Artykuł metodologiczny

Produkcja wysokiej jakości rezonatorów mikropęcherzykowych w trybie Whispering Gallery

DOI:

10.3791/66890

⸱

16 maja 2025

 ,  ,  ,  , 
1Department of Electrical and Systems Engineering, Washington University in Saint Louis, 2Department of Pathology and Laboratory Medicine, University of California, Irvine, 3Department of Pathology and Immunology, Washington University School of Medicine

W tym artykule

Podsumowanie

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Tutaj demonstrujemy solidny i ustandaryzowany protokół do produkcji wysokiej jakości rezonatorów mikropęcherzykowych (MBR) w trybie Whispering Gallery (WGM) za pomocą precyzyjnej maszyny do obróbki szkła (PGP).

Streszczenie

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Demonstrujemy solidną i ustandaryzowaną metodę wytwarzania wysokiej jakości rezonatorów mikropęcherzykowych (MBR) w trybie Whispering Gallery (WGM) za pomocą precyzyjnej maszyny do obróbki szkła (PGP). Rezonatory mikropęcherzykowe to wyjątkowa klasa urządzeń WGM ze zintegrowanymi kanałami przepływowymi, dzięki czemu idealnie nadają się do różnych zastosowań czujnikowych. W tym miejscu przedstawiamy ustandaryzowany protokół wytwarzania rezonatorów mikropęcherzykowych o wysokiej jakości Q poprzez optymalizację kluczowych wskaźników wydajności, takich jak współczynnik Q i grubość ścianki. Pokazujemy również metody poprawy czułości platformy na zmiany współczynnika załamania światła i inne cele pomiarowe za pomocą wytrawiania na mokro kwasem fluorowodorowym (HF). Na koniec omówiono krótką analizę odporności mikropęcherzyków na przepływ płynu, pokazującą, że mikropęcherzyki o mniejszej średnicy wykazują większy opór przepływu w przypadku dostarczania analitu - czynnik, który należy wziąć pod uwagę przy dostarczaniu analitu. Wdrożenie tego wyrafinowanego protokołu produkcyjnego nie tylko zwiększa wskaźnik sukcesu produkcji urządzeń, ale także skraca czas wytwarzania. Co więcej, protokół można rozszerzyć na inne techniki stosowane do produkcji MBR, takie jak metody laserowe CO2 .

Wprowadzenie

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Mikrorezonatory w trybie Whispering Gallery Mode (WGM) to klasa czujników optycznych, które wykazały ogromny potencjał nie tylko do wykrywania pojedynczych cząsteczek i nanocząstek1,2,3,4,5,6 ale także do wykrywania szerokiego zakresu zjawisk fizycznych, takich jak magneticic7 i pola elektryczne8, temperature9 i fale ultradźwiękowe10,11. W warunkach rezonansu optycznego światło jest uwięzione w urządzeniu, co prowadzi do znacznego wzmocnienia mocy12,13. Każda zlokalizowana zmiana w rezonatorze (taka jak wiązanie biomolekuły lub zmiany współczynnika załamania otaczających ośrodków) wywołuje zmiany w lokalnym środowisku optycznym, przesuwając w ten sposób częstotliwość rezonansową lub długość fali. Monitorując zmiany długości fali rezonansowej lub częstotliwości, można wykrywać i charakteryzować anality w czasie rzeczywistym.

Mikrorezonatory WGM mogą być zaprojektowane w różnych geometriach. Typowe geometrie obejmują między innymi rezonatory microtoroids14, microrings15 i microbubble16 rezonatory (MBR). W tym miejscu skupiamy się na MBR ze względu na ich ogromny potencjał w zastosowaniach czujników optofluidycznych. Kluczową zaletą MBR jest ich płynna integracja17,18,19,20, która jest możliwa dzięki wyprodukowaniu urządzenia z mikrokapilary. W tej konstrukcji kapilara liniowa ułatwia dostarczanie małych objętości (tj. mikrolitrów) analitów w roztworze do obszaru wykrywania bez potrzeby stosowania zewnętrznych kanałów przepływowych, jak pokazano na Rysunek 1. Dzięki unikalnym możliwościom obsługi płynów, MBR doskonale nadają się do szerokiego zakresu zastosowań czujnikowych, które nie są łatwo osiągalne przy użyciu innych platform WGM. Na przykład, MBR zostały wypełnione płynami magnetycznymi, zwiększając w ten sposób wrażliwość na zewnętrzne pola magnetyczne21. Dodatkowo, MBR zostały również wykorzystane do kontrolowania specyficznej orientacji nanoprętów złota w roztworze za pomocą momentów optycznych22.

