33.12
Сканирующий электронный микроскоп или СЭМ сканирует образец с помощью электронного пучка, чтобы получить информацию о топографии и составе поверхности образца.
СЭМ использует электронную пушку для генерации отрицательно заряженного электронного пучка, притягиваемого вниз положительно заряженным анодом. Затем электромагнитные линзы концентрируют электронный пучок и уменьшают его диаметр.
Затем сканирующие катушки отклоняют этот сфокусированный электронный пучок вдоль осей x и y и позволяют ему сканировать прямоугольную область поверхности образца.
Высокоэнергетический пучок первичных электронов возбуждает электроны в атомах образца, что приводит к высвобождению низкоэнергетических вторичных электронов. Эти вторичные электроны считываются детектором и используются для создания 3D-изображения поверхности образца.
Взаимодействие электронного пучка с образцом также приводит к появлению характерных рентгеновских лучей, которые предоставляют информацию о различных элементах, таких как железо и никель, присутствующих в образце.
Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) используется для изучения особенностей поверхности образца с помощью электронного луча, который сканирует пове…
© 2026 MyJoVE Corporation. Все права защищены.