Name: Radyo frekansı Magnetron GdBa2Cu3O7−δfışkırtması / La0,67Sr0,33MnO3 yarı bilayer Filmler SrTiO3 (STO) tek-kristal yüzeyler üzerinde (Video) | JoVE Journal
Uploaded: 2019-04-12T12:30:00.000+00:00
Duration: 6 min 49 s
Description: Keşfedin radyo frekansı fışkırtma yöntemiyle SrTiO3 tek-kristal yüzeyler üzerinde LSMO nanopartiküller ve GBCO süperiletken filmlerin aynı vakum odasında üniform büyütülmesi. Bu protokol malzeme bilimi araştırmalarında yüksek kaliteli film teknolojisi sağlar.

ai_agent_IP

ai_agent

maintenance

instantTrialDurationMinutes

isBiopharma

enableNewMyJoveSectionDesign

educationFeatures

seoMetaApi

ai_copilot_institution_blacklist

ai_chat_institution_blacklist

freeAccessWindow

ssoRoleCapture

scheduledMaintenanceBanner

joveLabsFeatures

disable_autoplay_for_bots

extended_trial_duration

5 minutes

Bu eser Ulusal Doğa Bilimleri Vakfı Çin tarafından (No. 51502168; desteklenmiştir No.11504227) ve Shanghai Belediye doğal Bilim Vakfı (No.16ZR1413600). Yazarlar minnetle Shanghai Jiao Tong, enstrümantal analiz Merkezi üniversite ve Ma-tek analitik laboratuar yetkili teknik destek için teşekkür ederiz.

1. substrat ve hedef hazırlık
Not: Bu bölümde sputter ifade odası ve tek kristal SrTiO3 (STO) yüzeylerde hazırlanması açıklanmaktadır.
<ol><li>10 mm x 10 mm SrTiO3 (STO) tek-kristal yüzeylerde fışkırtması sürecini RF magnetron sırasında kullanın.</li>
	<li>Sırayla yüzeylerde isopropanol ve ultrasonik banyo oda sıcaklığında 10 dakika her deiyonize su temiz. O zaman kuru yüzeylerde için azot ile kaplama substrat ve iyi film bağlılık üniforma.</li>
	<li>Gümüş tozu iletken yapıştırıcı ile substrat sahipleri (001) STO yüzeylerde bağlayın. Bunlar vakum odası içine yükleyin.</li>
	<li>Magnetron enjeksiyon tabancasını LSMO hedef dağ ve silahı tekrar kurmak. Magnetron ve çevresindeki kalkan arasında kısa devre önlemek için bir ohmmeter ile direncini test. Vakum odası kapalı yakın ve pompa aşağı.</li>
	<li>Vakum 1 x 10-4 Pa daha düşük olduğunda, 850 ° c Isıtma hızı 8 cm hedef-substrat uzaklık 15 ° C/dak kümesinin kullanarak yüzeylerde ısı.</li>
	<li>Kütle akış denetleyicisi o 10 sccm ve 5 sccm ar gaz akışı çalışma olarak ayarlayın. AR kullanın / O karışık gaz O Katyonik oranı (3) La0,67için Sr0,33MnO3 malzeme büyüme sırasında tutmak için.</li>
	<li>Biriktirme önce LSMO hedef 20 dk 30 W. yüksek güç olacak yol hedef çatlaklar için önceden şaplatın ve o yüzden biz 20 dk 30 W. için düşük güç kullanarak temiz bir yüzey için daha fazla zaman olacak yol</li>
</ol>2. LSMO nanopartikül ifade
Not: RF-magnetron SAÇTIRMA tarafından LSMO nano tanecikleri birikimi bu bölümde açıklanmaktadır.
<ol><li>25 oda basınç elde etmek için Pa, moleküler pompa ateli Vana ayarlayın. Anlık değeri 25 daha büyük hale geliyor eğer Pa, döndürmek bu yönünün; Eğer 25Pa küçük hale geliyor, saat yönünde döndürün. Basınç sabit bir değere yerleşmiş bulunmaktadır kadar devam edin.</li>
	<li>Yüzey sıcaklığı 850 ° C'de kalır ve kararlı olduğundan emin olun.</li>
	<li>Plazma stabilize kadar 10 dk bekle W. 80 30-magnetron gücünü artırmak.</li>
	<li>Objektif kapağı açın ve LSMO üzerinde ısıtmalı substrat mevduat. Not: Biz 5, 10, 30 ve 60 sputtering kez kullanılan s dört örnekleri için.</li>
	<li>Panjurları kapa. Kapatma için magnetron kapatın. Gaz vanası kapatıp ısıtıcı güç kapalı.</li>
	<li>Oda sıcaklığına örnekleri ne yapıyorsun? Alışılmışın dışında bu bu sistemde en az iki saat sürer. Odası kuru azot ile delik açmak ve örnekleri kaldırın.</li>
</ol>3. GdBa2Cu3O7−δ Film biriktirme
<ol><li>GdBa2Cu3O7−δhedef magnetron tüfek monte sonra silahı tekrar kurmak. 1.4-2.8 adımlara benzer adımları kullanarak herhangi bir (Gd) BCO filmleri Kasası. 30 dk olması gereken sputtering zaman dışında LSMO nano tanecikleri gelince (Gd) BCO filmler için benzer ifade koşullar kullanıyorsunuz. Bundan sonra büyüme sona erecek ve sonrası tavlama sonraki adımdır.</li>
	<li>Numune sıcaklığı 500 ° c azaltmak Sonra oksijen odası basınç 75.000 PA Hold örnekleri Bu sıcaklıkta bir saat vermek için gaz valfi açın. Not: 500 ° C ve 75.000 odası baskısı için sıcaklık Pa vardır düzgün LSMO nano tanecikleri ulaşmak için.</li>
	<li>Oda sıcaklığına örnekleri ne yapıyorsun? Odası kuru azot ile delik açmak ve örnekleri kaldırın.</li>
</ol>

