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Bioengineering

Microfabricación de los patrones de oro Nanoporous de Estudios de interacción célula-materiales

Published: July 15, 2013 doi: 10.3791/50678

Summary

Se presenta en las técnicas a micropatrón nanoporoso películas delgadas de oro a través de la impresión y la fotolitografía plantilla, así como los métodos a células de cultivo en los patrones de microfabricados. Además, se describen los métodos de análisis de imágenes para caracterizar la morfología de las células cultivadas utilizando electrónica de barrido y técnicas de microscopía de fluorescencia y de material.

Abstract

Los materiales nanoestructurados con tamaños de la característica en decenas de nanómetros han mejorado el rendimiento de varias tecnologías, como las pilas de combustible, biosensores, recubrimientos de dispositivos biomédicos, y las herramientas de administración de fármacos. Oro nanoporosa (np-Au), producida por un proceso de auto-ensamblaje escala nano, es un material relativamente nuevo que presenta gran área efectiva de superficie, alta conductividad eléctrica y la actividad catalítica. Estas propiedades han hecho np-Au un material atractivo para la comunidad científica. La mayoría de los estudios sobre np-Au emplean muestras macro-escala, y se centran en la ciencia fundamental de sus aplicaciones catalíticas y el sensor de material y. Las muestras de macro escala limitan el potencial de np-Au en sistemas miniaturizados, como dispositivos biomédicos. Para hacer frente a estos problemas, que inicialmente describen dos métodos diferentes para micropatrón películas delgadas np-Au sobre sustratos rígidos. El primer método emplea máscaras plantilla manualmente producidos para la creación a escala milimétrica patrones np-Au, while el segundo método utiliza fotolitografía despegue de modelado modelo submilimétrica escala. Como las películas delgadas np-Au se obtienen por el proceso de deposición por pulverización catódica, que son compatibles con las técnicas de microfabricación convencionales, de este modo susceptibles de fácil integración en microsistemas. Estos sistemas incluyen eléctricamente-direccionables plataformas de biosensores que se benefician de área de alta superficie efectiva, conductividad eléctrica, y bioconjugación superficie-tiol-basado en el oro. Se describe el cultivo de células, inmunotinción, y las técnicas de procesamiento de imágenes para cuantificar la interacción de NP-Au con células de mamíferos, que es un parámetro de rendimiento importante para algunos biosensores. Esperamos que las técnicas ilustradas aquí ayudarán a la integración de np-Au en plataformas a diferentes escalas de longitud y en numerosas aplicaciones, como biosensores, sistemas de almacenamiento de energía, y los catalizadores.

