1. Wykonanie mikrofluidycznych chipów mieszających
Rycina 3 przedstawia podstawowe etapy wytwarzania.
- Oczyść 4-calowe (100 mm) wafle z krzemionki topionej świeżym roztworem Piranha (3:1 H2SO4:H2O2): i) Podgrzej kwas siarkowy do 130 °C, a następnie wlej nadtlenek. Należy pamiętać, że chropowatość powierzchni i płaskość użytych wafli z krzemionki topionej odgrywają ważną rolę w końcowym etapie łączenia. ii) Zanurz wafle na co najmniej 30 minut. iii) Płucz wodą przez 5 minut i osusz. Nanieś powłokę z polikrzemu (poly) o grubości ~1 μm na każde zamierzone 10 μm głębokości końcowych kanałów mikrofluidycznych, korzystając z pieca do chemicznego osadzania z fazy gazowej przy niskim ciśnieniu (LPCVD).
- Oczyść wafle i maskę zgodnie z protokołem Piranha opisanym w kroku 1.1. Maskę oczyść w ten sam sposób, a następnie przepłucz acetonem, metanolem i izopropanolem i natychmiast osusz strumieniem powietrza. Odwodnij wafle na płycie grzejnej w temperaturze 150 °C przez ~10 minut (użyj namiotu z folii aluminiowej, aby zapobiec osadzaniu się cząsteczek) lub w piekarniku w temperaturze 120 °C przez co najmniej 120 min (najlepiej przez noc). Aby zwiększyć adhezję fotorezystu, natychmiast poddaj ciepłe wafle działaniu oparów HMDS przez 5 minut. Na wafle nanieś metodą spin-coatingu warstwę fotorezystu AZ5214 o grubości ~900 nm i przeprowadź wstępne wygrzewanie (soft bake) w temperaturze 90 °C bezpośrednio na płycie grzejnej przez 1 minutę lub w piekarniku w temperaturze 110 °C przez 30 min (Rycina 3, krok 1).
- Wyrównaj maskę i zapewnij twardy kontakt próżniowy. Naświetlaj światłem UV przez kilka sekund (całkowita energia: ~103 mJ/cm2) (Rycina 3, krok 2). Wywołaj za pomocą wywoływacza AZ400K, rozcieńczonego 4:1 wodą DI, przez ~50 sekund (aż fotorezyst zostanie całkowicie wywołany), delikatnie wstrząsając. Płucz wodą przez 2 minuty. Sprawdź strukturę pod mikroskopem (Rycina 3, krok 3). Jeśli struktury są słabo rozdzielone, usuń fotorezyst i zacznij ponownie od punktu 1.2. Przeprowadź końcowe wygrzewanie (hard bake) w 115 °C bezpośrednio na płycie grzejnej przez 2 minuty.
- Usuń pozostałości organiczne (descum) z wafli za pomocą urządzenia Asher lub plazmy O2 przez 2,5 minuty przy mocy RF 100 W. Używając głębokiego trawienia jonowego (DRIE), wytraw warstwę polikrzemu aż do leżącej pod nią krzemionki topionej. Usuń pozostały fotorezyst za pomocą zmywacza PRS2000 w temperaturze 75 °C przez 10 minut. Przepłucz i osusz. Zmierz głębokość trawienia, aby upewnić się, że powłoka z polikrzemu została całkowicie przebita (Rycina 3, krok 4).
- Używając DRIE zdolnego do trawienia tlenków, takiego jak trawacz ULVAC NLD-6000, wytraw krzemionkę topioną do głębokości ~10 μm na każdy mikron grubości powłoki z polikrzemu (Rycina 3, krok 5). Powłoka z polikrzemu będzie zużywana podczas trawienia, dlatego może być konieczne okresowe sprawdzanie integralności powłoki w trakcie procesu trawienia. Jeśli obszary powierzchni wafla, które celowo miały pozostać bez struktur, zostały całkowicie pozbawione ochronnej powłoki z polikrzemu podczas trawienia, powierzchnia prawdopodobnie uległa wżerom i nie będzie już nadawać się do łączenia w końcowych etapach produkcji. W takim przypadku wafel jest najprawdopodobniej niezdatny do użytku. Oczyść urządzeniem Matrix Asher przez 4 minuty przy mocy RF 100 W. Usuń polikrzem za pomocą trawacza XeF2 (Rycina 3, krok 6). Może być konieczne powtórzenie kroku 1.4 oraz tego etapu kilka razy, aby usunąć wszystkie powłoki z fotorezystu i polikrzemu.
- Nanieś na wafle metodą spin-coatingu nową warstwę fotorezystu o grubości ~1 μm, aby chronić kanały podczas dalszej obróbki. Wywierć otwory wlotowe i wylotowe w każdym chipie za pomocą sterowanego komputerowo wiertła z diamentową końcówką lub ręcznie za pomocą piaskarki (Rycina 3, krok 7). W przypadku użycia wiertła, zamocuj wafel (stroną ze strukturami do dołu) na pomocniczej płytce szklanej za pomocą Aqua Bond 55, dbając o to, by w spoiwie nie było pęcherzyków powietrza. Chłodź wiertło roztworem czyszczącym micro-90. Zapobiega to przywieraniu małych odłamków szkła do kanałów, co mogłoby spowodować zatkanie chipa podczas użytkowania.
- Przepłucz wafel wodą DI, używając strzykawki do wstrzyknięcia wody do każdego otworu. Namocz w wodzie z mydłem przez godzinę. Usuń fotorezyst i Aqua Bond za pomocą PRS 2000 w 60 °C przez kilka godzin, aż powierzchnia będzie czysta. Przepłucz wafel wodą DI i ciepłą wodą z mydłem. Ponownie przepłucz każdy otwór strzykawką, unikając obszarów wytrawionych. Osusz wafel azotem i w piecu próżniowym ustawionym na 120 °C. Sprawdź otwory, aby upewnić się, że są wolne od zanieczyszczeń, i w razie potrzeby powtórz etapy czyszczenia. Zmierz głębokość kanałów za pomocą optycznego lub mechanicznego profilometru powierzchni (Rycina 3, krok 8).
- Oczyść wafle oraz odpowiednią liczbę pokrywek ze szkła topionego o grubości 170 μm za pomocą: 1) roztworu Piranha (1-2 godziny zgodnie z procedurą w 1.1), 2) roztworu RCA 2 (5:1:1 DI:HCl:H2O2) przez 10 minut w 75 °C, 3) roztworu RCA 1 (5:1:1 DI:NH4OH:H2O2) przez 22 minuty w 75 °C). Płucz wodą DI przez 5 minut pomiędzy każdym roztworem.
