Name: Real-Time DC-dinamik Öngerilimlenmesi Yöntem Ciddi Underdamped saçak-alanında Elektrostatik MEMS Eyleyiciler Zaman İyileştirme Anahtarlama (Video) | JoVE Journal
Uploaded: 2014-08-15T17:00:00.000+00:00
Duration: 11 min 44 s
Description: Öğrenin, elektrostatik MEMS eyleyicilerin yerleşme süresini dinamik öngerilimleme yöntemiyle nasıl iyileştireceğinizi. Bu teknik, anahtarlama hızını artırarak mikro ölçüm uygulamalarına da katkı sağlar.

ai_agent_IP

ai_agent

maintenance

instantTrialDurationMinutes

isBiopharma

enableNewMyJoveSectionDesign

educationFeatures

seoMetaApi

ai_copilot_institution_blacklist

ai_chat_institution_blacklist

freeAccessWindow

ssoRoleCapture

scheduledMaintenanceBanner

joveLabsFeatures

disable_autoplay_for_bots

extended_trial_duration

5 minutes

Yazarlar yaptığı yardım ve kullanışlı teknik tartışmalar için Ryan Tung teşekkür etmek istiyorum. Yazarlar ayrıca Birck Nanoteknoloji Merkezi teknik personelin yardım ve destek için teşekkürlerimizi sunarız. Bu çalışma Purdue Mikrodalga Reconfigurable Evanescent-Mod Boşluğuna altında Gelişmiş Savunma Araştırma Projeleri Ajansı tarafından desteklenmiştir Çalışması Filtreler. Ve ayrıca Ödülü Numarası DE-FC5208NA28617 altında Güvenilirlik, Dürüstlük ve Microsystems beka ve Enerji Bölümü Tahmini NNSA Merkezi tarafından. Bu kağıt / sunumda bulunan görünümleri, görüş ve / veya bulgular yazarlar / sunum aittir ve Savunma İleri Araştırma Projeleri Ajansı veya Bölümü, resmi görüş ve politikalarını temsil olarak yorumlanır, örtülü veya açık olmamalıdır Savunma.

