Монослоя Связаться легирования кремния поверхностей и нанопроволок Использование фосфорорганических соединений

7.3K просмотров

Цитируется: 9

09:45 мин.

2 декабря 2013 г.

10.3791/50770-v

2 декабря 2013 г.

7.3K просмотров

Ori Hazut¹^,² , Arunava Agarwala¹^,² , Thangavel Subramani¹^,² , Sharon Waichman¹^,² , Roie Yerushalmi¹^,²

¹Institute of Chemistry, The Hebrew University of Jerusalem, ²Center for Nanoscience and Nanotechnology, The Hebrew University of Jerusalem

Подробно описана процедура поверхностного легирования кремниевых интерфейсов. Легирование сверхповерхностной поверхности проявляется за счет использования фосфорсодержащих монослоев и быстрого процесса отжига. Метод может быть использован для легирования поверхностей макроскопических областей, а также наноструктур.