<ol><li>Gong, J., Zheng, D., Li, D., Jin, C., Bai, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Lattice+distortion+modified+anisotropic+magnetoresistance+in+epitaxial+La0.67Sr0.33MnO3+thin+films%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Alloys+and+Compounds%22%5BJournal%5D)">Lattice distortion modified anisotropic magnetoresistance in epitaxial La0.67Sr0.33MnO3 thin films.</a> Journal of Alloys and Compounds. 735, 1152-1157 (2018).</li>
<li>Wang, J., Han, Z., Bai, J., Luo, B., Chen, C. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Magnetoelectric+coupling+in+oxygen+deficient+La0.67Sr0.33MnO3-%CE%B4%2FBaTiO3+composite+film%5BTitle%5D)+AND+%22Physica+B%3A+Condensed+Matter%22%5BJournal%5D)">Magnetoelectric coupling in oxygen deficient La0.67Sr0.33MnO3-δ/BaTiO3 composite film.</a> Physica B: Condensed Matter. 534, 141-144 (2018).</li>
<li>Duan, Z., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Facile+fabrication+of+micro-patterned+LSMO+films+with+unchanged+magnetic+properties+by+photosensitive+sol-gel+method+on+LaAlO3+substrates%5BTitle%5D)+AND+%22Ceramics+International%22%5BJournal%5D)">Facile fabrication of micro-patterned LSMO films with unchanged magnetic properties by photosensitive sol-gel method on LaAlO3 substrates.</a> Ceramics International. 42 (12), 14100-14106 (2016).</li>
<li>Xu, P., Huffman, T. J., Kwak, I. H., Biswas, A., Qazilbash, M. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Temperature+dependent+infrared+nano-imaging+of+La0.67Sr0.33MnO3+thin+film%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Physics-Condensed+Matter%22%5BJournal%5D)">Temperature dependent infrared nano-imaging of La0.67Sr0.33MnO3 thin film.</a> Journal of Physics-Condensed Matter. 30 (2), (2018).</li>
<li>Bulaevskii, L. N., Chudnovsky, E. M., Maley, M. P. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Magnetic+pinning+in+superconductor-ferromagnet+multilayers%5BTitle%5D)+AND+%22Applied+Physics+Letters%22%5BJournal%5D)">Magnetic pinning in superconductor-ferromagnet multilayers.</a> Applied Physics Letters. 76 (18), 2594-2596 (2000).</li>
<li>Chen, C. Z., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Flux+pinning+of+stress-induced+magnetic+inhomogeneity+in+the+bilayers+of+YBa2Cu3O7%E2%88%92%CE%B4%2FLa0.67Sr0.33MnO3%E2%88%92%CE%B4%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">Flux pinning of stress-induced magnetic inhomogeneity in the bilayers of YBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3−δ.</a> Journal of Applied Physics. 106 (9), 093902(2009).</li>
<li>Chen, C. Z., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Robust+high-temperature+magnetic+pinning+induced+by+proximity+in+YBa2Cu3O7%E2%88%92%CE%B4%2FLa0.67Sr0.33MnO3+hybrids%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">Robust high-temperature magnetic pinning induced by proximity in YBa2Cu3O7−δ/La0.67Sr0.33MnO3 hybrids.</a> Journal of Applied Physics. 109 (7), 073921(2011).</li>