<ol><li>Rebeiz, G. <a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=author%3aRebeiz%2C+G+%22RF+MEMS%3A+Theory%2C+Design%2C+and+Technology%22">RF MEMS: Theory, Design, and Technology</a>. , John Wiley and Sons. (2003).</li>
<li>Senturia, S. D. <a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=author%3aSenturia%2C+SD+%22Microsystem+Design%22">Microsystem Design</a>. , Springer. (2001).</li>
<li>Bouchaud, J. <a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=author%3aBouchaud%2C+J+%22Propelled+by+HP+Inkjet+Sales%2C+STMicroelectronics+Remains+Top+MEMS+Foundry%22">Propelled by HP Inkjet Sales, STMicroelectronics Remains Top MEMS Foundry</a>. , Available from: 
 <a target="_blank" href="http://www.isuppli.com/MEMS-and-Sensors/News/Pages/Propelled-by-HP-Inkjet-Sales-STMicroelectronics-Remains-Top-MEMS-Foundry.aspx">http://www.isuppli.com/MEMS-and-Sensors/News/Pages/Propelled-by-HP-Inkjet-Sales-STMicroelectronics-Remains-Top-MEMS-Foundry.aspx</a> (2011).</li>
<li>Lantowski, K. G. D. The Future of Cinema Has Arrived: More Than 50,000. <a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=author%3aLantowski%2C+KGD+%22Theatre+Screens+Worldwide+Feature+The+Brightest%2C+2D%2F3D+Digital+Cinema+Experience+With+DLP+Cinema%22">Theatre Screens Worldwide Feature The Brightest, 2D/3D Digital Cinema Experience With DLP Cinema</a>. , Available from: 
 <a target="_blank" href="http://www.dlp.com/technology/dlp-press-releases/press-release.aspx?id=1510">http://www.dlp.com/technology/dlp-press-releases/press-release.aspx?id=1510</a> (2011).</li>
<li>Bosch-Wachtel, T. <a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=author%3aBosch-Wachtel%2C+T+%22Knowles+Ships+2+Billionth+SiSonic+MEMS+Microphone%22">Knowles Ships 2 Billionth SiSonic MEMS Microphone</a>. , Available from: 
 <a target="_blank" href="http://pressrelease.smartoman.com/?p=2810">http://pressrelease.smartoman.com/?p=2810</a> (2011).</li>
<li>Burke, J. <a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=author%3aBurke%2C+J+%22Mirasol+Display+Capabilities+Add+Color+and+Interactivity+to+Improve+User+Experience+for+Renowned+Jin+Yong+Branded+Device%22">Mirasol Display Capabilities Add Color and Interactivity to Improve User Experience for Renowned Jin Yong Branded Device</a>. , Available from: 
 <a target="_blank" href="http://www.mirasoldisplays.com/press-center/pressreleases/2012/01/koobe-taiwan%E2%80%99s-leading-e-reader-manufacturer-and-qualcommbring">http://www.mirasoldisplays.com/press-center/pressreleases/2012/01/koobe-taiwan%E2%80%99s-leading-e-reader-manufacturer-and-qualcommbring</a> (2012).</li>
<li>Bettler, D. <a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=author%3aBettler%2C+D+%22MEMStronics+Captures+Prestigious+R+%26+D+100+Award%22">MEMStronics Captures Prestigious R & D 100 Award</a>. , Available from: 
 <a target="_blank" href=" http://www.memtronics.com/files/MEMtronics_Press_Release7_1_2011.pdf"> http://www.memtronics.com/files/MEMtronics_Press_Release7_1_2011.pdf</a> (2011).</li>
<li>Marsh, C. <a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=author%3aMarsh%2C+C+%22Omron+Releases+New+RF+MEMS+Switch+with+Superior+High+Frequency+Characteristics+rated+to+100+Million+Operations%22">Omron Releases New RF MEMS Switch with Superior High Frequency Characteristics rated to 100 Million Operations</a>. , Available from: 
 <a target="_blank" href=" http://www.components.omron.com/components/web/pdflib.nsf/0/. D69D5B6BCBE68DC2862574FD005B5141/$file/Omron 2MES-1 PR final.pdf"> http://www.components.omron.com/components/web/pdflib.nsf/0/. D69D5B6BCBE68DC2862574FD005B5141/$file/Omron 2MES-1 PR final.pdf</a> (2008).</li>
<li>Rosa, M. A., Bruyker, D. D., Volkel, A. R., Peeters, E., Dunec, J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((A+novel+external+electrode+configuration+for+the+electrostatic+actuation+of+MEMS+based+devices%5BTitle%5D)+AND+%22J.+Micromech.+Microeng%22%5BJournal%5D)">A novel external electrode configuration for the electrostatic actuation of MEMS based devices.</a> J. Micromech. Microeng. 14, 446-451 (2004).</li>
<li>Rottenberg, X., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Electrostatic+fringing-field+actuator+%28EFFA%29%3A+application+towards+a+low-complexity+thin+film+RF-MEMS+technology%5BTitle%5D)+AND+%22J.+Micromech.+Microeng%22%5BJournal%5D)">Electrostatic fringing-field actuator (EFFA): application towards a low-complexity thin film RF-MEMS technology.</a> J. Micromech. Microeng. 17, S204-S210 (2007).</li>
<li>Allen, W. N., Small, J., Liu, X., Peroulis, D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Bandwidth-optimal+single+shunt-capacitor+matching+networks+for+parallel+RC+loads+of+Q+%3E%3E+1%5BTitle%5D)+AND+%22Asia-Pacific+Microw.+Conf+%28Singapore%29%22%5BJournal%5D)">Bandwidth-optimal single shunt-capacitor matching networks for parallel RC loads of Q >> 1.</a> Asia-Pacific Microw. Conf (Singapore). , 2128-2131 (2009).</li>
