Metodologia projektowania i charakteryzacji wydajnych filtrów MEMS o szerokim zakresie

Filtry są bardzo popularne i szeroko stosowane w sekwencji odbiorników i nadajników w komunikacji bezprzewodowej. Ponadto najpopularniejszym zastosowaniem są czujniki gazu, biosensory i czujniki temperatury. Te wysoce wymagające filtry powinny być wytwarzane w procesie CMOS MEMS, aby wspierać zarówno bardziej niezawodną produkcję, jak i konstrukcję sygnału o niskim poziomie szumów, eliminując dodatkowe przewody między dwoma oddzielnymi układami.

CMOS oznacza komplementarny półprzewodnik z tlenku metalu, a MEMS oznacza systemy i czujniki mikroelektromechaniczne. Co więcej, proces końcowy powinien być zaprojektowany w taki sposób, aby uniknąć tarcia podczas procesu produkcyjnego. Dobrze znaną metodą pomiaru rezonansu rezonatorów MEMS jest użycie analizatora sieci, ale nie jest to tak skuteczna metoda jak technika laserowego wibrometru dopplerowskiego z następujących powodów.