Em sua forma mais básica, um FPE consiste em duas superfícies espelhadas parcialmente refletindo plano-paralelo1. Nas explicações a seguir, quando se refere aos espelhos, o substrato óptico e o revestimento reflexivo são abordados como um só. Na maioria das aplicações, os espelhos usados apresentam uma superfície encunhada2 para evitar efeitos indesejados de etalon. A Figura 1 ilustra a formação do padrão de interferência de um étalon espaçado no ar (Figura 1A), bem como a função de reflectância para diferentes refletividades do espelho (Figura 1B).
A luz entra na cavidade através de um espelho, sofre múltiplas reflexões e sai da cavidade por reflexão e transmissão. Como este artigo se concentra na fabricação de um FPE operado em reflectância, as explicações adicionais referem-se especificamente à reflexão. As ondas que saem da cavidade interferem, dependendo da diferença de fase, q = 4πnd/λ. Aqui, n é o índice de refração dentro da cavidade, d é o espaçamento entre espelhos e λ é o comprimento de onda da fonte de luz do interferômetro, aqui chamado de laser de sonda. Uma reflectância mínima ocorre quando a diferença de caminho óptico corresponde ao múltiplo inteiro do comprimento de onda,
. A delicadeza de um etalon plano-paralelo ideal é determinada pelas refletividades do espelho R1 e R2 apenas3:

No entanto, um etalon real está sujeito a muitas perdas, que degradam a finesse teoricamente alcançável 4,5,6. Desvio do paralelismo do espelho7, incidência não normal do feixe de laser, forma do feixe8, impurezas da superfície do espelho, espalhamento, entre outros, levam à redução da finesse. O padrão característico de interferência pode ser descrito pela função Airy1:

A largura total na metade máxima (FWHM), bem como a faixa espectral livre (FSR) da função de reflectância, podem ser calculadas da seguinte forma:



Figura 1: Teoria do interferômetro de Fabry-Pérot . (A) Uma representação esquemática da interferência multifeixe para um étalon espaçado no ar com janelas encunhadas. Uma onda plana, E0, entra na cavidade sob um certo ângulo, φ, através de uma superfície revestida de anti-reflexão (AR) e, posteriormente, sofre múltiplas reflexões entre as superfícies altamente refletivas (alto R) espaçadas à distância, d. A cada reflexão, parte da luz é desacoplada do étalon em transmissão ou reflexão, onde interfere nas outras ondas. (B) A função de reflectância de um étalon de Fabry-Pérot ideal para diferentes refletividades do espelho (eixo y). Clique aqui para ver uma versão maior desta figura.
Os FPEs podem ser encontrados em uma ampla gama de aplicações 9,10,11. No caso apresentado, o FPE é utilizado em uma configuração de interferometria fototérmica (PTI). No PTI, pequenas alterações de densidade e, consequentemente, do índice de refração, induzidas pela excitação periódica seguida da rápida termalização de um gás alvo via segundo laser, são medidas interferometricamente12. A quantidade de calor e, portanto, a magnitude da mudança do índice de refração são proporcionais à concentração do gás. Ao medir a intensidade da função de reflectância do FPE em seu ponto mais íngreme (ponto de operação), essas mudanças no índice de refração deslocam a função de reflectância, alterando assim a intensidade medida. Como a função de reflectância pode ser assumida como linear na região ao redor do ponto de operação, o sinal medido é então proporcional à concentração de gás. A sensibilidade do sensor é determinada pela inclinação da função de reflectância e é, portanto, proporcional à finesse. Os PTI, em combinação com FPEs, têm se mostrado um método sensível e seletivo para detectar traços de gases e aerossóis 13,14,15,16,17,18. No passado, muitos sensores para medições de pressão e acústicas dependiam do uso de partes móveis, como membranas, substituindo o segundo espelho do FPE19. As deflexões da membrana levam a uma mudança na distância do espelho e, portanto, no comprimento do caminho óptico. Esses instrumentos têm a desvantagem de serem propensos a vibrações mecânicas. Nos últimos anos, o desenvolvimento de microfones ópticos utilizando FPEs sólidos atingiu um nível comercial20. Ao abster-se do uso de partes móveis, a medição mudou da distância para o índice de refração dentro da cavidade de Fabry-Pérot, aumentando significativamente a robustez dos sensores.
Os FPEs comercialmente disponíveis no espaço aéreo custam além do aceitável para prototipagem e teste, bem como a integração de instrumentos de produção de alto volume. A maioria das publicações científicas que constroem e utilizam tais FPEs discute o tema da fabricaçãoapenas minimamente 21,22. Na maioria dos casos, equipamentos e máquinas específicos (por exemplo, salas limpas, instalações de revestimento, etc.) são necessários; por exemplo, para FPEs totalmente integrados à fibra, são necessários equipamentos especiais de microusinagem. Para reduzir os custos de fabricação e permitir o teste de várias configurações diferentes de FPE para melhorar sua adequação às configurações de PTI, um novo método de fabricação foi desenvolvido, que é descrito em detalhes no protocolo a seguir. Ao utilizar apenas componentes de fibra óptica a granel e de telecomunicações disponíveis comercialmente, os custos de fabrico poderiam ser reduzidos para menos de 400 euros. Todas as instalações que trabalham com equipamentos fotônicos padrão devem ser capazes de reproduzir nosso esquema de fabricação e adaptá-lo às suas aplicações.