Методическая статья

Моделирование, изготовление и характеристика ТГц метаматериала Амортизаторы

DOI:

10.3791/50114

⸱

27 декабря 2012 г.

 ,  , 
1School of Engineering, University of Glasgow

В этой статье

Краткое содержание

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Этот протокол описывает моделирования, изготовления и характеристики ТГц метаматериала амортизаторов. Такие амортизаторы, в сочетании с соответствующим датчиком, применение в ТГц изображений и спектроскопии.

Аннотация

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Метаматериалы (MM), искусственные материалы разработаны, чтобы иметь свойства, которые не могут быть найдены в природе, были широко изучены, так как первая теоретическая 1 и экспериментальная демонстрация 2 их уникальные свойства. ММ может обеспечить высокую управляемый электромагнитный отклик, и на сегодняшний день были продемонстрированы в каждом технологически соответствующих спектральном диапазоне, включая оптический 3, ближней ИК-4, ИК середине 5, ТГц 6, миллиметровых волн 7, 8 и микроволновые радио 9 полос. Приложения включают идеальной линзы 10, датчики 11, телекоммуникаций 12, плащи невидимости 13 и фильтров 14,15. Недавно мы разработали одну полосу 16, двухдиапазонный 17 и 18 широкополосного ТГц метаматериала устройства поглотителя способны более 80% поглощения на резонансный пик. Концепция М. поглотителя EspeciallУ важным на ТГц частотах, где трудно найти сильных частотно-селективных ТГц амортизаторы 19. В нашем MM поглотителя терагерцового излучения поглощается в толщину ~ λ/20, преодолевая толщины ограничение традиционных амортизаторов длины волны квартала. MM амортизаторы естественно поддаются обнаружению ТГц приложений, таких как термодатчики, и если интегрирована с подходящими источниками ТГц (например, ЛКК), может привести к компактной, высокой чувствительностью, низкой стоимостью, в режиме реального времени ТГц системы визуализации.

Введение

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Этот протокол описывает моделирования, изготовления и характеристик одну полосу и широкополосные поглотители ТГц ММ. Устройство, показанное на рисунке 1, состоит из поперечных металлических и диэлектрических слоев на верхней плоскости земли металл. Крестообразные структуры является примером электрических кольцевой резонатор (ERR) 20,21 и пары сильно однородное электрическое поле, но ничтожно в магнитном поле. По спаривания ERR с землей самолет, магнитная составляющая падающей волны ТГц индуцирует ток в разделах ERR, что параллельно направлению E-поля. Электрического и магнитного отклика может быть настроен независимо друг от друга и импеданс структуры соответствуют свободного пространства путем изменения геометрии ERR и расстояние между двумя металлическими элементами. Как показано на рисунке 1 (г), симметрия структуры приводит к поляризации нечувствительны ответ поглощения.

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Протокол

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

1. Моделирование одной полосы ТГц метаматериала абсорбера

3D-вид моделирования установки показана на Рисунок 2.