Introduction

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Protocol

1. Nanoporosa Fabrication Oro

  1. Sustratos limpios en solución Piranha
    1. Añadir 25 ml de peróxido de hidrógeno (30%) a 100 ml de ácido sulfúrico (96%) en una cubeta de cristalización y se calienta la mezcla a 65 ° C sobre una placa calefactora. PRECAUCIÓN: Los líquidos son sumamente corrosivo y debe manejarse con cuidado. La solución gastada no se debe almacenar en un contenedor sellado, ya que puede explotar.
    2. Place de 1 pulgada por portaobjetos de 3 pulgadas en la mezcla utilizando pinzas resistentes a los ácidos y limpiarlos durante 10 min. Utilice un barco inmunotinción porcelana para lotes pequeños de limpieza cubreobjetos. Tratar pequeñas cubreobjetos con plasma de aire a 10 W durante 30 segundos antes de la inmersión en la solución.
    3. Enjuague las muestras limpias en platos de cristalización bajo el chorro de agua desionizada (DI) durante 3 min. Muestras Blow-seca con una pistola de nitrógeno más toallas sin pelusa.
  2. Preparar la máscara de la plantilla (Método 1: Utilice esto para crear patrones a escala milimétrica)
    1. Ponche de 250 micras de espesor, hojas de elastómero de silicona con biopsia golpes y / o incisión a regiones con un bisturí sobre una superficie de plástico semi-duro. Limpiar las hojas de elastómero procesados ​​en el 70% de isopropanol y secar con pistola de nitrógeno.
    2. Coloque la hoja troquelada en una toalla sin pelusa para salas blancas y alinear los cubreobjetos pirañas limpios sobre la plantilla con la superficie de la muestra frente a la plantilla.
  3. Patrón fotoprotector despegue (Método 2: Utilice esto para crear patrones submilimétrica escala)
    1. Coloque una piraña limpiado portaobjetos en el hilado mandril y soplar las partículas con pistola de nitrógeno. Dispensar 1,5 ml de promotor de la adhesión (hexametildisilazano) sobre el portaobjetos de vidrio usando una pipeta de plástico. Extender el promotor haciendo girar la diapositiva sucesivamente a 500 rpm durante 5 segundos y 1500 rpm durante 30 seg. Hornear la diapositiva sobre una placa caliente a 115 º C durante 7 minutos y dejar que se enfríe durante 5 min.
    2. Dispensar 4 ml de resina fotosensible sobre el portaobjetos de vidrio (3 pulgadas by 1 pulgada). Corre la resina fotosensible haciendo girar la corredera con el mismo protocolo que para el promotor de adhesión. Hornee el fotoprotector en una placa caliente a 115 ° C durante 1,5 minutos y dejar enfriar durante 10 minutos.
    3. Exponga la diapositiva fotosensible recubierto con luz UV (intensidad: 22 mW / cm 2) a través de una máscara de transparencia durante 15 s. Hornear la resina fotosensible en una placa caliente a 115 ° C durante 1,5 min y esperar durante 45 min. Disolver el fotoprotector expuesto en el revelador durante al menos 3,5 minutos. Enjuague bien con agua DI. Inspeccione los patrones desarrollados bajo un microscopio óptico.
  4. Depósito metales precursores para producir películas delgadas np-Au
    1. Cargar las muestras en una máquina de pulverización catódica que puede depositar de forma independiente de oro, plata y cromo. Pulverización catódica a limpiar las muestras de 90 segundos a 50 W menos de 25 mTorr atmósfera de argón procesamiento antes de iniciar la deposición de metal.
    2. Pulverización catódica cromo durante 10 minutos a 300 W menores de 10 mTorr argón. Pulverización catódica de oro por 90 segundos a 400 W sinder 10 mTorr de argón. Co-pulverización catódica de oro y plata durante 10 minutos con la plata en 200 W y Au potencia en 100 W. Apague oro pulverización fuente de aproximadamente 10 segundos antes de apagar la fuente de plata por pulverización catódica.
  5. Obtener micropatrones metálicos precursores
    1. Sonicar muestras fotoprotector recubiertos en aproximadamente 180 ml de separador fotoprotección durante 10 ciclos de 20 seg de sonicación y 2 min de pausa entre los ciclos. Lavar las muestras con agua desionizada y secar con una pistola de nitrógeno. Inspeccione los patrones de metal bajo un microscopio.
    2. Pelar la plantilla elastómero de muestras recubiertas no fotosensible con dos pinzas para revelar el metal depositado.
  6. Dealloy metálico precursor y nanoestructura modificar mediante tratamiento térmico
    1. Llenar un vaso de precipitados de vidrio de 200 ml con 170 ml de ácido nítrico (70%) y mantener la temperatura de la solución a 55 ° C sobre una placa calefactora. ATENCIÓN: El ácido nítrico es extremadamente corrosivo y debe manejarse con equipo de protección adecuado. Tratar pequeños cubreobjetos con plasma de aire a 10 W durante 30 segundos antes de la inmersión en ácido nítrico. Place de 1 pulgada por portaobjetos de 3 pulgadas en el vaso con unas pinzas antiácido y dealloy ellos durante 15 min. Utilice un barco inmunotinción porcelana para lotes pequeños dealloying cubreobjetos.
    2. Enjuague las muestras dealloyed sucesivamente por inmersión en dos vasos llenos de agua DI fresca tres veces. Almacene las muestras en agua DI y cambie el agua con agua DI fresca todos los días durante al menos una semana. Muestras Blow-seca con una pistola de nitrógeno sobre toallas sin pelusa antes de su uso.
    3. Cargar las muestras sobre una oblea de silicio limpia en un equipo de procesamiento térmico rápido. Ajustar la temperatura a entre 200 ° C y 450 ° C y la velocidad de rampa de 10 ° C / seg. Exponer las muestras a la temperatura prescrita durante 10 min en atmósfera de nitrógeno ambiente. Deje que la cámara de frío (<100 ° C) y retire las muestras. Por otra parte, poco a poco poner las muestras en la placa calefactora para Tratamiento térmicoent.

