$$\rightleftharpoonup{xx}$$
$$\longleftharp{xx}$$,
$$\longrightharp{xx}$$,
1. Подготовка кремния наночастиц для осаждения
- Начиная с сухой порошок диоксида кремния, подготовки образца для покрытия сначала устранения крупных агрегатов.
- Вымойте частиц кремнезема (диаметр 200 нм, купленные в гель-Tec Corp) с этанолом (190 доказательств чистый) и оставить образец под вытяжным шкафом, пока все испарения влаги с этанолом.
- Просеять частиц через ряд металлических сеток (США # 100-400), чтобы разрушить оставшиеся агломераций.
- Место частиц и малой магнитной мешалкой бар в трубчатом реакторе, как показано на рисунке 1. Частицы должны быть размещены в зоне плазмы.
- Закройте стеклянный реактор путем размещения уплотнительного кольца между двумя фланцами, один в конце стеклянной трубки и один в конце трубы подключены к насосу.
- Установите кольцо из нержавеющей стали вокруг зажима фланцев и затяните винт вокруг зажима.
2.Подготовка вакуумной системы
- Заполните отделителя жидкости азота, затем дайте поверхности ловушки, чтобы стать холодно. Подождите 5 минут.
- Добавить изопропанола в барботер и подключиться к плазменного реактора.
- Печать барботер, поставив резиновые уплотнительные кольца вокруг металлической трубы и затяните гайки до места трубе барботера связи становятся закрытыми.
3. Процесс плазменного напыления
- Поместите барботер на водяной бане при температуре 34 ± 2 ° C.
- Включите регулятор расхода газа аргона и введите 6,00 SCCM в качестве контрольной точки.
- Постепенно открыть задвижку, которая соединяет стеклянная трубка к насосу, а насос работает. Выполните этот шаг, осторожно, потому что резкое снижение давления может привести к частицам сдувается потоком. Подождите, пока давление достигает 200 мторр, а затем оставить задвижка полностью открыта.
- Поместите магнитной мешалкой в стеклянную трубку и установить скорость 100 рвечера.
- Подключите алюминиевое кольцо вокруг трубчатого реактора стекла радиочастот, РФ, генератор и подключить зажим из нержавеющей стали на землю.
- Включить соответствующие сети (ENI MW-5D), а затем переключаться сети переменного тока и мощности ВЧ-генератора на. Установите мощность на 30 Вт в течение всего процесса.
- После того, как конкретный период времени (10, 20 или 40 мин) отключить соответствующую сеть, ВЧ-генератора, а также переменного тока соответственно.
- Закройте клапан, а затем выключите контроллер потока аргона. Отключите барботер от клапана и постепенно увеличивать давление в реакторе до атмосферного.
- Откройте зажим и передачи частицы из трубки в пластиковых блюдо помощью металлического шпателя.
4. Подготовка полые частицы на растворение основного материала
- Поместите образец под тягой в течение всего процесса добавления плавиковой кислоты.
- Фтористоводородной кислоты является чрезвычайно сотрудничестваrrosive кислоты и воздействие глаз и кожи может привести к необратимому повреждению. Используйте защитные очки с лицом щит и носить лабораторный халат при работе с КВ.
- Смешайте 10 мл плавиковой кислоты (Aldrich 49%) с 10 мл дистиллированной воды и добавьте к пластическому блюдо, которое содержит частицы, покрытые.
- Поместите пластиковый блюдо на магнитной мешалкой и позволяют основные распустить в течение 24 часов.
- После того, как в один прекрасный день разбавить образец 50 мл дистиллированной воды и центрифуги образца на 1 час. Откажитесь от слоя жидкости на вершине в пластиковый контейнер и передать нижний слой, который содержит частицы в пластиковых чашках Петри.
- Добавьте 50 мл дистиллированной воды и вихрь образца и центрифуги его снова. Избавьтесь от верхнего слоя и передачи частицы слой чистой чашки Петри.