  1. Lumerical FDTD используется для оптимизации передачи, отражения и поглощения характеристик ТГц метаматериала поглотителя. Все подразделения приведены в мкм.
  2. Define ТГц полиимида свойства материала кликнув левой кнопкой мыши Материалы, Add (п, к) материала И ввод в 1,68 л и 0,06, как к. Двухместный щелкните левой кнопкой мыши на "новый материал 1" и назовите его "полиимида". Заметим, что если теоретические или экспериментальные данные индекса преломления доступно можно " Добавить выбранные данные " Для определения свойств материала.
  3. Построение геометрии устройства, начиная с 0,2 мкм плоскости земли металл. В Структур Выберите вкладку Прямоугольника И редактировать свойства, нажав Е Ключ. Input "groundplane" в Имя Окно (0,0,0.1) как структура центра координат и (31,31,0.2) в качестве службы региона. Переход к Материал И выберите Perfect электрический проводник (PEC). Повторите для определения толщиной 3 мкм полиимида набрав диэлектрический слой "полиимида" в названии окна (0,0,1.7) в качестве центра координат и (31,31,3) в качестве службы. Наконец определим 0,2 мкм электрический кольцевой резонатор, нарисовав две прямоугольные Perfect электрический проводник (PEC) Регионам называется "ERR arm1" и "ERR arm2" с тем же центром координат (0,0,3.3), но разных регионов оболочки (10,26,0.2) и (26,10,0.2) соответственно.
  4. Добавить моделирования регионе левой кнопкой мыши на Simulation И нажмите Е Для редактирования свойств. В Вкладка Общие Вход 20 пс, как время моделирования. В Геометрия Вкладка выбери (0,0,0) в качестве центра координат и (30,30,200) в качестве службы регионах. В Параметры сетки Вкладка выбрать сетку точности 3 и сохранить другие параметры по умолчанию, как они. Установить моделирования граничных условий в Граничные условия Вкладка выбора "Anti-симметричных" для х мин до н.э. и х макс до н.э., «симметричный» для у мин до н.э. и у Макса до н.э. и "PML" для г до н.э. мин и макс г до н.э. ("позволяют симметрии на всех границах" должен быть галочка). Включите регионе сетку коррекции от левой кнопкой мыши снова на Simulation И редактирования, нажав Е. В Общие Вкладка типа 0,5 мкм для ах и ау дублирование и 0,05 мкм для переопределения йг. В Геометрия Вкладка войти в центр координат (0,0,1.7) и диапазона регионов (30,30,3.8). Обратите внимание, что меньше размером ячейки Например,, Йу 0,1 мкм, увеличит точность моделирования, хотя это будет происходить за счет существенного увеличения памяти, процессора и время моделирования. Лучше всего, чтобы имитировать используя большой размер сетки до структуры с заданными свойствами получается, а затем снова моделировать использование меньшего размера ячеи.
  5. Определить тип источника левой кнопкой мыши на стрелку рядом с Источники И выбрав Плоской волны. Нажимать Е Для редактирования свойств источника и в Общие Вкладка изменить направление в обратном направлении. В геометрии вкладке войти в центр координат (0,0,90) и (35,35,0) для диапазона региона. Обратите внимание, что вы не можете изменить интервал г. Установить минимальную и максимальную частоту моделирования в Частота / длина волны Вкладка. Выберите минимум 1 ТГц и максимум 4 ТГц и обеспечить импульса в сигнале от времени график в правом нижнем углу окна распадов к нулю, а до 20 пс.
  6. Щелкните левой кнопкой мыши на стрелку рядом с Мониторы И выберите Частотной области поля профиля. Нажмите E для редактирования свойств монитора и введите "R95" в Имя монитора Окно. В Геометрия вкладку Войти в центр координат (0,0,95) и диапазона региона (30,30,0). Повторите и создать вторую Частотной области поля профиля Монитор под названием "T95" с центром в координатах (0,0, -95) и пролетов (30,30,0). Щелкните левой кнопкой мыши на стрелку рядом с Мониторы И выберите Глобальные свойства. В Частота / мощность профиля Вкладка введите 100 в окно частот пунктов. Рисунок 2 Показывает вид в перспективе изображена в Lumerical по завершении шаги 1.1-1.6. Проверьте требования к памяти, совместимые с компьютером кликнув левой кнопкой мыши на стрелку рядом с Проверить Значок на верхней панели и выбрав Проверьте требования моделирования памяти. Сохраните файл давая ему соответствующее название, такие как "Jove.sim".
  7. Выполнить моделирование кликнув левой кнопкой мыши на Выполнить Значок.
  8. По окончании моделирования введите следующие в Сценарий строке Окно. Обратите внимание, что можно также ввести следующий текст в текстовый редактор и сохраните файл в формате. Файлов LSF. Сценарий может быть запущен левой кнопкой мыши на стрелку рядом с Выполнить, Выбрав Сценарий, А затем местонахождение файла сценария сохраняются на вашем компьютере. Обратите внимание, что # Символ указывает на комментарии.