2. Cultivo Celular

  1. Prepare np-Au muestras para cultivo celular
    1. Coloque np-Au muestras en platos de poliestireno y tratamiento con plasma de aire de 10 W durante 30 segundos y transferir las muestras a placas de cultivo tisular de 24 pocillos.
    2. Añadir 500 l medio de cultivo completo (medio Eagle modificado de Dulbecco con 10% de suero fetal bovino y 1% de penicilina / estreptomicina) a cada pocillo. Almacenar en un incubador humidificado a 37 ° C y 5% de CO 2 hasta que la siembra de las células (<1 hora).
  2. Mantener, de paso, y la semilla de células
    1. Mantener las células de interés (en este caso los fibroblastos NIH 3T3-o astrocitos murinos) en matraces T75 con medios de cultivo y el paso cuando las células son un 70% confluentes.
    2. Para pases las células, eliminar los medios de comunicación desde el frasco, lavar dos veces con 10 ml de solución salina tamponada con fosfato (PBS), añadir 2 ml de 1x tripsina / EDTA y se incuba hasta que las celdas de desconexión (~ 5 minutos). Añadir 3 ml de medio fresco ycentrifugar a 1200 rpm durante 3 min. Aspirar el sobrenadante y se resuspende el precipitado en los medios de comunicación 2 ml.
    3. Retirar los medios gastados de los pocillos y las semillas de células en los cubreobjetos de vidrio a una densidad de 25.000 células / cm 2 con un volumen final de 1 ml. Agite la placa de cultivo de adelante-atrás y de derecha a izquierda para garantizar un recubrimiento uniforme de las células sobre las muestras. Se incuban las células hasta su análisis mientras que la inspección diaria.

3. Célula y análisis de materiales

  1. Mancha de las células para visualizar citoesqueleto y núcleos
    1. Retire los medios gastados de pocillos y lavar las células dos veces con PBS. Fijar las células en paraformaldehído al 4% en PBS durante 15 min.
    2. Preparar la solución de tinción de 300 nM Alexa Fluor 488 faloidina en PBS con 1% de albúmina sérica bovina.
    3. Lavar las células dos veces con PBS, y permeabilizar en 500 l 0,1% de Triton X-100 en PBS durante 5 min.
    4. Lavar las células dos veces con PBS y transferirlos para limpiar pozos. Blot 50-200 solución de tinción l en las muestras y almacenar en oscuridad durante 20 min.
    5. Lavar las células con PBS y tinción de contraste con 3 nM de DAPI en PBS durante 5 min.
    6. Lavar las células con PBS y sumergir en agua desionizada antes de su montaje en portaobjetos de vidrio cubierta con los medios de fijación y sellado con esmalte transparente.
  2. Adquirir imágenes de np-Au muestras y cultivos celulares de np-Au superficies
    1. Superficies Image np-Au con microscopio electrónico de barrido (SEM) con 50,000 X ampliación a 10 kV de energía de electrones usando un detector de electrones secundarios.
    2. Captura de imágenes compuestas de células en diferentes puntos sobre las muestras usando un microscopio invertido de fluorescencia con un aumento de 10 veces con los cubos de filtros apropiados.
  3. Imágenes de proceso para determinar la morfología de los poros y células
    1. Abrir imágenes en ImageJ y dividido en canales individuales si es aplicable. Convertir las imágenes a 8 bits, restar el fondo, y suavizarlos por filteri medianang. Ajuste del umbral, ya sea manualmente o por una función de algoritmos de umbralización para resaltar los poros (huecos) y cuerpos celulares / núcleos.
    2. Utilice el comando cuenca para separar los poros o células fusionadas. Establezca los parámetros de análisis de partículas y ejecutar el comando para extraer el número de partículas, zona media y la cobertura ciento por partículas. Usar imágenes de células teñidas con DAPI para el recuento de células y las imágenes de células teñidas con faloidina para la cuantificación de cobertura de la célula por ciento.
    3. Modificar los archivos de macros incluidas para realizar el análisis de lotes de varias imágenes.