- Вымойте частиц с этанолом, воздух сухой образец, и передать полых частиц во флакон с крышкой и держать частиц в эксикаторе.
5. Чараcterization проницаемости (скорость основной релиз)
Материалы: хлорид калия для основных материалов
- Подготовить 0,001 молярного хлористого калия (KCl) раствора путем смешивания 0,0745 граммов KCl с 1 л дистиллированной воды.
- Заполните стеклянную бутылку постоянной модели распылителя выход 3076 и установить крышка от бутылки.
- Подключите шланг сжатого воздуха мембрана фен, который связан с газа на входе в форсунки. Затем прикрепить фильтр к розетке шланг для сбора KCl наночастиц.
- Постепенно открыть клапан сжатого воздуха, а воздушный поток через мембрану сушилку. Позвольте частицы накапливаются в фильтре в течение 5 часов.
- Закройте клапан сжатого воздуха и осторожно снимите фильтр и собирают частицы. Поместите частицы в эксикаторе до нанесения покрытия.
- Следуйте протоколу 2 и 3, чтобы получить равномерно покрытый KCl частиц.
- Смешайте покрытием KCl с 10 мл дистиллированной ватер в стеклянном флаконе. Для того чтобы полностью смешать образец, падение магнитной мешалки в раствор и оставить его на магнитной мешалкой. Инкубируйте образца при 25 ° C.
- Вставьте кондуктометр зонд (Thermo Orion модель 105) во флакон и записать проводимость в течение 30 дней.
6. Представитель Результаты
Мы применили этот процесс различных материалов активной зоны, в том числе оксидов (кремнезема), соли (KCl) и металлов (Al), как показано на рисунке 2. Просвечивающий электронный микроскоп был использован для подтверждения радиальной однородности пленок и измерения их толщины. Мы успешно частиц, покрытых от 37 нм до 200 нм в диаметре (рис. 2), но нет никаких фундаментальных ограничений на размер частиц, которые можно лечить с помощью этого метода. Скорость осаждения оболочки составляет около 1 нм / мин. Это довольно медленный темп позволяет контролировать толщину пленок вполнеточно по времени осаждения. Плазменной полимеризации оболочки проницаемых барьеров, о чем свидетельствует тот факт, что основной материал можно удалить травлением или расторжения. На рисунке 3 показаны полые оболочки, которые остаются после того, как кремнезем ядро удалено. Удаление основного, является полной и радиальной однородности и толщины пленок достаточно высоки. Для целей оценки проницаемости через эти фильмы, мы перешли на KCl в качестве основного материала после распада KCl можно контролировать очень легко с помощью ионной проводимости раствора. На рисунке 4 показана выпуска KCl из основных фондов на четыре образца с различной толщиной 20 нм, 40 нм, 75 нм и 95 нм соответственно. Покрытые KCl частиц, взвешенных в воде и проводимости решение последовало в течение 30 дней. В дополнение к четырем образцов, управления, которая состоит из немелованной KCl частиц также контролируется. Без покрытия KCl частиц диссоциацииLVE в течение очень короткого времени примерно 1 мин. С другой стороны, покрытие KCl показывает значительно медленнее скорости высвобождения. Выпуск профиля покрытых частиц характеризуется начальный взрыв, который происходит в течение первого часа, а затем гораздо медленнее релизе, что занимает несколько дней, чтобы закончить, в зависимости от толщины пленки.

Рисунок 1. Схематическое изображение получения наночастиц, плазменного напыления, а также формирование полых частиц.

Рисунок 2. ПЭМ-изображения покрытием (а), (б) частиц кремнезема с D = 200 нм (в) диоксид кремния частицы с D = 37 нм, (г) алюминия с г ~ 100 нм, и (е) KCl частицы с D = 100 нм

Рисунок 3. TEM изображения полых частиц после травления (а), (б) кремния ядро диаметром 200 нм, и (в) KCl ядра.

Рисунок 4. Влияние толщины оболочки на выпуск профилей. На вставке график показывает освобождение в течение первого часа.