is sterk genoeg om te houden van de pijlers rechtop, maar ook zwak genoeg om het losmaken van de ondergrond voor latere stappen.
  2. Bereiden de lead-in vezel. Strip uit ....

Toegang beperkt. Log in of start een proefperiode om deze inhoud te bekijken.

Resultaten

Si-FOSP als een onderwater thermometer voor profilering Oceaan thermoclines
Recent oceanografisch onderzoek heeft aangetoond dat de vervaging van de onderwater imaging niet alleen uit de troebelheid in verontreinigde wateren, maar ook uit temperatuur microstructuren in schone Oceaan17,18 stamt. Het laatste effect is de focus van vele oceanografen, gericht op het vinden van een effectieve manier om te zetten van.......

Toegang beperkt. Log in of start een proefperiode om deze inhoud te bekijken.

Discussie

De keuze van de grootte (lengte en diameter) van het silicium FPI is gedaan bij de afweging tussen eisen over de resolutie en snelheid. In het algemeen een kleiner formaat zorgt voor een hogere snelheid maar vermindert ook de oplossing2. Een korte lengte is gunstig voor het verkrijgen van een hogere snelheid, maar het is niet superieur voor het verkrijgen van een hoge resolutie als gevolg van de uitgebreide FWHM van de inkepingen van de reflectie. Met behulp van HR coatings te verminderen de FWHM .......

Toegang beperkt. Log in of start een proefperiode om deze inhoud te bekijken.

Openbaarmakingen

Een octrooi in de VS (nr. 9995628 B1) is afgegeven ter bescherming van de daarmee verband houdende technologieën.

Dankbetuigingen

Dit werk werd gesteund door de Amerikaanse Naval Research Laboratory (Nos. N0017315P0376, N0017315P3755); Amerikaanse Office of Naval Research (Nos. N000141410139, N000141410456); US Department of Energy (Nos. DE-SC0018273, DE-AC02-09CH11466, DE-AC05-00OR22725).

....

Toegang beperkt. Log in of start een proefperiode om deze inhoud te bekijken.

Materialen

Lijst van materialen gebruikt in dit artikel
NaamBedrijfCatalogusnummerOpmerkingen
200 Proof Pure EthanolKoptecV1001
5 Channels Duplex CWDMFiber Store5MDD-ABS-FSCWDM
Butterfly Laser Diode MountsTholabsLM14S2
CastAway CTDYellow Springs Instrument
CTDSeabirdSBE 19plus
Current MeterNortekVector
Data Acquisition DeviceNational InstrumentsNIUSB4366
Digital OscilloscopeRIGOLDS1204B200 MHz 2 GSa/s
Diode LaserThorlabsLM9LPGolflengte: 632 nm
Fixed BNC Terminator KitThorlabsFTK01
Function Waveform Generator RIGOLDG4162160 MHz 500 GSa/s
High Precision CleaverFujikuraCT-32
High Reflection Dielectric CoatingEvaporated Coating INC (ECI)Materialen en structuur van de coating zijn onbekend
I-MON 512 SpectrometerIbsen PhtonicsP/N: 1257110
InGaAs Biased DetectorTholabsDET01CFCFC/PC-uitgang:0-10V; Aantal: 2
Laser DiodeQphotonicQFLD-405-20SGolflengte: 405 nm
Laser Diode Current ControllerTholabsLDC 210C1 A en 100 mA bereik 
Laser Diode Temperature ControllerTholabsTEC 200CAantal: 2
Latex Examination GlovesHCS
Micro SlidesCorning Incorporated
Narrow Linewidth DFB LaserEblanaEP1550-NLW-B06-100FMGolflengte:1550 nm
Optical Fiber Fusion SplicerSumitomo electric industries, LTD3822-2
Optical Microscope and MonitorIkegami Tsushinki CompanyPM-127
Optical Spectrum AnalyzerYokogawaAQ6370Cgolflengtebereik: 600-1700 nm
Polish MachineULTRA TEC41076
Post-mountable IrisesThorlabsAantal: 2
Pump LaserGooch and Housego0400-0974-SMGolflengte: 980 nm
Si Amplified PhotodetectorThorlabsPDA36AGolflengte: 350-1100 nm
Silicon waferUniversity Waferdikte: 10 µm, 200 µm, 75 µm, 40 µm
Single mode fiber CorningSMF-28
Single Mode Fused  Fiber CouplerThorlabsGolflengte: 1550 nm
SM 125 interogratorMicron Optics
Submersible Aquarium PumpSonglongSL-403
Superluminscent LEDDenselight SemiconductorsDL-BP1-1501Agolflengtebereik:1510-1590 nm
Syringe PumpCole Parmer74905-02
Travel Translation StageThorlabsLT1
UV curable glueEpoxy TechnologyPB109077
UVGL-15 Compact UV LmapUVPP/N:95-0017-09254/365 nm
Variable Optical AttenuatorsTholabsM-VA/00016951 P/N: VOA50-APC

Referenties

  1. Lee, B. Review of the present status of optical fiber sensors. Optical Fiber Technology. 9, 57-79 (2003).
  2. Liu, G., Han, M., Hou, W. High-resolution and fast-response fiber-optic temperature sensor using silicon Fabry-Perot cavity. Optics Express....

Toegang beperkt. Log in of start een proefperiode om deze inhoud te bekijken.

Herprints en machtigingen

Trefwoorden

Silicon Fabry Perot interferometeroptische weglengtesensor met lage finessesensor met hoge finesseonderwaterthermometerdebietmeterbolometerMEMS fabricageoptische circulator