<li>Small, J., Liu, X., Garg, A., Peroulis, D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Electrostatically+tunable+analog+single+crystal+silicon+fringing-field+MEMS+varactor%5BTitle%5D)+AND+%22Asia-Pacific+Microw+Conf+%28Singapore%29%22%5BJournal%5D)">Electrostatically tunable analog single crystal silicon fringing-field MEMS varactor.</a> Asia-Pacific Microw Conf (Singapore). , 575-578 (2009).</li>
<li>Liu, X., Small, J., Berdy, D., Katehi, L. P. B., Chappell, W. J., Peroulis, D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Impact+of+mechanical+vibration+on+the+performance+of+RF+MEMS+evanescent-mode+tunable+resonators%5BTitle%5D)+AND+%22IEEE+Microw.+Wireless+Compon.+Lett%22%5BJournal%5D)">Impact of mechanical vibration on the performance of RF MEMS evanescent-mode tunable resonators.</a> IEEE Microw. Wireless Compon. Lett. 21, 406-408 (2011).</li>
<li>Small, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Electrostatic+fringing+field+actuation+for+pull-in+free+RF-MEMS+analog+tunable+resonators%5BTitle%5D)+AND+%22J.+Micromech.+Microeng%22%5BJournal%5D)">Electrostatic fringing field actuation for pull-in free RF-MEMS analog tunable resonators.</a> J. Micromech. Microeng. 22, 095004(2012).</li>
<li>Su, J. <a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=%22A+lateral-drive+method+to+address+pull-in+failure+in+MEMS%22">A lateral-drive method to address pull-in failure in MEMS</a>. , Dept. Elect. Comput. Eng., University of Notre Dame. (2008).</li>
<li>Scott, S., Peroulis, D. A capacitively-loaded MEMS slot element for wireless temperature sensing of up to 300°C . IEEE MTT-S Int. Microwave Symp. Dig, Boston, MA, USA, , 1161-1164 (2009).</li>
<li>Scott, S., Sadeghi, F., Peroulis, D. Inherently-robust 300C MEMS sensor for wireless health monitoring of ball and rolling element bearings. IEEE Sensors, Christchurch, New Zealand, , 975-978 (2009).</li>
<li>Lee, K. B. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Non-contact+electrostatic+microactuator+using+slit+structures%3A+theory+and+a+preliminary+test%5BTitle%5D)+AND+%22J.+Micromech.+Microeng%22%5BJournal%5D)">Non-contact electrostatic microactuator using slit structures: theory and a preliminary test.</a> J. Micromech. Microeng. 17, 2186-2196 (2007).</li>
<li>Su, J., Yang, H., Fay, P., Porod, W., Berstein, G. H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((A+surface+micromachined+offset-drive+method+to+extend+the+electrostatic+travel+range%5BTitle%5D)+AND+%22J.+Micromech.+Microeng%22%5BJournal%5D)">A surface micromachined offset-drive method to extend the electrostatic travel range.</a> J. Micromech. Microeng. 20, 015004(2010).</li>
<li>Small, J., Fruehling, A., Garg, A., Liu, X., Peroulis, D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((DC-dynamic+biasing+for+%3E50x+switching+time+improvement+in+severely+underdamped+fringing-field+electrostatic+MEMS+actuators%5BTitle%5D)+AND+%22J.+Micromech.+Microeng%22%5BJournal%5D)">DC-dynamic biasing for >50x switching time improvement in severely underdamped fringing-field electrostatic MEMS actuators.</a> J. Micromech. Microeng. 22, (2012).</li>
<li>Borovic, B., Liu, A. Q., Popa, D., Cai, H., Lewis, F. L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Open-loop+versus+closed-loop+control+of+MEMS+devices%3A+Choices+and+issues%5BTitle%5D)+AND+%22J.+Micromech.+Microeng%22%5BJournal%5D)">Open-loop versus closed-loop control of MEMS devices: Choices and issues.</a> J. Micromech. Microeng. 15, 1917-1924 (2005).</li>
<li>Pons-Nin, J., Rodriquez, A., Castaner, L. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Voltage+and+pull-in+time+in+current+drive+of+electrostatic+actuators%5BTitle%5D)+AND+%22J.+Microelectromech.+Syst%22%5BJournal%5D)">Voltage and pull-in time in current drive of electrostatic actuators.</a> J. Microelectromech. Syst. 11, 196-205 (2002).</li>
<li>Czaplewski, D. A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((A+Soft+Landing+Waveform+for+Actuation+of+a+Single-Pole+Single-Throw+Ohmic+RF+MEMS+Switch%5BTitle%5D)+AND+%22+J.+Microelectromech.+Syst%22%5BJournal%5D)">A Soft Landing Waveform for Actuation of a Single-Pole Single-Throw Ohmic RF MEMS Switch.</a> J. Microelectromech. Syst. 15, 1586-1594 (2006).</li>
<li>Elata, D., Bamberger, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((On+the+dynamic+pull-in+of+electrostatic+actuators+with+multiple+degrees+of+freedom+and+multiple+voltage+sources%5BTitle%5D)+AND+%22J.+Microelectromech.+Syst%22%5BJournal%5D)">On the dynamic pull-in of electrostatic actuators with multiple degrees of freedom and multiple voltage sources.</a> J. Microelectromech. Syst. 15, 131-140 (2006).</li>
<li>Chen, K. S., Ou, K. S. Fast positioning and impact minimizing of MEMS devices by suppression motion-induced vibration by command shaping method. Proc. IEEE 22nd Int. Conf. Micro Electro Mech. Syst, Sorrento, Italy, , 1103-1106 (2009).</li>