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Representative Results

La figura 1 resume las principales etapas del procedimiento, incluida la creación de los patrones np-Au, el cultivo de células, la cuantificación de la nanoestructura, y caracterización de morfologías celulares. La plantilla elastómero se muestra en la Figura 2a (parte superior) se utiliza para la creación de los patrones de NP-Au que se muestran en las imágenes debajo. Figura 2b es una fotografía de la embarcación porcelana para especímenes de procesamiento por lotes. Figura 2c muestra el cambio de color de los patrones metálicos depositados antes y después de dealloying. El acabado plateado (antes de la dealloying) es debido al contenido de aleación de plata-rico. Al dealloying, la película adquiere un tinte visible naranja-marrón. Figura 2d ilustra las características más finas producidas por patrón fotolitográfico del metal. Diferentes morfologías de poro pueden obtenerse a través de tratamiento térmico de NP-Au películas 9, como se muestra en la Figura 3. La imagen de la sección transversal (Fig.Ure 3) revela si las películas se dealloyed de manera uniforme a través del espesor de la película. Las imágenes de SEM pueden ser segmentados (umbral) en imágenes binarias (en la Figura 3 fila inferior) para determinar el tamaño y la cobertura ciento por vacíos (Código 1). Un representante de la imagen de fluorescencia de las células de astrocitos murinos adherentes cultivadas en una superficie np-Au se muestra en la Figura 4. Los canales individuales de la imagen puede ser dividida y segmentada para producir imágenes binarias para el análisis de la interacción célula-material. Citoesqueleto imágenes segmentadas se pueden utilizar para la cuantificación de área de la celda y la cobertura de superficie (Código 2), mientras que las imágenes núcleo celular segmentados son útiles para el recuento de células (Código 3). Figura 5 es un resumen visual de fallos comunes en la fabricación de estructuras de NP-Au , incluida la mala adherencia de la película, la ausencia de porosidad, y el tratamiento térmico excesivo.


Figura 1. Ilustración esquemática de los principales pasos de procesamiento. Ácido sustratos limpiados, o están ocultos con una máscara de la plantilla de corte manualmente o capa fotorresistente fotolitográficamente-modelado. Los objetivos de oro y plata están simultáneamente por deposición catódica para crear una rica en plata aleación de oro, donde las máscaras de transferencia de los patrones en los sustratos de vidrio. Patrones de aleación son dealloyed en ácido nítrico para crear el oro nanoporoso (np-Au) patrones. Las células de interés se cultivan en las muestras y se obtuvieron imágenes con fluorescencia y microscopios electrónicos de barrido para extraer las dos características biológicas y morfológicas. Haz clic aquí para ver más grande la figura .


Figura 2. Imágenes ópticas A (a) la plantilla de silicona (arriba) que se utiliza para modelar aleación de oro y plata precursor, que produce el np-Au array (parte inferior);. (B) Barco porcelana para especímenes de procesamiento por lotes, (c) de color típico de chisporroteaban AuAg aleación (arriba) y el cine dealloyed (abajo), y (d) de mayor resolución np-Au patrones producidos por enmascaramiento fotolitografía durante el depósito de oro y plata.

Figura 3
Figura 3. Imágenes SEM Np-Au (fila superior) y las imágenes segmentadas correspondientes (fila inferior) que se utilizan para la extracción de tamaño medio vacío unnd ciento de cobertura vacío. imagen SEM (arriba a la derecha) de un troceados np-Au ejemplo muestra la estructura de poro homogénea a través del espesor de la película. Haz clic aquí para ver más grande la figura .

Figura 4
La Figura 4. Una imagen de la célula teñida núcleo (azul), que es segmentado para extraer cobertura de la célula por ciento desde el canal verde y recuento de células desde el azul compuesto F-actina (verde) y.

La figura 5
Figura 5. Imágenes de fallos típicos. (A) delaminacióndurante dealloying debido a una capa adhesiva insuficiente de cromo; (b) ausencia de porosidad después de dealloying debido al insuficiente contenido de plata en la aleación, y (c) sinterización completa de NP-Au película debido a la temperatura de tratamiento térmico es demasiado alta.