Wytwarzanie MBR-ów można podsumować w następujący sposób: Ciśnienie aerostatyczne jest stosowane wewnątrz kapilary, podczas gdy mały obszar kapilary jest lokalnie podgrzewany. Połączenie miejscowego ogrzewania i ciśnienia wewnętrznego napełnia podgrzewaną sekcję do sferycznej geometrii zdolnej do obsługi WGM o wysokim Q, jak pokazano na Rysunek 2. W celu uzyskania miejscowego ogrzewania kapilary można zastosować różne metody, takie jak użycie lasera CO2 23, spawarki światłowodowej24, źródła płomienia wodorowego25 oraz precyzyjnej maszyny do obróbki szkła (PGP). Przedstawione tutaj metody można rozszerzyć na inne źródła ogrzewania, w tym laser CO2 . PGP jest podobny do spawarki światłowodowej, ale oferuje lepszą kontrolę nad czasem nagrzewania, ustawianiem mocy i położeniem światłowodów lub kapilarni26. PGP często zawierają wbudowane mikroskopy przylegające do elementów grzejnych, umożliwiające monitorowanie procesu produkcyjnego w czasie rzeczywistym. Zazwyczaj światło z przestrajalnego lasera diodowego jest sprzężone z MBR za pomocą stożkowego światłowodu, który styka się z równikiem MBR. Włókno jest zwężane (do ~1 μm), aby umożliwić efektywne sprzężenie światła do i z MBR. Powstałe widma transmisyjne z MBR są następnie przechwytywane przez fotodetektor przez światłowód i wizualizowane na oscyloskopie.

Wykrywanie za pomocą MBR WGM opiera się na interakcji pola WGM z docelowym analitem. Siła tej interakcji jest wprost proporcjonalna do frakcji pola WGM, która przenika przez pustą wnękę MBR, przez którą mogą przepływać próbki fazy ciekłej lub gazowej27. Jak pokazano na Rysunek 3, symulacje COMSOL ilustrują, jak przenikanie pola WGM do wewnętrznej wnęki zmienia się wraz z grubością ścianki MBR. Maksymalna penetracja pola WGM następuje, gdy grubość ścianki jest zmniejszona do mniej niż 1 μm, przy czym symulacje te przeprowadza się przy użyciu światła w paśmie 780 nm. Osiągnięcie tak zmniejszonej grubości ścianki za pomocą samego standardowego protokołu produkcyjnego z użyciem ciepła i nadmuchiwania jest wyzwaniem. Aby jeszcze bardziej rozrzedzić ścianki MBR i zwiększyć czułość urządzenia, wprowadzamy dodatkowe etapy trawienia na mokro przy użyciu kwasu fluorowodorowego (HF).

Korzystając z PGP, skupimy się na wytwarzaniu MBR-ów zgodnie z kapilarą krzemionkową. Przedstawiony zostanie również szczegółowy opis procesu wytwarzania oraz metod zwiększania wrażliwości na zmiany współczynnika załamania światła poprzez trawienie na mokro.

Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.