- Połóż jeden wafel stroną ze strukturami do góry na stosie 3-4 chusteczek do czystych pomieszczeń, umieszczonych na twardej, płaskiej powierzchni, np. małej szybie. Dokładnie osusz wafel gazem azotowym przez co najmniej 5 minut. Powtórz czynność z pokrywką szklaną. Chwyć pokrywkę za krawędź i odwróć ją tak, aby polerowana strona była skierowana w dół nad waflem, a następnie wyrównaj płaskie krawędzie. Ostrożnie opuść pokrywkę na wafel i poczekaj, aż osiądzie. Przesuwaj ją wyłącznie poziomo, aby skorygować wyrównanie. Naciśnij jednym palcem w centrum wafla. Powinien pojawić się front łączenia rozprzestrzeniający się na zewnątrz. W razie potrzeby wywrzyj dodatkowy nacisk w innych miejscach wokół wafla, aby przesunąć front łączenia (Rycina 3, krok 9).
- Umieść scalone wafle w piecu wysokotemperaturowym, ustawiając rampę wzrostu temperatury od temperatury pokojowej do 800 °C w ciągu 3 godzin, a następnie od 800 do 1100 °C w ciągu kolejnych 1,2 godziny. Utrzymuj temperaturę 1100 °C przez 2 godziny, a następnie obniżaj ją do temperatury pokojowej w ciągu kolejnych 1,5 godziny.
- Potnij wafle za pomocą piły do wafli na poszczególne chipy (Rycina 3, krok 10).
- Protokół opisuje wykonanie kanałów w dość nietypowym podłożu z krzemionki topionej, co jest niezbędne do detekcji UV. Protokół ten można jednak zaadaptować do podłoża krzemowego, które wymaga tylko jednego etapu trawienia2. Pokrywkę szklaną (ale nie z krzemionki topionej) można połączyć z waflem za pomocą łączenia anodowego.
2. Montaż i ładowanie chipów
- Kolektor do utrzymania chipa mieszającego i roztworów może być wykonany z tworzywa sztucznego, takiego jak Lexan lub Plexiglas, lub z aluminium w celu kontroli temperatury (patrz Rysunek 4). W przypadku zastosowania aluminium zbiorniki z roztworami powinny być powleczone parylenem, aby zapobiec rozpuszczaniu aluminium przez roztwory soli w zbiornikach. Temperaturą całego kolektora, roztworów i chipa można sterować za pomocą urządzeń termoelektrycznych zamontowanych po bokach oraz sterownika elektronicznego.
- Chip jest łączony z kolektorem za pomocą małych o-ringów i utrzymywany na miejscu pierścieniem mocującym, który zapewnia wyraźny wgląd optyczny w środek chipa. Rowki pod o-ringi powinny być płytsze niż standardowo, aby zapewnić dobre dopasowanie bez wywierania zbyt dużego nacisku na chip, np. o-ring 002 powinien mieć głębokość 0.025". Po zamontowaniu chipa należy dodać roztwory do zbiorników centralnego i bocznych, dbając o usunięcie wszelkich pęcherzyków powietrza uwięzionych na dnie studni.
- Ponieważ objętości stosowane w tym mieszalniku są bardzo małe, przepływem można sterować za pomocą ciśnienia powietrza przyłożonego nad studniami z roztworami. Rysunek 4 przedstawia kolektor ciśnieniowy połączony o-ringami z górną częścią kolektora chipa. Kolektor ciśnieniowy jest podłączony do sterowanych komputerowo przetworników ciśnienia, które mogą utrzymywać ciśnienie w zakresie od ~2-80 PSI. Chip został zaprojektowany w taki sposób, aby równe ciśnienia w kanałach centralnym i bocznych generowały około 100-krotną różnicę w liniowych prędkościach przepływu. Przy 20 PSI liniowa prędkość przepływu w kanale wylotowym wynosi ~1 m/s.
- Należy umieścić kolektor na mikroskopie odwróconym i zbadać obszar mieszania za pomocą okularu lub wyjścia kamery. Latarka żarowa umieszczona na górze kolektora zapewni wystarczającą ilość światła. W kanale centralnym należy zastosować barwnik lub roztwór o wysokim współczynniku załamania światła (np. 6 M chlorku guanidyny), aby uwidocznić strumień.
- Przy równym ciśnieniu w kanałach centralnym i bocznym strumień będzie trudny do zauważenia gołym okiem, dlatego należy zacząć od ciśnienia 0 PSI w kanale bocznym i powoli zwiększać je do wartości równej ciśnieniu w kanale centralnym. Jeśli jeden z kanałów bocznych jest zatkany, strumień zostanie pchnięty w stronę jednej ze ścianek kanału wylotowego. Jeśli pojawi się widoczny zator, można go usunąć, przykładając ciśnienie lub próżnię do kanału wylotowego za pomocą strzykawki.
- Jeśli białko lub inny materiał organiczny zapcha chip, można go wyczyścić, namaczając go przez noc w roztworze Pirhana.
3. Gromadzenie danych
Rysunek 5 przedstawia podstawowy układ instrumentu optycznego.
- Wprowadź skolimowany wiązkę lasera do mikroskopu klasy badawczej za pomocą lustra dichroicznego umieszczonego wewnątrz lub tuż na zewnątrz mikroskopu. Wyjustuj laser tak, aby ogniskowanie było widoczne w okularze lub na kamerze w pobliżu obszaru mieszania.