Нагрузки ("Jove_sim"); # Нагрузках моделирования файлов F = GetData ("R95", "е"); # Получает отражение данные и данные о частоте от R95 монитор R = передач ("R95"); # R определяется как матрица, содержащая отражения данных = 1-R; # Рассчитывает поглощения Fthz = f/1e12; # Преобразует частоту ТГц Земельный участок (fthz, A, R, "Частота (ТГц)", "поглощение", "Отражение"); # Сюжета данных на одном графике Легенде ("поглощение", "Отражение");
Файл = "Jove_sim.csv"; # Экспорт данных в Excel импорт RM (имя файла); # Удалить файл, если он уже существует Лямбда = C / F; # Преобразует частоту волны Для (я = 1: длина (лямбда)) {
Написать (имя файла, num2str (F (I)) + "," + num2str (fthz (я)) + "," + num2str (R (I)) + "," + num2str ((я)) + " , ");
} # Выводит. CSV-файла в формат столбца частоты, отражения и поглощения

2. Изготовление одной полосы ТГц метаматериала абсорбера

На рисунке 3 Показывает наиболее важные шаги изготовления.

  1. Очистите 15 мм на 15 мм кусок кремния в последовательных решений теплой (50 ° C) OptiClear, ацетон и ispopropanol с использованием ультразвуковых агитацию после первоначального нагрева стакан, содержащий растворителя в течение 10 мин. Обратите внимание, что этот протокол также может быть использована для изготовления нескольких устройств на 4 дюйма диаметром пластины.
  2. Испаряется металл двухслойная из 20 nm/100 нм Ti / Au на 15 мм на 15 мм с помощью Plassys 450 MEB электронного пучка испаритель ( На рисунке 3, п. 1). Обратите внимание, что толщина металла должна быть больше глубины скин-слоя на рабочей частоте.
  3. Очистка образца, как описано выше в разделе 2.1
  4. Внесите VM651 грунтовки на образец с помощью пипетки и оставить отдохнуть на 20 сек. Побочные образца при 4000 оборотов в минуту в течение 5 секунд, а затем выпекать на контакт конфорки при 120 ° С в течение 60 сек.
  5. Удалить Dupont PI2545 полиимида из морозильника. Разрешить 20 минут за бутылку до комнатной температуры. Это очень важно с момента открытия бутылки непосредственно после извлечения из морозильной камеры приведет к конденсации влаги внутри бутылки и унижающего достоинство полиимидной пленки свойствами. Внесите PI2545 на образец с помощью пипетки и позволяют 20 секунд для того, чтобы расслабиться. Побочные образца с помощью 2 этап спина процедуру со следующими параметрами - (I) окончательное скорость вращения 500 оборотов в минуту, ускорение 100 оборотах -1, Окончательного отжима время 5 сек (II) окончательное скорость отжима 6000 оборотов в минуту, ускорение 500 оборотах -1, Окончательного отжима 60 сек. Выпекать образца на контакт конфорки при 140 ° С в течение 5 мин ( На рисунке 3, п. 2). Если толще полиимидной пленки требуется, то либо спина несколько слоев или снизить конечную скорость отжима. Для получения полиимидной пленки толщиной 3 мкм с минимальной край борта трех слоев PI2545 прядут использованием вышеуказанных протоколов.
  6. Лечение полиимида на контакт конфорки при температуре 220 ° С в течение 10 мин. После этой процедуры лечения PI2545 будет невосприимчив к большинству растворителей и кислот и могут быть удалены с помощью кислородной плазмы. PI2545 можно вращать на манекен кусок кремния, вылечил, как указано выше, а толщина пленки измеряется царапин полиимида и использования поверхности DEKTAK профилометр для измерения высоты ступени.
  7. Депозитные 15% 2010 Поли (метилметакрилат), известный как ПММА, на образец. Спин на 5000 оборотов в минуту в течение 60 секунд и выпекать в конвекционной печи при температуре 180 ° С в течение 30 мин. До выпечки удалите излишки сопротивляться, который подкрался к задней стороне образца с помощью ацетона. Снять образец из духовки и дать остыть до комнатной температуры (~ 5 мин). Депозиты 4% 2041 PMMA на образец, спина при 5000 оборотов в минуту в течение 60 секунд и выпекать в конвекционной печи при температуре 180 ° С в течение 60 мин ( На рисунке 3, пункт 3). Удалите излишки сопротивляться, который подкрался к задней стороне образца с помощью ацетона перед выпечкой.
  8. Написать желаемую работу по Vistec VB6 электронного пучка писатель использованием дозе 450 мкКл / см 2. Работу файл предназначен в Tanner L-Edit, перелом в полигоны по компоновке Beamer и, наконец, представлен в пучке писатель использовании Java программное обеспечение BELLE.
  9. Разработка образца в раствор 1:1, MIBK: IPA при температуре 23 ° C в течение 60 секунд ( На рисунке 3, шаг 4). Промыть в стакане изопропанола. Осмотрите картину верности на оптическом микроскопе. Если функции плохо разрешенный лишить сопротивление в OptiClear, ацетон и изопропанол и начать все заново с 2,2.
  10. Descum образца с O 2 С помощью Gala Plasmaprep 5 Баррель Ашер течение 1 мин при 0,1 мбар и 50 Вт ВЧ мощности. Выпаривают 20 нм Ti и 150 нм Au использованием Plassys 450 MEB электронного пучка испаритель ( На рисунке 3, шаг 5).
  11. Вставьте образца в стакан теплого ацетона и поместить стакан в ванну с горячей водой хранится при температуре 50 ° C. Через 4 часа удаления образца из водяной бане и с помощью пипетки поглощать некоторые из теплого ацетона и брызги щедро на образец ( На рисунке 3, шаг 6). Проверьте образец на глаз проверить, что металл отрывая от районов, где PMMA присутствовал. Если старт идет медленно поместить стакан в ультразвуковую ванну воду на 2 мин. Осмотрите образца под оптическим микроскопом.
  12. В протоколе описывается изготовление одного поглотителя ТГц диапазон Однако многоуровневый двухдиапазонный и широкополосных поглотителей могут быть произведены, повторяя шаги 2.3-2.11 и укладки несколько крестов поверх слоя полиимида.

