При содействии потока диэлектрофореза: Низкая стоимость метод для изготовления высокой производительности решения обрабатываемых нанопроволоки устройств

7.5K просмотров

Цитируется: 1

09:14 мин.

7 декабря 2017 г.

10.3791/56408-v

7 декабря 2017 г.

7.5K просмотров

В этом документе, поток, помощь диэлектрофореза продемонстрировал для самостоятельной сборки из нанопроволоки устройств. Производство кремния нанопроволоки полевой транзистор приводится в качестве примера.

Больше видео

Изготовление нанопроволок

Chapters in this video

0:05

Название

0:56

Подготовка подложек

2:03

Процесс двухслойной фотолитографии для контактов

4:04

Осаждение металлических контактов

4:59

Диэлектрофорез нанопроволок с использованием потока

6:48

Результаты: ВАХ полевого транзистора на кремниевых нанопроволоках, созданного методом диэлектрофореза с использованием потока

8:05

Заключение

Related Videos