- Fluorescencja białka w mieszalniku jest zbierana przez obiektyw i przesyłana przez lustro dichroiczne, a następnie ogniskowana przez soczewkę w otworze pinhole i obrazowana na liczniku fotonów. Skanuj chip za pomocą skanera piezoelektrycznego w osiach x i y, aby obrazować obszar mieszania (typowy skok wynosi 2 μm). Wybierz pozycję na strumieniu i skanuj w osiach x i z, aby znaleźć ognisko w pionowym centrum kanału. Głębia ostrości mikroskopu jest znacznie mniejsza niż głębokość kanału, a prędkość przepływu w kanale jest jednolita, z wyjątkiem obszaru w odległości 1 μm od ścianek. Zatem rozdzielczość czasowa obserwowanej fluorescencji jest określana przede wszystkim przez rozmiar plamki konfokalnej.
- Skanuj poziomo w kanale wylotowym (typowy skok to 0,2 μm w poprzek strumienia i 2 μm wzdłuż strumienia) w przyrostach 100 μm wzdłuż strumienia, obserwując każdą pozycję przez ok. 1 ms (patrz Rysunek 6). Przesuń stolik mikroskopu o 80-90 μm wzdłuż strumienia, aby zarejestrować późniejsze punkty czasowe.
- Alternatywnie światło może być wykrywane przez spektrograf i detektor CCD za lustrem dichroicznym, przy użyciu soczewki do ogniskowania światła na szczelinie wejściowej. Ponieważ zbieranie danych jest wolniejsze niż w przypadku licznika fotonów (1 sekunda na pozycję), zazwyczaj najpierw obrazuje się strumień za pomocą licznika fotonów, a następnie mierzy punkty wzdłuż strumienia za pomocą spektrografu (patrz Rysunek 7).
- Dane z licznika fotonów są analizowane poprzez sumowanie 3-5 pikseli wokół strumienia w każdej pozycji, aby utworzyć wykres intensywności w funkcji odległości. Czas jest obliczany z odległości przy użyciu prędkości wyznaczonej na podstawie przyłożonych ciśnień (patrz Rysunek 8).
- Dane ze spektrografu można analizować na kilka sposobów. W przypadku FRET można zsumować kanały oznaczone jako „donor” i „akceptor”, a następnie obliczyć stosunek bliskości E=IA/(ID+ID) (patrz Rysunek 9). Alternatywnie można przeprowadzić dekompozycję wartości osobliwych (SVD), aby zbadać niezależne komponenty spektralne w czasie, takie jak przesunięcie w widmie emisji tryptofanu podczas zwijania się białka.
- Odległość w kanale wylotowym można przeliczyć na czas, korzystając ze stałej prędkości przepływu wyznaczonej z ciśnienia przyłożonego do kanałów bocznych. W ciągu pierwszych 2 μm kanału wylotowego prędkość przepływu strumienia białka wzrasta ok. 100-krotnie, a czasy w tym obszarze muszą być obliczone za pomocą analizy elementów skończonych linii prądu (co daje czasy przedstawione na Rysunku 8). Przyspieszenie to powoduje przesunięcie o ok. 1-2 μs po tym, jak prędkość stanie się stała, co zazwyczaj można pominąć przy pomiarze kinetyki znacznie wolniejszej niż proces mieszania.
4. Reprezentatywne wyniki
Rysunek 6 przedstawia wykres konturowy natężenia w obszarze mieszania zmierzonego za pomocą licznika fotonów. Tło w kanale wylotowym poza strumieniem powinno być bliskie poziomowi szumów detektora i zazwyczaj nie jest odejmowane. Wyższe tło może wskazywać na niewłaściwe wyrównanie lub na to, że białko przykleja się do ścianek kanału. Strumień, który wydaje się załamany lub krzywy, zwłaszcza w pobliżu obszaru mieszania, wskazuje na niewłaściwe trawienie dysz.
Rysunek 7 przedstawia widma rozdzielone w czasie białka wiążącego acylo-koenzym A (ACBP) znakowanego barwnikami Alexa 488 i Alexa 647. Od tych danych odjęto tło, aby usunąć prąd ciemny oraz sygnał lasera. Sygnał tła zarejestrowano przy ciśnieniu kanału centralnego ustawionym na 0 PSI.
Czas mieszania można wyznaczyć poprzez pomiar szybkiej reakcji, która przebiega znacznie szybciej niż samo mieszanie, takiej jak gaszenie fluorescencji Trp przez KI lub zapadanie się jednoniciowego DNA, znakowanego barwnikami FRET, po dodaniu NaCl. Ponieważ strumień jest mniejszy niż rozdzielczość optyczna mikroskopu, w obszarze mieszania występuje znaczny spadek intensywności podczas formowania się strumienia. Tę odpowiedź aparatury można usunąć, wykonując pomiar kontrolny, w którym warunki roztworów nie ulegają zmianie. Rysunek 8 przedstawia stosunek eksperymentów z mieszaniem (do 400 mM KI) i bez mieszania dla fluorescencji N-acetylotryptofaniamidu. Linia wskazuje przewidywane stężenie KI z symulacji COMSOL. Czas mieszania, mierzony jako czas spadku stężenia o 80%, wynosi 8 μs.
Ponieważ dane są zbierane w przyrostach 100 μm wzdłuż 500 μm długiego kanału wylotowego, muszą one zostać złożone z wielu widoków. Pomiędzy widokami zdarzają się niekiedy niewielkie przesunięcia sygnału, prawdopodobnie wynikające z drobnych zmian ostrości podczas przesuwania chipa przez stolik mikroskopu. Przesuwając stolik o 80 lub 90 μm na widok, przesunięcia te można wyeliminować poprzez analizę nakładających się danych. Zazwyczaj dane zbiera się dla co najmniej dwóch szybkości przepływu, a następnie łączy się je, aby potwierdzić, że wszelkie zmiany sygnału wynikają z rzeczywistych zmian spektroskopowych w białku, a nie z efektów optycznych lub przepływowych. Rysunek 9 przedstawia zmiany FRET w białku ACBP po rozcieńczeniu denaturanta z 6 M do 0,06 M. Dane te nie wymagają eksperymentu kontrolnego, ponieważ FRET jest już wartością stosunku, a odpowiedź urządzenia została już usunięta. Gwałtowny skok w pobliżu T=0 reprezentuje szybką zmianę sygnału FRET w czasie mieszania.