<li>Chen, K. S., Yang, T. S., Yin, J. F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Residual+vibration+suppression+for+duffing+nonlinear+systems+with+electromagnetical+actuation+using+nonlinear+command+shaping+techniques%5BTitle%5D)+AND+%22ASME+J.+Vibration+and+Acoustics%22%5BJournal%5D)">Residual vibration suppression for duffing nonlinear systems with electromagnetical actuation using nonlinear command shaping techniques.</a> ASME J. Vibration and Acoustics. 128, 778-789 (2006).</li>
<li>Buffered oxide etchant; MSDS No. B5636 [Online]; . , Mallinckrodt Baker, Inc. Phillipsburg, NJ. Available from: 
 <a target="_blank" href="http://nrf.aux.eng.ufl.edu/_files/msds/299.pdf">http://nrf.aux.eng.ufl.edu/_files/msds/299.pdf</a> (2009).</li>
<li>Acetone; MSDS No. A0446 [Online]. , Mallinckrodt Baker, Inc.. Phillipsburg, NJ. Available from: 
 <a target="_blank" href="http://www.clean.cise.columbia.edu/msds/acetone.pdf">http://www.clean.cise.columbia.edu/msds/acetone.pdf</a> (2001).</li>
<li>Isopropyl alcohol. MSDS No. BDH-140 [Online]. , Honeywell. Muskegon, MI. Available from: 
 <a target="_blank" href="http://grice.cofc.edu/pdf/MSDS/Rm205/Plante/Isopropyl%20Alcohol%2099%25.pdf">http://grice.cofc.edu/pdf/MSDS/Rm205/Plante/Isopropyl%20Alcohol%2099%25.pdf</a> (2005).</li>
<li>Hexamethyldisilazane. MSDS No. H2066 [Online]. , Mallinckrodt Baker, Inc. Phillipsburg, NJ. Available from: 
 <a target="_blank" href="http://kni.caltech.edu/facilities/msds/hmds.pdf">http://kni.caltech.edu/facilities/msds/hmds.pdf</a> (2007).</li>
<li>Microposit SC 1827 Positive Photoresist. [Online]. , Rohm and Haas Electronic Materials LLC. Marlborough, MA. Available from: 
 <a target="_blank" href="http://mfc.engr.arizona.edu/safety/MSDS%20FOLDER/Microposit%20SC%201827%20Photoresist.pdf">http://mfc.engr.arizona.edu/safety/MSDS%20FOLDER/Microposit%20SC%201827%20Photoresist.pdf</a> (2004).</li>
<li>SUSS MJB 3 mask aligner operator’s reference manual rev A. [Online]. , Karl Suss. Available from: 
 <a target="_blank" href="http://www.acsu.buffalo.edu/~btvu/doc/cr/Suss%20MJB-3%20Operator's%20Manual.pdf">http://www.acsu.buffalo.edu/~btvu/doc/cr/Suss%20MJB-3%20Operator's%20Manual.pdf</a> (2013).</li>
<li>Microposit MF-26A developer. [Online]. , Shipley Europe Ltd. Coventry, UK. Available from: 
 <a target="_blank" href="http://www.nanotech.wisc.edu/CNT_LABS/MSDS/Developers/MSDS%20MF26A.pdf">http://www.nanotech.wisc.edu/CNT_LABS/MSDS/Developers/MSDS%20MF26A.pdf</a> (2000).</li>
<li>Technics 800 Micro RIE Operating Manual. [Online]. , Available from: 
 <a target="_blank" href="http://research.engineering.ucdavis.edu/cnm2/wp-content/uploads/sites/11/2013/05/Technics800RIE.pdf">http://research.engineering.ucdavis.edu/cnm2/wp-content/uploads/sites/11/2013/05/Technics800RIE.pdf</a> (2008).</li>
<li>Tetramethylammonium hydroxide. MSDS No. 334901 [Online]. , Sigma-Aldrich. Saint Loius, MO. Available from: 
 <a target="_blank" href="
http://www.sigmaaldrich.com/MSDS/MSDS/DisplayMSDSPage.do?country=US&language=en&productNumber=334901&brand=SIAL&PageToGoToURL=http%3A%2F%2Fwww.sigmaaldrich.com%2Fcatalog%2Fproduct%2Fsial%2F334901%3Flang%3Den">
http://www.sigmaaldrich.com/MSDS/MSDS/DisplayMSDSPage.do?country=US&language=en&productNumber=334901&brand=SIAL&PageToGoToURL=http%3A%2F%2Fwww.sigmaaldrich.com%2Fcatalog%2Fproduct%2Fsial%2F334901%3Flang%3Den</a> (2012).</li>
<li>Hydrofluoric acid. [Online]. , Sciencelab.com, Inc. Houston, TX. Available from: 
 <a target="_blank" href="http://www.sciencelab.com/msds.php?msdsId=9924296">http://www.sciencelab.com/msds.php?msdsId=9924296</a> (2012).</li>
<li>Piranha clean. [Online]. , Tufts University Standard Operating Procedure. Available from: 
 <a target="_blank" href="http://engineering.tufts.edu/microfab/index_files/SOP/PiranhaClean_SOP.pdf">http://engineering.tufts.edu/microfab/index_files/SOP/PiranhaClean_SOP.pdf</a> (2007).</li>
<li><a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=%22Transene+Sulfite+Gold+TSG-250.+Product+Number%3A+110-TSG-250%22">Transene Sulfite Gold TSG-250. Product Number: 110-TSG-250</a>. , Transene Company. Danvers, MA. (2012).</li>
<li>Baker PRS-3000™ Positive Resist Stripper. MSDS No. B0203 [Online]. , Mallinckrodt Baker, Inc. Phillipsburg, NJ. Available from: 
 <a target="_blank" href="http://mcf.tamu.edu/docs/msds-pdfs/BAKER-PRS-3000.pdf">http://mcf.tamu.edu/docs/msds-pdfs/BAKER-PRS-3000.pdf</a> (2001).</li>
<li><a target="_blank" href="http://scholar.google.com/scholar?hl=en&safe=off&q=%22Gold+etchant+type+TFA.+Product+Number%3A+060-0015000%22">Gold etchant type TFA. Product Number: 060-0015000</a>. , Transene Company. Danvers, MA. (2012).</li>
<li>Xenon Difluoride Etching System. Lab manual Chapter 7.5 [Online]. , Marvell Nanofabrication Laboratory. Berkeley, CA. Available from: 
 <a target="_blank" href="http://nanolab.berkeley.edu/labmanual/chap7/7.5xetch.pdf">http://nanolab.berkeley.edu/labmanual/chap7/7.5xetch.pdf</a> (2003).</li>
<li>Garg, A., Small, J., Mahapatro, A., Liu, X., Peroulis, D. Impact of sacrificial layer type on thin film metal residual stress. IEEE Sensors, Christchurch, New Zealand, , 1052-1055 (2009).</li>
</ol>