3. Характеристика одной полосы ТГц метаматериала абсорбера

Рисунок 4 Показывает основной инструмент ИК-макета.

  1. Включение подачи азота в IFS 66V / S преобразование Фурье инфракрасного (ИК) спектрометра. Нажмите кнопку "FIR" кнопки на передней панели устройства спектрометра управления для включения дуговых ламп рт. Она занимает около 15 мин для мощности лампы стабилизируется. Вставьте 6 мкм многослойным светоделителя в соответствующее гнездо в интерферометре устройства.
  2. Vent образца отделения спектрометра и вставить PIKE 30 ° отражение единицы. Поместите 4 мм отверстие на верхней части отверстие блока отражение и на вершине этого положить золото зеркало. 4 мм, диафрагма определяет площадь образца, что будет допрошен в то время как золото зеркало необходимо сделать измерения фона.
  3. Эвакуацию образца отсеке и ждать, пока давление, чтобы получить до 5 мбар. Спектрометр может быть запущен в продували азотом среду, однако сигнал размер обычно падает до менее чем на 20% по сравнению с вакуумом.
  4. Запустите программу OPUS и загрузить файл конфигурации (настройка по установке аппарата) для проведения измерений в 30 см -1 До 300 см -1 Диапазон (1-9THz). Этот файл устанавливает многочисленные параметры спектрометра, таких как сканер скорость, апертуры источника, тип источника, метод сбора данных и преобразование Фурье режиме выполнения. Убедитесь, что светодиод на передней панели детектора отделения мигает зеленым цветом, показывая, что сканер работает. Убедитесь, что форма интерферограммы, как ожидалось.
  5. Выполнить 100 сканирований фон для получения спектра фона.
  6. Vent образца отсека, снимите зеркало и место образец лицевой стороной вниз на диафрагму. Убедитесь в центре образца в середине отверстие. Эвакуировать образца отсека.
  7. Run 1000 сканировании образца для получения образца спектра. Спектр образца будут по сравнению со спектром фон ссылки и окончательный спектр отражения образцов получены. Обратите внимание, что если сигнал, попадая в приемник низкой, большее количество образцов сканирования может потребоваться для снижения шума ( Например, 10000 сканирований). Повторить сканирование образца должны быть направлены на обеспечение измеренных данных является надежным и последовательным.
  8. Данные завершена проверка может быть преобразован в текстовый файл и проанализированы в автономном режиме. Непрерывным плоскости земли образца означает, что нет передачи ERGO спектр поглощения может быть найден путем вычитания отражений от 1.