Rycina 1. Układ obszaru mieszania pomierzony za pomocą mikroskopii elektronowej.

Rycina 2. Schemat mieszania hydrodynamicznego w badaniach zwijania białek. Białko, rozpuszczone w wysokim stężeniu denaturanta w celu jego rozwinięcia, przepływa przez kanał środkowy w kierunku obszaru mieszania, gdzie spotyka się z buforem płynącym około 100 razy szybciej. Przepływ laminarny wymusza uformowanie strumienia białka w wąski dżet, z którego cząsteczki denaturanta mogą szybko dyfundować. Podczas przepływu dżetu przez kanał wylotowy, białko może być obserwowane z wysoką rozdzielczością przestrzenną i czasową przy użyciu mikroskopu konfokalnego.

Rycina 3. Wytwarzanie z krzemionki topionej. 1) Proces rozpoczyna się od silnie wypolerowanego podłoża z krzemionki topionej o grubości 500 μm (a), na których górnej i dolnej powierzchni osadzono warstwę polikrzemu (poly) (b), a następnie naniesiono metodą spin-coatingu warstwę fotorezystu (c). 2) Fotomaska (e) zostaje dociśnięta do wafla, a fotorezyst zostaje naświetlony światłem UV (d). 3) Wafel umieszcza się w kąpieli wywołującej, co pozwala na ujawnienie wzoru w fotorezyście. 4) Wafel umieszcza się w urządzeniu DRIE, a elementy są trawione w górnej powłoce polikrzemu. Następnie fotorezyst zostaje usunięty. 5) Polikrzem pełni następnie rolę maski, gdy wafel zostaje umieszczony w trawaczu tlenków, a elementy są trawione na głębokość 10 - 40 μm w podłożu z krzemionki topionej. 6) Powłoka polikrzemu zostaje następnie usunięta w trawaczu XeF2. 7) Wafel zostaje przyklejony do poświęcalnej płytki szklanej za pomocą uszczelniacza aktywowanego termicznie (g), stroną z elementami do dołu, a diamentowy wiertło (f) wykonuje otwory przelotowe metodą ścierną od strony tylnej. 8) Profilometr powierzchniowy (h) bezpośrednio mierzy głębokość wytrawionych elementów. 9) Wafel z przykrywki z krzemionki topionej o grubości 170 μm zostaje bezpośrednio przyklejony do górnej powierzchni wafla. 10) Wafel zostaje pocięty na pojedyncze chipy mikroprzepływowe.