Protokół

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

1. Wytwarzanie mikropęcherzyków

  1. Zacznij od kapilary ze szkła krzemionkowego pokrytego polimerem (średnica wewnętrzna 250 μm i średnica zewnętrzna 360 μm) o długości ~75 cm. Długość kapilary może się różnić w zależności od potrzeb użytkownika; Upewnij się, że ciśnienie opisane poniżej jest osiągane przy dłuższych kapilarnach.
  2. Wypal ~2,5 cm powłoki polimerowej na jednym końcu kapilary za pomocą palnika butanowego i wyczyść koniec delikatną chusteczką zadaniową i alkoholem izopropylowym (IPA).
  3. Umieść czysty koniec kapilary w PGP i kliknij przycisk tylko łączenia w oprogramowaniu, aby podgrzewać przez 5 s przy 180 W, aby uszczelnić koniec kapilary. Ustaw czas i czas trwania nagrzewania, klikając prawym przyciskiem myszy przycisk tylko łączenie.
  4. Aby upewnić się, że jest prawidłowo uszczelniony, sprawdź uszczelniony koniec kapilarny, Rysunek 1B.
  5. W odległości ~25 cm od uszczelnionego końca (lub 1/3 długości kapilary od uszczelnionego końca) wypal pasek powłoki polimerowej o długości ~2,5 cm z kapilary i oczyść powstały obszar za pomocą IPA.
    UWAGA: Pozycja opisana powyżej nie jest krytyczna, ponieważ ciśnienie jest równomiernie rozłożone na całej długości kapilary. Jeśli konfiguracja eksperymentalna użytkownika uzasadnia inne umieszczenie MBR, nie powinno to mieć wpływu na pozostałą część procedury.
  6. Powtarzaj ten krok, aż żaden polimer nie będzie widoczny pod systemem obrazowania, który wyświetla obraz kapilarny z rozdzielczością submikronową.
  7. Umieść tę nowo oczyszczoną część kapilary w szklanym instrumencie procesorowym nad elementem grzejnym i pod mikroskopem opisanym wcześniej.
  8. Za pomocą gazoszczelnej strzykawki i pompy strzykawkowej wstrzyknąć powietrze do kapilary tak, aby ciśnienie wewnętrzne osiągnęło 10 barów (tj. zmniejszając objętość w strzykawce z 5 ml do 0,5 ml, przy odpowiednich ciśnieniach obliczonych zgodnie z prawem Boyle'a). Dopasuj kapilarnę do strzykawki z blokadą typu luer lock do adaptera 360 μm. Alternatywnie można zastosować ciśnienie za pomocą regulatora ciśnienia i sprężonego powietrza/gazu obojętnego.
  9. Podgrzej kapilarnę za pomocą PGP za pomocą żarnika o mocy ~100-110 W przez 1,5-2 s.
  10. Przeprowadź dodatkowe etapy nagrzewania przy 90-100 W i 0,1-1 s wypalaniu żarnika. Ta metoda powoli i kontrolacyjnie zwiększy średnicę MBR do pożądanego zakresu. Jednak proces ten może skutkować asymetrycznymi rekordami MBR. Jeśli zaobserwuje się asymetryczny MBR (kula nie jest symetryczna względem osi kapilarnej), obróć ją wokół osi kapilary między kolejnymi etapami ogrzewania, aby promować symetrię.
  11. Sprawdź MBR pod mikroskopem w celu kontroli jakości, szukając takich rzeczy, jak kurz, pęknięcia lub deformacje. Dodatkowo użyj tutaj mikroskopu, aby oszacować grubość ścianki MBR.

2. Trawienie na mokro kwasem fluorowodorowym

UWAGA: Kwas fluorowodorowy jest bardzo niebezpieczny, toksyczny i. Glukonian wapnia powinien być przechowywany w pobliżu, ponieważ ta substancja chemiczna może neutralizować kwas fluorowodorowy. Nosić odpowiednie środki ochrony osobistej i przestrzegać wszystkich środków ostrożności zawartych w Karcie Charakterystyki Substancji Niebezpiecznej (MSDS).