<li>Huang, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Magnetic+properties+of+%28CoFe2O4%29x%3A%28CeO2%291%E2%88%92x+vertically+aligned+nanocomposites+and+their+pinning+properties+in+YBa2Cu3O7%E2%88%92%CE%B4+thin+films%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">Magnetic properties of (CoFe2O4)x:(CeO2)1−x vertically aligned nanocomposites and their pinning properties in YBa2Cu3O7−δ thin films.</a> Journal of Applied Physics. 115 (12), 123902(2014).</li>
<li>Lange, M., Bael, M. J. V., Bruynseraede, Y., Moshchalkov, V. V. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Nanoengineered+Magnetic-Field-Induced+Superconductivity%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+Letters%22%5BJournal%5D)">Nanoengineered Magnetic-Field-Induced Superconductivity.</a> Physical Review Letters. 90 (19), 197006(1970).</li>
<li>Rakshit, R. K., Budhani, R. C., Bhuvana, T., Kulkarni, V. N., Kulkarni, G. U. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Inhomogeneous+vortex-state-driven+enhancement+of+superconductivity+in+nanoengineered+ferromagnet-superconductor+heterostructures%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+B%22%5BJournal%5D)">Inhomogeneous vortex-state-driven enhancement of superconductivity in nanoengineered ferromagnet-superconductor heterostructures.</a> Physical Review B. 77 (5), 052509(2008).</li>
<li>Guo, H., Ward, T. Z. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Fabrication+of+Spatially+Confined+Complex+Oxides%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Visualized+Experiments%22%5BJournal%5D)">Fabrication of Spatially Confined Complex Oxides.</a> Journal of Visualized Experiments. 77, e50573(2013).</li>
<li>Wang, Y., Li, Y., Liu, L., Xu, D. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Improvement+of+flux+pinning+in+GdBa2Cu3O7-delta+thin+film+by+nanoscale+ferromagnetic+La0.67Sr0.33MnO3+pretreatment+of+substrate+surface%5BTitle%5D)+AND+%22Ceramics+International%22%5BJournal%5D)">Improvement of flux pinning in GdBa2Cu3O7-delta thin film by nanoscale ferromagnetic La0.67Sr0.33MnO3 pretreatment of substrate surface.</a> Ceramics International. 44 (1), 225-230 (2018).</li>
<li>Martín, J. I., Vélez, M., Nogués, J., Schuller, I. K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Flux+Pinning+in+a+Superconductor+by+an+Array+of+Submicrometer+Magnetic+Dots%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+Letters%22%5BJournal%5D)">Flux Pinning in a Superconductor by an Array of Submicrometer Magnetic Dots.</a> Physical Review Letters. 79 (10), 1929-1932 (1997).</li>
<li>Morgan, D. J., Ketterson, J. B. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Asymmetric+Flux+Pinning+in+a+Regular+Array+of+Magnetic+Dipoles%5BTitle%5D)+AND+%22Physical+Review+Letters%22%5BJournal%5D)">Asymmetric Flux Pinning in a Regular Array of Magnetic Dipoles.</a> Physical Review Letters. 80 (16), 3614-3617 (1998).</li>
<li>Gutierrez, J., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Anisotropic+c-axis+pinning+in+interfacial+self-assembled+nanostructured+trifluoracetate-YBa2Cu3O7%E2%88%92x+films%5BTitle%5D)+AND+%22Applied+Physics+Letters%22%5BJournal%5D)">Anisotropic c-axis pinning in interfacial self-assembled nanostructured trifluoracetate-YBa2Cu3O7−x films.</a> Applied Physics Letters. 94 (17), 172513(2009).</li>