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Результаты

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Рисунок 5 () показывает, полученные в эксперименте и моделирование спектров поглощения для MM поглотителя с 3,1 мкм полиимида диэлектрической прокладкой. Эта структура имеет MM повторить периодом 27 мкм и размеры K = 26 мкм, L = 20 мкм, M = 10 мкм и N = 5 мкм. Экспериментальные измерения были выполнены также на образцах без ERR слоя, чтобы подтвердить, что поглощение стало следствием MM структуры, а не диэлектрик. 7,5 мкм полиимида образца, не ERR структура имеет максимум поглощения 5% во всем диапазоне...

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Обсуждение

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Этот протокол описывает моделирования, изготовления и характеристики ТГц метаматериала амортизаторов. Важно, такие югу от длины волны структуры точно моделируется перед любым усилием стремится к дорогостоящим процедурам изготовления. Lumerical FDTD моделирования предоставлять информацию не только на MM спектр поглощения, но и расположение поглощения, необходимые знания, чтобы помочь размещения преобразователя и получить максимальный отклик. Кроме того, алгоритм оптимизации в Lumerical могут быть реализованы быстро созда...

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Раскрытие информации

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Нет конфликта интересов объявлены.

Благодарности

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,

Эта работа поддерживается инженерным и физическим научным исследованиям Совета грант № EP/I017461/1. Мы также хотели бы отметить вклад сыграл технический персонал Nanofabrication центра Вт Джеймс.

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Материалы

Список материалов, использованных в этой статье
ИмяКомпанияКаталожный номерКомментарии
Название Реагенты / Материал Компания Номер по каталогу Комментарии
Lumerical FDTD Lumerical
Кремниевая пластина ИБР технологий Односторонний полированный
Plassys 450 MEB испарителя Plassys Bestek
VM651 Primer Dupont
PI2545 Dupont
Метилизобутилкетон Sigma-Aldrich
Изопропанол Sigma-Aldrich
Plasmaprep5 баррель Ашер Гала-Instrumente
VB6 грн EWF электронного пучка писателя Vistec
Tanner L-Edit Таннер Инк
Макет Beamer GenISys Инк
Полиметилметакрилата (PMMA) Sigma-Aldrich 293261 Sigma-Aldrich
БМП 66v / с ИК Bruker
Щука 30spec отражение блок Щука технологий
Hg дуговой лампы Bruker
Au зеркало Thor Labs PF05-03-M01
Leica INM20 оптический микроскоп Leica Microsystems
6 мм Светоделитель Майларовый Bruker

