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Article de méthode

Fabrication de tridimensionnelles polyedres axée sur le graphène via Origami-Like se pliant

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DOI :

10.3791/58500

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23 septembre 2018

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Dans cet article

Résumé

Nous présentons ici un protocole pour la fabrication de 3D basé sur le graphène polyedres via origami-comme se pliant.

Résumé

L’assemblage de deux dimensions (2D) graphène dans les structures polyédriques tridimensionnelles (3D) tout en conservant d’excellentes propriétés inhérentes du graphène a été d’un grand intérêt pour le développement d’applications smart device roman. Ici, fabrication de 3D, a petite Echelle, creusent les polyèdres (cubes), composé de plusieurs couches de graphène 2D ou graphène oxyde feuilles via un processus autonome pliage origami-like est décrite. Cette méthode implique l’utilisation de cadres de polymère et charnières et des couches de protection en oxyde d’aluminium/chrome qui réduisent la résistance à la traction, spatiales, des contraintes de tension superficielle sur les membranes axée sur le graphène lorsque les filets 2D sont transforment en cubes 3D. Le procédé offre le contrôle de la taille et la forme de la structures ainsi que la production parallèle. En outre, cette approche permet la création de modifications de surface en métal sur chaque face des cubes 3D le patterning. Études de spectroscopie de Raman montrent que la méthode permet la préservation des propriétés intrinsèques des membranes axée sur le graphène, ce qui démontre la solidité de notre méthode.

Introduction

Deux dimensions (2D) graphène feuilles possèdent des propriétés optiques, électroniques et mécaniques extraordinaires, ce qui les rend de modéliser des systèmes pour l’observation des phénomènes quantiques roman pour génération électronique, optoélectronique, électrochimique, les applications biomédicales et électromécanique1,2,3,4,5,6. En dehors de la production 2D structure en couches de graphène, récemment, diverses approches de modification ont été étudiés pour respect....

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Protocole

ATTENTION : Plusieurs des produits chimiques utilisés dans ces synthèses sont toxiques et peuvent causer des irritations et des dommages graves organes quand ils sont touchés ou inhalé. S’il vous plaît utiliser l’équipement de sécurité approprié et porter des équipements de protection individuelle lors de la manipulation de produits chimiques.

1. préparation de l’oxyde d’aluminium et de chrome Protection couches sur une couche sacrificielle cuivre

  1. À l’aide d’un évaporateur à faisceau d’électrons, dépôt de 10 nm épais chrome (Cr) et 300 nm en cuivre (Cu) couches épaisses (couche sacrificielle) sur le substrat de silicium (Si) (

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Résultats

Figure 2 affiche les images optiques les procédés lithographiques du graphène 2D et GO nets structures et processus de pliage automatique subséquent. Le processus de pliage automatique est surveillé en temps réel via un microscope de haute résolution. Les deux types de 3D cubes axée sur le graphène sont pliées à ~ 80 ° C. Figure 3 présente les séquences capturées vidéo montrant le pliage automatique de 3D cubes axée sur .......

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Discussion

Pour les glaçons fabriqués avec graphène CVD, car chaque face d’un cube donné est doté d’un cadre extérieur entourant une zone de2 ~ 160 × 160 µm de graphène autoportantes, une seule feuille de graphène monocouche n’a pas la force nécessaire pour permettre traitement parallèle des cubes. Pour cette raison, membranes de graphène constituée de trois couches de monocouche de graphène CVD feuilles sont produites via trois transferts de graphène distinct à l’aide de multiples étapes de revêtement/éliminati.......

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Déclarations de divulgation

Les auteurs n’ont rien à divulguer.

Remerciements

Ce matériel est basé sur le travail soutenu par un fonds de lancement à l’Université du Minnesota, Twin Cities et une bourse de carrière de la NSF (CMMI-1454293). Certaines parties de ce travail ont été effectuées dans l’installation de caractérisation à l’Université du Minnesota, membre de la NSF-financé matériaux recherche installations réseau (via le programme MRSEC. Parties de ce document ont été menées dans le centre de Nano de Minnesota, qui est soutenu par la Fondation nationale des sciences à travers le National Nano coordonnée Infrastructure réseau (NNCI) sous attribution numéro ECCS-1542202. C. D. reconnaît le soutien des 3 M Science et Technology F....

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Matériaux

Liste des matériaux utilisés dans cet article
NomEntrepriseNuméro de catalogueCommentaires
AcétoneFisher ChemicalA18P-4N/A
Oxyde d’aluminiumKurt J. Lesker CompanyEVMALO-1-2.5pur à 99,99 %
Gravure 100Transene Company, Inc.N/AN/A
Appareil photo (pour l’image 3D)NikonD51001080p Full HD, Pixels effectifs : 16,2 millions, Taille du capteur : 23,6 mm x 15,6 mm
CE-5 M Masque au chrome EtchantTransene Company, Inc.N/AN/A
Système de croissance par dépôt chimique (CVD)PersonnaliséN/ALindberg/Blue Four tubulaire
chromeKurt J. Lesker CompanyEVMCR35Jpur à 99,95 %
473Transene Company, Inc.N/AN/A
CuivreKurt J. Lesker CompanyEVMCU40QXQJ99,99
Révélateur-1 (développeur MF319)Microposit10018042N/A
Développeur-2 (développeur AZ)Merck performance Materials Corp.1005422496N/A
Developer-3 (développeur SU-8)MicroChemNC9901158N/A
Plaque chauffante numériqueThermo ScientificHP131725série Super-Nuvoa, température maximale : 370 ° ; C
E-Beam système d’évaporationRocky Mountain Vacuum Tech.N/ARME-2000
Oxyde de graphèneGoographèneN/APureté : ~ 99 % ; Rapport monocouche : ~99 % ;   ; 0,7 à 1,2 nm d’épaisseur.
Alcool isopropyliqueFisher ChemicalA416-4N/A
Aligneur de masqueMidasMDA-400LJN/A
MicroscopeOmaxNJF-120AN/A
polyméthacrylate de méthyle multiple (PMMA)MicroChem950 PMMA A9N/A
Plasma d’oxygène  ;Technics Inc.SÉRIE 800Gravure ionique réactive à l’échelle microscopique (RIE)
Photoresist-1 (S1813 Photoresist)Microposit10018348N/A
Photoresist-2 (SPR220 Photoresist)MicroChemSPR00220-7GN/A
Photoresist-3 (SU-8 Photoresist)MicroChemSU-8-2010N/A
ProfilometerTencor InstrumentsN/AAlpha-Step 200
RamanWITec Instruments Corp.Alpha300RMicroscope Raman confocal
Plaquette de siliciumSiltronic AGN/A100mm de diamètre, type N, polissage unilatéral, résivité : 560-840 &Omega ; et taureau ; cm
SpinnerMeilleurs outilsS0114031123SMART COATER 100
TitaneKurt J. Lesker CompanyEVMTI45QXQApur à 99,99 %
Crest UltrasonicsN/ASérie Powersonic
Cuivre APS au Gravure au chrome  % Nettoyeur à ultrasons

Références

  1. Geim, A. K., Novoselov, K. S. The rise of graphene. Nature Materials. 6 (3), 183-191 (2007).
  2. Singh, V., et al. Graphene based materials: Past, present and future. Progress in Materials Science. 56 (8), 1178-1271 (2011).
  3. Bonaccorso, F., Sun, Z., Hasan, T., Ferrari, A. C.

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Réimpressions et autorisations

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