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Discussion

Demostramos dos técnicas diferentes para micropatrón np-Au películas para expandir el uso de estas películas en microsistemas y los estudios biológicos. Oro-recubrimiento por pulverización catódica y la plata es un método versátil para crear patrones de NP-Au, como pulverización catódica es compatible con procesos convencionales de microfabricación y la composición de la aleación y el grosor se puede controlar fácilmente mediante la variación de las potencias pistola de pulverización individuales (para objetivos de oro y plata) y el tiempo de deposición, respectivamente. Normal NP-Au espesores de película intervalo de 200 nm a 2 micras. El método de la plantilla (Método 1, Figura 2a) mediante biopsia golpes y el bisturí permite crear patrones a escala milimétrica eludir la necesidad de fotolitografía. Patrones más complicados pueden ser producidos por un cortador de láser programable. El elastómero de silicona compatible con stencil auto-adhiere sobre superficies de cristal, lo que impide la deposición de metal debajo de la máscara y el aumento de la resolución del patrón. Sin embargo, f menorsticasoperativas (<1 mm) son típicamente difíciles de producir con este método, como el espesor de la plantilla impide la deposición de metal uniforme a través de las aberturas en la máscara. Las aplicaciones que requieren una resolución más alta función se puede lograr con modelar fotolitografía (método 2, Figura 2d). Las máscaras de transparencia para transferir patrones a través de la fotolitografía se pueden obtener de varias empresas (por ejemplo, Ciudad de salida, Bandon, Oregón) y son una alternativa económica a las máscaras de cromo-cristal cuando mínimos tamaños de las características deseadas son más de ~ 20 micras. La deposición de metal sobre la plantilla conforme a veces conduce a desprendimiento de la plantilla a partir del sustrato debido a la generación de la tensión no uniforme. Típicamente Mitigamos este problema asegurando la plantilla al sustrato subyacente mediante el uso de una cinta de poliimida en los bordes.

Cuando las muestras más pequeñas, tales como cubreobjetos circulares (12 mm de diámetro) utilizan típicamente en nuestros estudios, barcos porcelana muestran en (por ejemplo limpieza, dealloy) múltiples muestras pequeñas. El procesamiento por lotes de muestras aumenta la uniformidad de la nanoestructura producido a través de diferentes muestras. Las muestras pequeñas tienden a flotar cuando la inmersión en piraña o dealloying soluciones, a medida que estén hidrofóbico cuando se almacena en el aire. Antes de muestras de cualquier paso que requiere que se sumergen en un líquido, plasma su tratamiento (10 W durante 30 segundos) hace que la superficie del vidrio hidrofílico y ayuda a mitigar el problema flotante. El problema más común en la producción de NP-Au películas es la delaminación durante el paso dealloying. Esto se atribuye generalmente a la acumulación de esfuerzo de tracción debido a la contracción de volumen durante dealloying 21. Con el fin de prevenir la delaminación, es importante tener una fuerte adhesión entre la película np-Au y el sustrato. Esto se logra por un espesor suficiente de cromo (~ 150 nm) y el intermedio gcapa antigua (~ 200 nm). Películas depositadas deben aparecer claro a gris oscuro, visto desde la parte posterior de un sustrato transparente. La película pelado está representada en la Figura 5a es un buen ejemplo de cómo la parte trasera de la película no debe ser similar - el acabado de oro indica que la capa de cromo no es lo suficientemente gruesa como para garantizar una fuerte adhesión. Otra razón para la exfoliación es superficie de la muestra sucia, por lo que es esencial para superficies pirañas limpias antes de la deposición de metal. Además, es importante asegurarse de que la fotorresistencia está totalmente desarrollado antes de depositar la película, como cualquier fotorresistente residual evita la fuerte adhesión de metal depositado sobre la superficie de vidrio.

El tratamiento térmico de NP-Au películas es un método conveniente y controlable para modificar la morfología de poro (Figura 3). Mientras que un instrumento de recocido térmico rápido es deseable para el tratamiento térmico, hornos y placas de cocción también producen resultados aceptables. Tque dosis térmica y la temperatura debe ser controlada cuidadosamente, ya que las altas temperaturas (> 500 º C) puede llevar a la sinterización del np-Au y la desaparición de la porosidad (Figura 5c). Contenido de plata insuficiente en la aleación depositada (plata menos de 60%, en.%) También evita la formación de porosidad (Figura 5b).

