Fonksiyonel Malzemelerin Nanomoulding, Nanoimprinting bir yönlü Tamamlayıcı Desen Çoğaltma Yöntemi

Summary

Biz fonksiyonel malzemeler, malzeme yığınları ve tam cihazların düşük maliyetli nano desenleme sağlayan bir nanomoulding tekniği tarif. Nanomoulding herhangi nanoimprinting kurulum üzerinde gerçekleştirilebilir ve malzemeler ve çökelme süreçleri geniş bir aralığı için uygulanabilir.

Abstract

Biz fonksiyonel malzemeler, malzeme yığınları ve tam cihazların düşük maliyetli nano desenleme sağlayan bir nanomoulding tekniği tarif. Tabaka ile birleştirilmiş transferi Nanomoulding fonksiyonel materyal üzerine bir ana yapısı isteğe bağlı yüzey desenleri çoğaltma sağlar. Nanomoulding herhangi nanoimprinting kurulum üzerinde gerçekleştirilebilir ve malzemeler ve çökelme süreçleri geniş bir aralığı için uygulanabilir. Özellikle biz güneş hücreleri ışık yakalama uygulamaları için desenli şeffaf çinko oksit elektrot fabrikasyonu göstermektedir.

Introduction

Nanopatterning nanoteknoloji ve uygulamalı bilimlerin birçok alanında büyük önem kazanmıştır. Desen nesil ilk adımdır ve bu tür Nanokürecikli litografi veya blok kopolimer litografi ¹ olarak öz-montaj yöntemleri dayalı elektron demeti litografi veya aşağıdan-yukarıya yaklaşımlar olarak yukarıdan-aşağı yaklaşımlarla gerçekleştirilebilir. Desen üretimi kadar önemli desen çoğaltma. Fotolitografi Ayrıca nanoimprinting (Şekil 1) düşük maliyetli ^2-4 high-throughput büyük alanlı nano desenleme için uygun özellikle umut verici bir alternatif olarak ortaya çıkmıştır. Fotolitografi desenli bir maske gerektirir iken, nanoimprinting bir pre....

Protocol

1. Kalıp İmalatı

Biz. Negatif kalıp aşağıdaki Ref imalatı için ⁶ bizim ev yapımı nanoimprinting kurulum kullanabilirsiniz, ancak herhangi bir alternatif nanoimprinting kurulum düzgün çalışmaz. Alternatif bir Fonksiyonlu polidimetilsiloksan (PDMS) kalıp da işe yarayabilir.

1. Fabrikasyona veya aktarılacak nano desen taşıyan uygun bir usta satın. Prensip olarak, nanoimprinting için uygun herhangi bir ana iş yapacak. Biz yöntemini göstermek için bir ana yapı olarak 3.1 'de açıklanan yatırılan bir cam levha üzerinde dokulu ZnO tabakası (Schott, AF32 eko, 41 mm x 41 mm x 0,5 mm) kullanın.
2. 2'de tarif edildiğ....

Results

Şekil 3, nanomoulded yapıların açıklayıcı örnekler özetlenmiştir. Camına KVH tarafından yetiştirilen bir ZnO ana yapısı (a) 'da gösterilmiştir. Karşılık gelen nanomoulded ZnO kopya (d) 'de gösterilmiştir. Yerel yüksekliği (g) ve AFM görüntüleri elde açısı (j) histogramlar Karşılaştırılması nanomoulding sürecinin yüksek sadakat göstermektedir. Benzeri sonuçlar girişime litografi (b, e, h, k) ve anodically dokulu alüminyum (c, f, i, l) tarafından uydurulan tek boyutlu bir ızgara için gösterilmiştir.

<.......

Discussion

Nanomoulding keyfi fonksiyonel malzemeler üzerinde nanopatterns de transferini sağlar. Şekil 1 ve 2 içinde her bir işlem adımları karşılaştırılması nanomoulding ve nanoimprinting arasındaki yakın ilişki ortaya çıkmaktadır. Nanomoulding ve nanoimprinting arasındaki en önemli fark Şekil 2e yılında ek malzeme biriktirme adımdır. Kalan işlem akışı aynıdır. Nanomoulding bu nedenle herhangi bir müsait nanoimprinting kurulum üzerinde gerçekleştirilebilir.

Materials

List of materials used in this article

Name	Company	Catalog Number	Comments
Reaktif Adı	Şirket	Katalog Numarası	Yorumlar (isteğe bağlı)
Nanoimprinting reçine	Microresist	Ormostamp
(1H, 1H, 2H, 2H-Perfluoroctyl)-trichlorsilane, anti-yapışma ajan	Sigma Aldrich	448931-10G
Cam slayt	Schott	AF32 eko	0.5 mm
Polietilen naphtalate (PEN) yaprak	Goodfellow	ES361090	0,125 mm
(C 2 H 5) 2 Zn	Akzo Nobel
Ag hedef 4N sputter	Heraeus	81062165
B 2 H 6, SiH 4, 2 H, B (CH3) 3, PH 3, 4 CH, CO 2	Messer
			EKİPMAN
Sistemi Nanoimprinting	Ev-
LP-CVD sistemi	Ev-
PVD sistemi	Leybold	Univex 450 B
PE-CVD reaktör	Indeotec	Ahtapot I
SEM	JEOL	JSM-7500 TFE
AFM	Dijital Aletler	NanoScope 3100