Yazarlar ifşa hiçbir şey yok.

Düşük artık gerilme, Au film kaplama ve 2 XeF sahip kuru bir serbest bırakma cihazının başarılı üretiminde kritik bileşenleridir. Paralel plaka alan işleticiler ile karşılaştırıldığında zaman elektrostatik saçak alan aktüatörler nispeten düşük kuvvetler sağlamak. &gt; 60 MPa, MEMS ince film tipik gerilmeler potansiyel Effa MEMS güvenirlik sağlamak için çok yüksek gerilimlerin tahrik ile sonuçlanacaktır. Bu nedenle dikkatli bir şekilde elektro tarifi düşük ortalama iki-eksenli stres ile ince bir film elde etme...

Mikroelektromekanik sistemler (MEMS) mekanik deplasman ulaşmak için çeşitli çalıştırma mekanizmalarının kullanmaktadır. En popüler termal, piezoelektrik, magnetostatik ve elektrostatik. Kısa anahtarlama süre için, elektrostatik tahrik en popüler teknik 1, 2. Uygulamada, eleştirel-sönümlü mekanik tasarımlar, ilk yükselme zamanı ve yerleşme zamanı arasındaki en iyi dengeyi sağlar. DC önyargı uygulayarak ve aşağı açılan elektrot doğru membran basıldıktan sonra, çöktürme zaman oturması ve dielektrik kaplanmış çalıştırma elektrot uyacaktır membran gibi önemli bir sorun değildir. 8 - Çeşitli uygulamalar yukarıda belirtilen elektrostatik harekete tasarım 3 yararlanmıştır. Bununla birlikte, kaplanmış dielektrik açılan elektrot varlığı dielektrik şarj ve stiction için aktüatör duyarlı hale getirir. MEMS membranlar u kullanabilirnderdamped mekanik tasarım hızlı bir başlangıç ​​yükselme zamanı elde etmek. Bir underdamped mekanik tasarım örneği (Effa) MEMS harekete elektrostatik saçak-alanıdır. Bu topoloji elektrostatik tabanlı tasarımlar 9-20 veba tipik başarısızlık mekanizmalarına çok daha az güvenlik açığı sergiledi. Paralel elektrot ve buna bağlı olarak paralel elektrik alanının olmaması bu MEMS uygun bir şekilde &quot;saçaklanma alan&quot; çalıştırılan (Şekil 1) olarak adlandırılır nedeni budur. Effa tasarım için, açılan elektrot yer alan yanal olarak tamamen cihazın hareket halindeki ve sabit kısımları arasındaki örtüşme ortadan kaldırarak, hareketli zara ofset iki ayrı elektrot ayrılmıştır. Bununla birlikte, hareketli membran altından alt-tabakanın çıkarılması ve böylece önemli ölçüde yerleşme süresini arttırmak komponenti süspansiyon sıkıştırma filmi azaltır. Şekil 2B standar karşılık olarak bir yerine oturma süresi örneğidird adım kutuplama. Geçici veya DC-dinamik yerleşme zamanını 20-26 iyileştirmek için kullanılabilir, gerçek zamanlı olarak ağırlık verme uygulanır. 2C ve 2D niteliksel bir zaman değişen dalga etkili zil iptal nasıl tasvir. Önceki araştırma çabaları anahtarlama süresini artırmak için giriş önyargı hassas voltaj ve zamanlamaları hesaplamak için sayısal yöntemleri kullanmaktadır. Bu çalışmada yöntem giriş offset dalga parametreleri hesaplamak için kompakt kapalı form ifadeler kullanır. Ayrıca, daha önceki iş paralel plaka harekete odaklanmıştır. Underdamped yapılar için tasarlanmış olsa da, sıkıştırma film süspansiyon hala bu konfigürasyonda kullanılabilir. Bu çalışmada sunulan çalıştırma yöntemi, saçak alan tahrik olduğunu. Bu yapılandırmada sıkmak film sönümleme etkili bir şekilde bertaraf edilir. Bu MEMS kirişin mekanik titreşim sönümleme çok düşük olan bir uç örneğini temsil eder. Bu kağıt Effa MEMS dev imal açıklamaktadırbuzlar deneysel dalga kavramını doğrulamak için ölçüm yapmak ve.

