Wytwarzanie kanałów o nanowysokości wykorzystujących aktywację powierzchniowej fali akustycznej za pomocą niobianu litu w nanofluidyce akustycznej

Nasz protokół zapewnia szczegółową metodę wytwarzania kanałów o nano-wysokości, w których wykorzystuje się aktywację powierzchniowej fali akustycznej za pomocą niobianu litu dla nanofluidyki akustycznej. Technika ta może być stosowana do wykonywania aktywowanego powierzchniowo plazmą w temperaturze pokojowej wielowarstwowego wiązania monokrystalicznego niobianu litu, procesu równie przydatnego do wiązania niobianu litu lub dwutlenku krzemu i innych tlenków. Wszelkie zanieczyszczenia i cząstki stałe powinny zostać usunięte podczas procesów czyszczenia i aktywacji plazmowej powierzchni, aby zapobiec awariom wiązania w tworzeniu kanału o nano-wysokości.

Wizualna demonstracja tej metody może szczegółowo uchwycić cały proces wytwarzania, co skutkuje przejrzystą prezentacją protokołu dla innych badaczy. Aby przygotować maskę kanałową o nano-wysokości, umieść płytkę z wpisanym wzorem zaprojektowanym jako normalna fotolitografia w procedurach startowych do systemu napylania i obniż próżnię w komorze do pięć razy 10 do minus 6 militorów. Pozwól argonowi płynąć z prędkością 2,5 militora i rozpyl chrom o mocy 200 watów, aby w ciągu 18 minut wytworzyć maskę protektorową o grubości 400 nanometrów.