  1. Usuń uszczelniony koniec kapilary, przecinając 2 cm poniżej uszczelnionego końca.
  2. Umieść jeden koniec kapilary w końcówce adaptera luer lock. Upewnij się, że wewnętrzna średnica końcówki jest jak najbardziej zbliżona do zewnętrznej średnicy kapilary, jednocześnie upewniając się, że kapilara nadal może się w niej zmieścić.
    UWAGA: Materiał adaptera nie może wchodzić w reakcję z kwasem HF.
  3. Nałóż żywicę epoksydową utwardzaną promieniami UV na koniec końcówki z kapilarą w środku, aby połączyć te dwa, a następnie utwardź światłem UV (źródło światła UV o mocy 50-100 W; wyższa moc przyspieszy utwardzanie).
    UWAGA: Podczas korzystania ze źródła światła UV należy nosić odpowiednią ochronę oczu28.
  4. Po utwardzeniu żywicy epoksydowej przymocuj końcówkę luer lock do strzykawki o pojemności 25 ml, która jest obojętna na HF.
  5. Umieścić strzykawkę w pompie strzykawkowej o szybkości pobierania 50 μl/min.
  6. Mając jeden koniec kapilary połączony ze strzykawką, umieść drugi koniec kapilary w wodzie dejonizowanej (DI).
  7. Ustawić pompę strzykawkową tak, aby pobierała wodę przez kapilarnę do strzykawki, aby sprawdzić, czy został ustalony prawidłowy przepływ (tj. system jest wolny od pęcherzyków powietrza, a ciecz stale przepływa przez kapilarę).
  8. Przenieś koniec kapilarny z wody demineralizowanej do pojemnika z kwasem HF po ustaleniu prawidłowego przepływu.
  9. Oblicz przybliżony czas trawienia na podstawie grubości ścianki MBR przed wytrawianiem, biorąc pod uwagę zmierzoną szybkość trawienia 8,18 μm/h przy użyciu 12% (w/v) kwasu fluorowodorowego. Grubość ścianki można zmierzyć w systemie obrazowania, który wyświetla MBR z rozdzielczością submikronową.
    UWAGA: Szybkość trawienia kwasów o innych stężeniach można określić empirycznie. Można to zrobić, mierząc grubość ścianki kapilary przed i po ustawionym czasie trawienia.
  10. Uruchomić pompę strzykawkową z prędkością 50 μl/min przez obliczony czas trawienia.
  11. Przepłukać kapilarnę wodą demineralizowaną przez 10-15 minut, aby usunąć cały kwas z kapilary po upływie czasu trawienia. Oblicz czas płukania, aby przepłukać całą objętość kapilary 3-5 razy.
  12. Zmierz grubość ścianki MBR po wytrawieniu. Skorzystaj z tych informacji, aby zaktualizować szybkość trawienia kwasu.
  13. Powtórz ten proces, który można powtarzać, aż do uzyskania pożądanej grubości ścianki.

Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.

Wyniki

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Reprezentatywny MBR wyprodukowany za pomocą maszyny PGP jest pokazany w Rysunek 1C. Biorąc pod uwagę naszą początkową średnicę zewnętrzną kapilary (OD) wynoszącą 360 μm, rozszerzamy kapilarnę ~2x w procesie wytwarzania. Rozszerzenie kapilary do ~700 μm powoduje uzyskanie grubości ścianki od 5 μm do 15 μm. Wykazano, że optymalna grubość ścianki do biodetekcji za pomocą MBR jest rzędu długości fali światła użytego do wzbudzenia WGM27. MBR mogą teoretycznie osiągnąć wspó...

Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.

Dyskusja

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

W tym miejscu opisaliśmy protokół wytwarzania wysokiej jakości rezonatorów mikropęcherzykowych (MBR) w trybie szeptanej galerii (WGM) przy użyciu precyzyjnego szklanego procesora. Przedstawiamy krytyczne etapy w protokole produkcyjnym, w tym etapy podgrzewania i rozszerzania. W tym przypadku połączenie przegrzania, zbyt długiego ogrzewania lub wtryskiwania zbyt dużego ciśnienia powietrza wewnętrznego może prowadzić do nieudanej produkcji. Aby rozwiązać te problemy, pomocne mogą być korekty, takie jak obniżenie mocy grzew...

Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.

Oświadczenia

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Autorzy nie mają nic do ujawnienia.

Podziękowania

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Ten projekt był częściowo wspierany przez R41AI152745. AJQ został ufundowany przez T32 Cancer Biology Award (NIH CA009547) i K08EB033409.

Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.

