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Fabrication de basse température de nanotubes de carbone interconnexions verticales Compatible avec la technologie des semiconducteurs

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Fabrication de basse température de nanotubes de carbone interconnexions verticales Compatible avec la technologie des semiconducteurs

Article DOI: 10.3791/53260-v • 09:20 min • December 7th, 2015

December 7th, 2015 •

Sten Vollebregt¹, Ryoichi Ishihara¹

¹Department of Microelectronics, Delft University of Technology

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Ingénierie numéro 106 nanotubes de carbone le dépôt chimique en phase vapeur des interconnexions fabrication semi-conducteur un catalyseur des circuits intégrés la microscopie électronique à balayage la spectroscopie Raman la caractérisation électrique

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