Jednowarstwowe domieszkowanie kontaktowe powierzchni krzemowych i nanodrutów przy użyciu związków fosforoorganicznych

Ogólnym celem poniższego eksperymentu jest wykazanie płytkiego domieszkowania zrzeczków krzemowych i nanodrutów przy użyciu metody domieszkowania kontaktowego jednowarstwowego. Osiąga się to poprzez reakcję substratu donorowego z roztworem prekursorowym w celu wytworzenia samoorganizującej się monowarstwy. Monowarstwa zawiera potencjalne atomy domieszek i służy jako dobrze zdefiniowane i ograniczone źródło domieszek.

W drugim kroku substrat dawcy styka się z substratem docelowym i oba są klęczące w szybkim termicznym systemie analnym. Podczas procesu analnego cząsteczki jednowarstwowe rozkładają się, a doin do atomów jest dyfundowany i aktywowany zarówno na substratach donorowych, jak i docelowych. Następnie dwa podłoża są rozdzielane, a do pomiaru rezystancji arkusza używana jest czteropunktowa konfiguracja sondy.