Con el fin de establecer cultivos de células viables en las superficies recubiertas np-Au antes mencionados, es importante tomar las muestras en agua DI con varios cambios de agua para eliminar completamente el residuo de ácido nítrico a partir de la red porosa. Si bien no ha sido necesario para tratar las superficies con proteínas de la matriz extracelular (ECM específicos) antes de la siembra de las células, se observó que el tratamiento con plasma y remojar las muestras en medio de cultivo celular antes de la siembra de las células mejorar drásticamente la adhesión celular y la viabilidad. Esta mejora es más probable debido a la adsorción no específica de proteínas de adhesión a partir del suero en cemedios de cultivo ll sobre la superficie np-Au. Para condiciones de cultivo celular que requieren de medio libre de suero, puede ser necesario pre-tratar la superficie np-Au con moléculas de ECM (por ejemplo, fibronectina).

Para la determinación de poro / tamaño y la cobertura de vacío, así como el recuento de células y la cobertura de la célula, las imágenes deben ser convertidos a las imágenes en blanco y negro binarios (véanse las Figuras 3 y 4) - el proceso también se conoce como segmentación. Esto requiere elegir un valor de gris de umbral que es propensa a usuario-sesgo. Por lo tanto, los valores absolutos determinados por el procesamiento de imágenes deben ser reportados con precaución. La mayoría de los estudios requieren una comparación de las diferentes morfologías de las células y nanoestructura, por lo tanto, siempre y cuando los parámetros de análisis (por ejemplo, umbral, ventana de tamaño de partícula) se mantienen consistentes a través de las muestras, la significación estadística se puede lograr con un número relativamente pequeño de muestras. Antes de segmentación de imágenes, también es útilpara suavizar las imágenes y restar el fondo con los comandos incorporados en ImageJ (o una versión más especializada, Fiji). Ajustamos los parámetros de la macro incluida (archivos de código suplementarios 1-3) para proceso por lotes varias imágenes.

Esperamos que las técnicas mostradas aquí ayudarán a la comunidad científica en la integración np-Au en microsistemas, incluyendo múltiples conjuntos de electrodos para electrofisiología, biosensores, y esquemas de almacenamiento de energía en miniatura. Además, creemos que los métodos de procesamiento de imágenes semi-cuantitativos serán valiosos para una amplia gama de estudios sobre la interacción de los materiales y las células adherentes.

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Disclosures

Los autores no tienen ningún interés financiero en conflicto.

Acknowledgments

O. Kurtulus y D. Dimlioglu el apoyo de un laboratorio de investigación Comisiones Award Program de la Universidad de California 12-LR-237197. P. Daggumati con el apoyo de la Universidad de California Davis, las inversiones en investigación en el (RISE), Premio de Ciencias e Ingeniería. CA Chapman con el apoyo de un Departamento de Áreas de Asistencia Graduados de Educación de Beca Nacional de Necesidad. Este trabajo fue apoyado por el Programa UC Lab Comisiones de Investigación, Universidad de California en Davis RISE y UC Davis Facultad de Ingeniería de los fondos de puesta en marcha.

Materials

Name Company Catalog Number Comments
Gold target Lesker EJTAUXX403A2 Precursor to alloy for producing np-Au
Chrome target Lesker EJTCRXX353A2 Adhesive layer
Silver target Lesker EJTAGXX403A2 Precursor to alloy for producing np-Au
Porcelain boat Thomas Scientific 8542E40 Used for processing small samples
Nitric acid Sigma-Aldrich 43873 Used at 70% for dealloying
Sulfuric acid J.T Baker 7664-93-9 Used at 96% for piranha cleaning
Hydrogen peroxide J.T Baker 7722-84-1 Used at 30% for piranha cleaning
Biopsy punches Ted Pella 150xx Available in several sizes
Silicone elastomer sheets Rogers Corporation HT 6240 Available in several thicknesses
Hexamethyldisilazane Sigma-Aldrich 440191-100ML Used as adhesion promoter for positive resist
Microposit MF CD26 Shipley 38490 Positive photoresist developer
PRS 3000 J.T Baker JT6403-5 Positive photoresist stripper
Circular glass coverslips (12 mm) Ted Pella 26023 Used as substrate for metal patterns and cell culture
Glass slides (1 x 3 inch) Ted Pella 26007 Used as substrate for metal patterns
Kapton polyimide tape VWR 82030-950 Used for securing elastomer
Transparency masks Output City Used in photolithography http://www.outputcity.com/
Plasma cleaner Harrick Plasma PDC-32G Used for activating glass surfaces
Sputtering machine Kurt J. Lesker LAB18 Used for depositing metals

DOWNLOAD MATERIALS LIST

References

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