<table><tbody><tr><td colspan="4">Chemicals</td></tr><tr><td>Tamponlu oksit etchant</td><td>Mallinckrodt Baker</td><td>1178</td><td>Silikon dioksit aşındırma, Ti aşındırma</td></tr><tr><td>Aseton</td><td>Mallinckrodt Baker</td><td>5356</td><td>Gofret temiz</td></tr><tr><td>İzopropil alkol</td><td>Honeywell</td><td>BDH-140</td><td>Gofret temiz</td></tr><tr><td>Heksametildisilizane</td><td>Mallinckrodt Baker</td><td>5797</td><td>Yapışma promotör</td></tr><tr><td>Microposit SC 1827 Pozitif Photoresist</td><td>Shipley Europe Ltd</td><td>44090</td><td>Desen, galvanik</td></tr><tr><td>Microposit MF-26A geliştirici</td><td>Shipley Europe Ltd</td><td>31200</td><td>SC 1827</td></tr><tr><td>Tetrametilamonyum hidroksit</td><td>Sigma-Aldrich</td><td>334901</td><td>Toplu Si aşındırma</td></tr><tr><td>Sülfürik asit</td><td>Sciencelab.com</td><td>SLS2539</td><td>Gofret temiz</td></tr> <tr><td>geliştirmekHidrojen peroksit</td><td>Sciencelab.com</td><td>SLH1552</td><td>Gofret temiz</td></tr><tr><td>Transen Sülfit Altın TSG-250</td><td>Transense</td><td>110-TSG-250</td><td>Au galvanik kaplama çözeltisi</td></tr><tr><td>Baker PRS-3000 Pozitif Dirençli Sıyırıcı</td><td>Mallinckrodt Baker</td><td>6403</td><td>Fotorezist sıyırıcı</td></tr><tr><td>Altın aşındırıcı tipi TFA</td><td>Transense</td><td>060-0015000</td><td>Au etch</td></tr><tr><td colspan="4"> Ekipman< / güçlü ></td></tr> <tr><td>Maske hizalayıcı</td><td></td><td>Karl Suss MJB-3</td><td>Desen fotorezist</td></tr><tr><td>Püskürtme kaplayıcı</td><td></td><td>Perkin Elmer 2400 Sputterer</td><td>Mevduat metal</td></tr><tr><td>Termal oksidasyon fırını</td><td></td><td>Pirojenik Oksidasyon Fırını</td><td>Büyümek silikon dioksit</td></tr><tr><td>Reaktif İyon Aşındırma</td><td></td><td>Plasmatech RIE</td><td>Plazma külü</td></tr><tr><td>Ksenon diflorür kuru aşındırıcı</td><td></td><td>Xactix Xenon Diflorür Aşındırıcı</td><td>Seçici kuru izotropik silikon aşındırma</td></tr><tr><td>Yüzey profilometresi</td><td></td><td>Alpha-Step IQ</td><td>Step yükseklik ölçümü</td></tr><tr><td>Prob halkası</td><td></td><td>Signatone</td><td>Tutar DC prob manipülatörleri</td></tr><tr><td>DC manipülatörleri</td><td></td><td>Signatone S-900 Serisi Mikropozisyoner</td><td>Cihaza potansiyel fark uygular</td></tr><tr><td>Lazer doppler vibrometre</td><td></td><td>Polytec OFV-551/MSA-500 Mikro Sistem Analizörü</td><td>Anahtarlama süresi ölçümü</td></tr><tr><td>Dijital fonksiyon üreteci</td><td></td><td>Agilent E4408B Fonksiyon Üreteci</td><td>DC dinamik dalga formunu oluşturur</td></tr><tr><td>Yüksek voltajlı lineer amplifikatör</td><td></td><td>Tek kanallı yüksek voltajlı lineer amplifikatör A400</td><td>Yüksek voltajlı</td></tr><tr><td>Dijital osiloskopu</td><td></td><td>kolaylaştırır Agilent DS05034A Dijital Osiloskop</td><td>Dinamik dalga formu parametrelerini doğrulayın</td></tr></tbody></table>

real-time dc-dinamik Öngerilimlenmesi yöntem ciddi underdamped saçak-alanında elektrostatik mems eyleyiciler zaman İyileştirme anahtarlama

Real-Time DC-dynamic Biasing Method for Switching Time Improvement in Severely Underdamped Fringing-field Electrostatic MEMS Actuators

Mekanik underdamped elektrostatik saçak alan MEMS aktüatörler iyi bir birim basamak giriş offset gerilimi tepki olarak hızlı anahtarlama işlemi için bilinir. Bununla birlikte, geliştirilmiş performans için anahtarlama takas çeşitli uygulanan voltajlar yanıt olarak her bir boşluk yüksekliğe ulaşmak için nispeten uzun bir yerleşme zamanı. Geçici önyargı dalga yüksek mekanik kalite faktörleri ile elektrostatik saçak alan MEMS aktüatörler için düşük anahtarlama kez kolaylaştırmak için istihdam edilmektedir uygulanır. Düşük mekanik sönüm ortamı gerekir saçaklanma alan çalıştırıcının alt tabakaya etkili bir şekilde çıkarılması oluşturur kavramını test etmek. , Alt katmanın çıkarılması da bir son stiction başarısızlık açısından cihazının güvenilirliğini performansı üzerinde önemli bir gelişme vardır. DC meyil dinamik yerleşme zamanı iyileştirilmesinde yararlı olsa da, tipik bir MEMS elemanları için gerekli dönüş oranları şarj p agresif şartları yerleştirebiliriçin umps on-chip tasarımlar tam entegre. Ayrıca, arka uç-of-line ticari CMOS işlem adımları içine tabaka kaldırma adımı entegre zorluklar olabilir. Geleneksel adım kutuplama sonuçlarına göre fabrikasyon akçuatörlerin Deneysel doğrulama anahtarlama zamanda 50x bir gelişme göstermektedir. Teorik hesaplamalara göre, deney sonuçları iyi bir uyum içindedir.