Ссылки

$$\rightleftharpoonup{xx}$$ $$\longleftharp{xx}$$, $$\longrightharp{xx}$$,
  1. Pendry, J. B., Holden, A. J., Robbins, D. J., Stewart, W. J. Magnetism from conductors and enhanced nonlinear phenomena. IEEE Trans. Microw. Theory. 47, 2075-2084 (1999).
  2. Pendry, J. B., Holden, A. J., Robbins, D. J., Stewart, W. J. Magnetism from conductors and enhanced nonlinear phenomena. IEEE Microw Theory. 47, 2075-2084 (1999).
  3. Smith, D. R., Padilla, W. J., Vier, D. C., Nemat-Nasser, S. C., Schultz, S. Composite medium with simultaneously negative permeability and permittivity. Phys. Rev. Lett. 84, 4184-4187 (2000).
  4. Dolling, G., Wegener, M., Linden, S. Realization of a three-functional-layer negative-index photonic metamaterial. Opt. Lett. 32, 551-553 (2007).
  5. Zhang, S., et al. Experimental demonstration of near-infrared negative-index metamaterials. Phys. Rev. Lett. 95, 137404(2005).
  6. Linden, S., et al. Magnetic response of metamaterials at 100 terahertz. Science. 306, 1351-1353 (2004).
  7. Landy, N. I., et al. Design, theory, and measurement of a polarization-insensitive absorber for terahertz imaging. Phys. Rev. B. 79, 125104-12 (2009).
  8. Gokkavas, M., et al. Experimental demonstration of a left-handed metamaterial operating at 100 GHz. Phys. Rev. B. 73, 193103(2006).
  9. Smith, D. R., Kroll, N. Negative refractive index in left-handed materials. Phys. Rev. Lett. 85, 2933-2936 (2000).
  10. Wiltshire, M. C. K., et al. Microstructured magnetic materials for RF flux guides in magnetic resonance imaging. Science. 291, 849-851 (2001).
  11. Pendry, J. B. Negative refraction makes a perfect lens. Phys. Rev. Lett. 85, 3966-3969 (2000).
  12. Kabashin, A. V., et al. Plasmonic nanorod metamaterials for biosensing. Nat. Mater. 8, 867-871 (2009).
  13. Dolling, G., Enkrich, C., Wegener, M., Soukoulis, C. M., Linden, S. Low-loss negative-index metamaterial at telecommunication wavelengths. Opt. Lett. 31, 1800-1802 (2006).
  14. Schurig, D., et al. Metamaterial electromagnetic cloak at microwave frequencies. Science. 314, 977-980 (2006).
  15. Chen, H. T., et al. Experimental demonstration of frequency-agile terahertz metamaterials. Nat. Photonics. 2, 295-298 (2008).
  16. Ma, Y., Khalid, A., Saha, S. C., Grant, J. P., Cumming, D. R. S. THz band pass filter on plastic substrates and its application on biological sensing. IEEE Photonics Society Winter Topicals Meeting Series. , 50-51 (2010).
  17. Grant, J., et al. Polarization insensitive terahertz metamaterial absorber. Opt. Lett. 36, 1524-1526 (2011).
  18. Ma, Y., et al. A terahertz polarization insensitive dual band metamaterial absorber. Opt. Lett. 36, 945-947 (2011).
  19. Grant, J., Ma, Y., Saha, S., Khalid, A., Cumming, D. R. S. Polarization insensitive, broadband terahertz metamaterial absorber. Opt. Lett. 36, 3476-3478 (2011).
  20. Tonouchi, M. Cutting-edge terahertz technology. Nat. Photon. 1, 97-105 (2007).
  21. D. Schurig, J. J. M., Justice, B. J., Cummer, S. A., Pendry, J. B., Starr, A. F., Smith, D. R. Microwave Cloaking Realized. Science. 314, 889(2006).
  22. Padilla, W. J., et al. Electrically resonant terahertz metamaterials: Theoretical and experimental investigations. Phys. Rev. B. 75, 041102(2007).
  23. Smith, D. R., Vier, D. C., Koschny, T., Soukoulis, C. M. Electromagnetic parameter retrieval from inhomogeneous metamaterials. Phys. Rev. E. 71, (2005).
  24. Landy, N. I., Sajuyigbe, S., Mock, J. J., Smith, D. R., Padilla, W. J. Perfect metamaterial absorber. Phys. Rev. Lett. 100, 207402(2008).
  25. Hao, J. M., et al. High performance optical absorber based on a plasmonic metamaterial. Appl. Phys. Lett. 96, 251104(2010).
  26. Chen, H. T. Interference theory of metamaterial perfect absorbers. Opt. Express. 20, 7165-7172 (2012).
  27. Lee, A. W. M., Hu, Q. Real-time, continuous-wave terahertz imaging by use of a microbolometer focal-plane array. Optics Letters. 30, 2563-2565 (2005).
  28. Thermo Nicolet Corporation. An Introduction to Fourier Transform Infared Spectroscopy. , (2001).

Доступ ограничен. Войдите в систему или начните пробный период, чтобы просмотреть этот контент.

Перепечатки и разрешения

Запросить разрешение на повторное использование текста или иллюстраций этой статьи JoVE

Запросить разрешение

Теги

Terahertz Metamaterial AbsorberMetamaterial Absorber DesignElectron Beam EvaporatorFourier Transform Infrared SpectroscopyPolyamide Dielectric SpacerElectron Beam LithographyOptical Microscope InspectionTerahertz Imaging SystemsMetamaterial Device FabricationAbsorption Spectrum Analysis

Похожие статьи