Materiały

Lista materiałów użytych w tym artykule
NazwaFirmaNumer katalogowyKomentarze
końcówka do adaptera luer lockEllsworth Adhesives8001286
Strzykawka gazoszczelnaHamilton81520
Luer Lock do 360 µ m adapterIDEXp-662
Kapilara krzemionkowaBGB AnalytikTSP250350
Pompa strzykawkowa Uniwersalnyna
klej UVAmazonB09H7BJKT1
Vytran Glass Processor Instrument PGP Thorlabs/VytranGPX3000z oprogramowaniem

Bibliografia

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
  1. Dantham, V. R., Holler, S., Barbre, C., Keng, D., Kolchenko, V., Arnold, S. Label-free detection of single protein using a nanoplasmonic-photonic hybrid microcavity. Nano Lett. 13 (7), 3347-3351 (2013).
  2. Chen, W., Özdemir, ŞK., Zhao, G., Wiersig, J., Yang, L. Exceptional Points enhance sensing in an optical microcavity. Nature. 548 (7666), 192-195 (2017).
  3. Zhu, J., et al. On-chip single nanoparticle detection and sizing by mode splitting in an ultrahigh-Q microresonator. Nat Photonics. 4 (1), 46-49 (2010).
  4. Dantham, V. R., Holler, S., Kolchenko, V., Wan, Z., Arnold, S. Taking whispering gallery-mode single virus detection and sizing to the limit. Appl Phys Lett. 101, 043704(2012).
  5. Vollmer, F., Arnold, S. Whispering-gallery-mode biosensing: Label-free detection down to single molecules. Nat Methods. 5 (7), 591-596 (2008).
  6. Wang, Y., Zeng, S., Humbert, G., Ho, H. P. Microfluidic whispering gallery mode optical sensors for biological applications. Laser Photonics Rev. 14 (12), 2000135(2020).
  7. Li, B. B., Bulla, D., Prakash, V., Forstner, S., Dehghan-Manshadi, A., Rubinsztein-Dunlop, H., Foster, S., Bowen, W. P. Invited Article: Scalable high-sensitivity optomechanical magnetometers on a chip. APL Photonics. 3, 120806(2018).
  8. Ioppolo, T., Ayaz, U., Ötügen, M. V. Tuning of whispering gallery modes of spherical resonators using an external electric field. Opt Express. 17 (19), 16465(2009).
  9. Xu, L., et al. High-Q silk fibroin whispering gallery microresonator. Opt Express. 24 (18), 20825(2016).
  10. Kim, K. H., et al. Air-coupled ultrasound detection using capillary-based optical ring resonators. Sci Rep. 7, 109(2017).
  11. Pan, J., et al. Microbubble resonators combined with a digital optical frequency comb for high-precision air-coupled ultrasound detectors. Photonics Res. 8 (3), 303(2020).
  12. Foreman, M. R., Swaim, J. D., Vollmer, F. Whispering gallery mode sensors. Opt Express. 7 (2), 168-240 (2015).
  13. Sumetsky, M., Dulashko, Y., Windeler, R. S. Optical microbubble resonator. Opt Lett. 35 (7), 898(2010).
  14. Jiang, X. F., Xiao, Y. F., Yang, Q. F., Shao, L., Clements, W. R., Gong, Q. Free-space coupled, ultralow-threshold Raman lasing from a silica microcavity. Appl Phys Lett. 103, 101102(2013).
  15. Xu, Q., Schmidt, B., Pradhan, S., Lipson, M. Micrometre-scale silicon electro-optic modulator. Nature. 435 (7040), 325-327 (2005).
  16. Henze, R., Seifert, T., Ward, J., Benson, O. Tuning whispering gallery modes using internal aerostatic pressure. Opt Lett. 36 (23), 4536(2011).
  17. Wade, J. H., Jones, J. D., Lenov, I. L., Riordan, C. M., Sligar, S. G., Bailey, R. C. Microfluidic platform for efficient nanodisc assembly, membrane protein incorporation, and purification. Lab Chip. 17 (17), 2951-2959 (2017).