Şekil 4&#39;te kurulum MEMS köprü zamanı Eğrisi&#39;nin sapmasını yakalamak için kullanılır. Sürekli ölçme modunda, bir lazer Doppler Vibrometre kullanarak, tam gerilim ve zaman parametreleri, arzu edilen aralık yüksekliği için, minimum kiriş salınım neden olduğu bulunabilir. Şekil 5, 60 V boşluk yüksekliğine karşılık gelen bir örnek ışını sapmasını göstermektedir Şekil. Sanal olarak, bütün salınım kaldırılır görülmektedir. Bir aralık yüksekliği için yararlı olan bir da...

Doğal, düşük sıkma film sönümleme koşulları ve uzun yerleşme zamanlarda saçak alan elektrostatik MEMS aktüatörler sonuçlarının cihaz sağlam tasarımı, geleneksel adım toplamanın kullanarak geçiş işlemleri yaparken. Arasında geçiş yaparken DC-dinamik dalga ile zaman iyileşme anahtarlama Gerçek-zamanlı saçak-alan yerleşme zamanını azaltır aktüatörler MEMS için aşağı-yukarı ve aşağı-yukarı devletler.

Real-Time DC-dinamik Öngerilimlenmesi Yöntem Ciddi Underdamped saçak-alanında Elektrostatik MEMS Eyleyiciler Zaman İyileştirme Anahtarlama

Mechanically underdamped electrostatic fringing-field MEMS actuators are well known for their fast switching operation in response to a unit step input ...

Aşağıdaki deneyin genel amacı, şiddetli şekilde eksik sönümlü elektrostatik saçak alan mikro elektromekanik sistem aktüatörlerinin yerleşme süresini iyileştirmektir. Bu, elektrostatik MAMs aktüatörünün mikro fabrikasyonu ile gerçekleştirilir. İkinci bir adım olarak, aktüatörün altındaki substrat seçici olarak aşındırılır; bu işlem sıkıştırma filmi sönümlemesini önemli ölçüde azaltır ve şiddetli eksik sönümlü koşulları artırır. Ardından, hızlı yerleşme süresi için optimum dalga formu parametrelerini belirlemek amacıyla gerçek zamanlı olarak dinamik kutuplama dalga formları uygulanır.Tipik birim basamak kutuplamasıyla yapılan karşılaştırmaya dayanarak, anahtarlama süresinde önemli bir iyileşme sağlandığına dair sonuçlar elde edilmiştir. Bu yöntem, elektrostatik saçak alan aktüatörlerinin anahtarlama süresini iyileştirmek için kullanılsa da; Young modülü, Poisson oranı ve çift eksenli çekme gerilmesi gibi ince film parametrelerini belirlemek için mikro metroloji gibi alanlara da uygulanabilir. Elektrostatik saçak alan MEMS kirişlerinin fabrikasyonundaki ilk adım UV litografidir.25 milimetre x 50 milimetre boyutlarında ve 0,5 milimetre kalınlığında, uygun şekilde temizlenmiş, oksitlenm

real-time-dc-dynamic-biasing-method-for-switching-time-improvement

Research

JoVE Journal

Engineering

Mühendislik

Bu el yazması, silikon membranlara dayalı dielektrik elastomer yumuşak aktüatörlerin üretimi için üretim sürecini göstermektedir. Üretimin üç temel aşaması ayrıntılı olarak sunulmaktadır: ince silikon membranların bıçak dökümü; uyumlu elektrotların tampon baskısı; ve tüm bileşenlerin montajı.

Silikon tabanlı Dielektrik Elastomer Aktüatörler Fabrikasyon Süreci

Tuning, tuning yeteneklilik ve kaçınma aygıt hatası ve stiction, değişiklik frekans ölçümü de dahil olmak üzere bir lazer Doppler vibrometer (LDV), kullanarak sabit-sabit ışın dizaynı için bir protokol sunulmuştur. LDV yöntemi ağ Çözümleyicisi üzerinde üstünlüğü nedeniyle daha yüksek modu kapasitesini gösterilmiştir.

Tasarım ve karakterizasyon yöntemleri verimli geniş sıra Tunable MEMS filtreler için

Burada, istiflenmiş metal-yalıtkan-metal yapısı için iletim elektron mikroskopisi (TEM) ile yerinde önyargı sırasındaki nanoyapısal değişikliklerin analiz edildiği bir protokol sunulmaktadır. Yeni nesil programlanabilir mantık devreleri ve nöromimicking donanımları için dirençli anahtarlama çapraz çubuklarında, temel çalışma mekanizmalarını ve pratik uygulanabilirliklerini ortaya çıkarmak için önemli uygulamalara sahiptir.