Rycina 4. Kolektor mieszacza. Chip mikrofluidyczny jest przymocowany do kolektora roztworów za pomocą obrobionej aluminiowej płyty czołowej i czterech pierścieni O-ring pod zbiornikami o pojemności ~200 μL. W centrum kolektora, bezpośrednio nad obszarem mieszania przymocowanego chipu mikrofluidycznego, wywiercono duży otwór, który pozwala na ucieczkę nadmiaru światła UV bez rozpraszania wstecznego, co zapobiega autofluorescencji samego kolektora i umożliwia bezpośrednie oświetlenie chipu widoczne dla oka lub kamery w celu wyrównania. Kolektor powietrza uszczelnia każdy z zbiorników w taki sposób, aby ciśnienie powietrza w każdym z nich mogło być kontrolowane za pomocą zewnętrznego sterownika ciśnienia.

Rycina 5. Schemat konfokalnego mikroskopu optycznego.

Rycina 6. Wykres konturowy fluorescencji tryptofanu w mikromieszaczu płynowym. Obszar mieszania znajduje się na poziomie ~90 μm na osi y.

Rycina 7. Zależne od czasu widma fluorescencji zarejestrowane w mieszalniku. Zielony i czerwony prostokąt wskazują odpowiednio długości fal wyznaczone jako kanały donora i akceptora.

Rycina 8. Czas mieszania pomierzony za pomocą wygaszania fluorescencji tryptofanu przez jodek potasu (punkty i oś prawa) oraz obliczony metodą analizy elementów skończonych (linia i oś lewa).

Rysunek 9. Zmiany FRET mierzone podczas zwijania białka ACBP. Szybki wzrost w pobliżu t=0 reprezentuje fazę gwałtowną w czasie mieszania, a wolniejszy wzrost reprezentuje stopniową akumulację struktury w miarę zwijania się białka. Dane zostały zebrane przy dwóch różnych prędkościach przepływu i nałożone na siebie, co doprowadziło do różnej gęstości pomiarów w różnych punktach czasowych.