Монослоя Связаться легирования кремния поверхностей и нанопроволок Использование фосфорорганических соединений
2 декабря 2013 г.
7.4K просмотров
Подробно описана процедура поверхностного легирования кремниевых интерфейсов. Легирование сверхповерхностной поверхности проявляется за счет использования фосфорсодержащих монослоев и быстрого процесса отжига. Метод может быть использован для легирования поверхностей макроскопических областей, а также наноструктур.