Karışık Fazlı a -VOx'e Dayalı Asimetrik Çapraz Çubukların Önyargılı ve İmalatlı Yerinde İletim Elektron Mikroskopisi

Bu makalede, biyomedikal, biyomimetik ve yumuşak robotik uygulamalarında aktüatörler için iyonik elektromekanik olarak aktif kompozit malzemelerin hızlı ve basit bir üretim süreci açıklanmaktadır. Önemli üretim adımları, aktüatörlerin nihai özellikleri için önemi ve bazı ana karakterizasyon teknikleri ayrıntılı olarak açıklanmıştır.

Karbon Bazlı İonik Elektromekanik Aktif Yumuşak Aktüatörlerin İmalatı

Bu yazıda, elektro-hidrostatik aktüatörün (EHA) elektriksel ve hidrolik arızalarını tespit etmek için normalleştirilmiş en küçük ortalama kare (NLMS) algoritmasına dayanan uyarlanabilir bir filtre ve bir dönme hızı tahmin yöntemi tanıtılmıştır. Yukarıda belirtilen yöntemlerin etkinliği ve fizibilitesi simülasyonlar ve deneylerle doğrulanmaktadır.

Bir elektro-hidrostatik aktüatör için uyarlanabilir filtrelere ve dönme hızı tahminine dayalı bir arıza algılama yönteminin tasarımı ve uygulanması

Burada, kuvvete duyarlı biyomoleküller üzerinde maksimum 1.2 kHz hızında nanomekanik ölçümler yapan yüksek hızlı bir manyetik cımbız kurulumunu açıklıyoruz. DNA saç tokalarına ve SNARE komplekslerine model sistemler olarak uygulanmasını tanıtıyoruz, ancak mekanobiyolojik olaylarda yer alan diğer moleküllere de uygulanabilecektir.

Kuvvete duyarlı elemanlarda nanomekanik ölçümler için yüksek hızlı manyetik cımbız

Biz MEMS cihazlarının muayene ve karakterizasyonu için kompakt bir yansıma dijital holografik sistemini (CDHM) sunuyoruz. Doğal geometrik büyütme sağlayan uzaklaşan giriş dalga kullanan bir lens daha az tasarım gösterilmiştir. Hem statik ve dinamik çalışmalar sunulmuştur.

MEMS Muayene ve Karakterizasyonu için kompakt Lens az Dijital Holografik Mikroskop

Burada, hem şeklin hem de moleküler hizalamanın doğrudan lazer yazma kullanılarak nanometre ölçeğinde doğrulukla tasarlanabildiği 3D polimerik mikro/nano yapılar üretiyoruz. Çeşitli sıvı kristal elastomer mikro yapılarının ışık kaynaklı deformasyonu mikroskobik ölçekte kontrol edilebilir.

Serbest biçimli Işık Aktüatörler - Mikroskobik Ölçeğinde imalat ve çalıştırma Kontrolü

Uzun ve içi boş camsı karbon mikroelyafları, doğal bir ürünün, insan saçının pirolizine dayalı olarak imal edilmiştir. Karbon mikroelektromekanik ve karbon nano elektromekanik sistemlerin veya C-MEMS ve C-NEMS'nin iki üretim aşaması şunlardır: (i) karbon açısından zengin bir polimer öncüsünün fotolitografisi ve (ii) desenli polimer öncüsünün pirolizi.

3D Karbon Mikroelektromekanik Sistemlerin (C-MEMS) İmalatı

Biz bir lazer biriktirme ve in situ magnetron SAÇTIRMA kullanarak metal/LaAlO3/SrTiO3 heterostructures imal. Magnetotransport ve in situ x-ışını photoelectron spektroskopisi deneyler, bu sistemde oluşan yarı iki boyutlu elektron gaz Elektrostatik ve kimyasal olayların arasındaki etkileşimi araştırıyoruz.

Büyüme ve Elektrostatik/kimyasal özellikleri Metal/LaAlO3/SrTiO3 Heterostructures

Öğrenin, elektrostatik MEMS eyleyicilerin yerleşme süresini dinamik öngerilimleme yöntemiyle nasıl iyileştireceğinizi. Bu teknik, anahtarlama hızını artırarak mikro ölçüm uygulamalarına da katkı sağlar.

Real-Time DC-dinamik Öngerilimlenmesi Yöntem Ciddi Underdamped saçak-alanında Elektrostatik MEMS Eyleyiciler Zaman İyileştirme Anahtarlama (Video) | JoVE Journal

Real-Time DC-dinamik Öngerilimlenmesi Yöntem Ciddi Underdamped saçak-alanında Elektrostatik MEMS Eyleyiciler Zaman İyileştirme Anahtarlama

Daha fazla video keşfet