  18. Zhu, H., White, I. M., Suter, J. D., Zourob, M., Fan, X. Opto-fluidic micro-ring resonator for sensitive label-free viral detection. Analyst. 133 (3), 356-360 (2008).
  19. White, I. M., Gohring, J., Sun, Y., Yang, G., Lacey, S., Fan, X. Versatile waveguide-coupled optofluidic devices based on liquid core optical ring resonators. Appl Phys Lett. 91, 241104(2007).
  20. Wang, Z., et al. Monitoring and identifying pendant droplets in microbottle resonators. Photonics Res. 10 (3), 662(2022).
  21. Liu, W., et al. Magnetic sensor based on WGM hollow microbubble resonator filled with magnetic fluid. Opt Commun. 497, 127148(2021).
  22. Hogan, L. T., Horak, E. H., Ward, J. M., Knapper, K. A., Nic Chormaic, S., Goldsmith, R. H. Toward real-time monitoring and control of single nanoparticle properties with a microbubble resonator spectrometer. ACS Nano. 13 (11), 12743-12757 (2019).
  23. Yu, J., et al. A tellurite glass optical microbubble resonator. Opt Express. 28 (22), 32858-32868 (2020).
  24. Guo, W., Liu, J., Liu, J., Wang, G., Wang, G., Huang, M. A single-ended ultra-thin sphericalmicrobubble based on the improved critical-state pressure-assisted arc discharge method. Coatings. 9 (2), 144(2019).
  25. Jiang, J., et al. Wall-thickness-controlled microbubble fabrication for WGM-based application. Appl Opt. 59 (16), 5052(2020).
  26. Wang, B., Mies, E. Review of fabrication techniques for fused fiber components for fiber lasers. Fiber Lasers VI Technol Syst Appl. 7195, 71950A(2009).
  27. Yang, Y., Ward, J., Chormaic, S. N. Quasi-droplet microbubbles for high resolution sensing applications. Opt Express. 22 (6), 6881(2014).
  28. University of Rochester Ultraviolet Light Safety Guidelines. , University of Rochester. At https://www.safety.rochester.edu/ih/guidelines/pdf/Ultraviolet_Light_Guidelines.pdf (2021).
  29. Sun, Y., Shopova, S. I., Frye-mason, G., Fan, X. Rapid chemical-vapor sensing using optofluidic ring resonators. Opt. Lett. 33 (8), 788-790 (2008).
  30. Giannetti, A., et al. Optical micro-bubble resonators as promising biosensors. Proc SPIE 9506, Optical Sensors. 2015, 950617(2015).
  31. Guo, Z., Lu, Q., Zhu, C., Wang, B., Zhou, Y., Wu, X. Ultra-sensitive biomolecular detection by external referencing optofluidic microbubble resonators. Opt Express. 27 (9), 12424(2019).
  32. Berneschi, S., et al. High Q silica microbubble resonators fabricated by arc discharge. Opt Lett. 36 (17), 3521(2011).
  33. Yang, Y., Saurabh, S., Ward, J. M., Nic Chormaic, S. High-Q, ultrathin-walled microbubble resonator for aerostatic pressure sensing. Opt Express. 24 (1), 294-299 (2016).
  34. Jiang, X., Qavi, A. J., Huang, S. H., Yang, L. Whispering-gallery sensors. Matter. 3 (2), 371-392 (2020).
  35. Yu, D., Humar, M., Meserve, K., Bailey, R. C., Chormaic, S. N., Vollmer, F. Whispering-gallery-mode sensors for biological and physical sensing. Nat Rev Methods Prim. 1, 83(2021).

Dostęp ograniczony. Zaloguj się lub rozpocznij wersję próbną, aby wyświetlić tę treść.

Przedruki i uprawnienia

Poproś o pozwolenie na ponowne wykorzystanie tekstu lub ilustracji tego artykułu JoVE

Poproś o pozwolenie

Tagi

Rezonatory o wysokiej dobrociobr bka szk adetekcja wsp czynnika za amania wiat atrawienie mokrekwas fluorowodorowyoptymalizacja grubo ci cianekkana y fluidycznewytwarzanie za pomoc lasera CO2
Film wkrótce dostępny

Powiązane artykuły