<li>Tran, D. H., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Enhanced+critical+current+density+in+GdBa2Cu3O7-%CE%B4+thin+films+with+substrate+surface+decoration+using+Gd2O3+nanoparticles%5BTitle%5D)+AND+%22Thin+Solid+Films%22%5BJournal%5D)">Enhanced critical current density in GdBa2Cu3O7-δ thin films with substrate surface decoration using Gd2O3 nanoparticles.</a> Thin Solid Films. 526 (0), 241-245 (2012).</li>
<li>Jha, A. K., Khare, N., Pinto, R. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Interface+engineering+using+ferromagnetic+nanoparticles+for+enhancing+pinning+in+YBa2Cu3O7-delta+thin+film%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">Interface engineering using ferromagnetic nanoparticles for enhancing pinning in YBa2Cu3O7-delta thin film.</a> Journal of Applied Physics. 110 (11), (2011).</li>
<li>Casotti, D., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Ageing+effects+on+electrical+resistivity+of+Nb-doped+TiO2+thin+films+deposited+at+a+high+rate+by+reactive+DC+magnetron+sputtering%5BTitle%5D)+AND+%22Applied+Surface+Science%22%5BJournal%5D)">Ageing effects on electrical resistivity of Nb-doped TiO2 thin films deposited at a high rate by reactive DC magnetron sputtering.</a> Applied Surface Science. 455, 267-275 (2018).</li>
<li>Li, Y., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Preparation+of+single-phase+Ti2AlN+coating+by+magnetron+sputtering+with+cost-efficient+hot-pressed+Ti-Al-N+targets%5BTitle%5D)+AND+%22Ceramics+International%22%5BJournal%5D)">Preparation of single-phase Ti2AlN coating by magnetron sputtering with cost-efficient hot-pressed Ti-Al-N targets.</a> Ceramics International. 44 (14), 17530-17534 (2018).</li>
<li>Mahdhi, H., Djessas, K., Ben Ayadi, Z. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Synthesis+and+characteristics+of+Ca-doped+ZnO+thin+films+by+rf+magnetron+sputtering+at+low+temperature%5BTitle%5D)+AND+%22Materials+Letters%22%5BJournal%5D)">Synthesis and characteristics of Ca-doped ZnO thin films by rf magnetron sputtering at low temperature.</a> Materials Letters. 214, 10-14 (2018).</li>
<li>Shen, H., Wei, B., Zhang, D., Qi, Z., Wang, Z. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Magnetron+sputtered+NbN+thin+film+electrodes+for+supercapacitors%5BTitle%5D)+AND+%22Materials+Letters%22%5BJournal%5D)">Magnetron sputtered NbN thin film electrodes for supercapacitors.</a> Materials Letters. 229, 17-20 (2018).</li>
<li>Sinnarasa, I., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Influence+of+thickness+and+microstructure+on+thermoelectric+properties+of+Mg-doped+CuCrO2+delafossite+thin+films+deposited+by+RF-magnetron+sputtering%5BTitle%5D)+AND+%22Applied+Surface+Science%22%5BJournal%5D)">Influence of thickness and microstructure on thermoelectric properties of Mg-doped CuCrO2 delafossite thin films deposited by RF-magnetron sputtering.</a> Applied Surface Science. , 244-250 (2018).</li>
<li>Thi-Thuy-Nga, N., Chen, Y. -H., Chen, Z. -M., Cheng, K. -B., He, J. -L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Microstructure+near+infrared+reflectance%2C+and+surface+temperature+of+Ti-O+coated+polyethylene+terephthalate+fabrics+prepared+by+roll-to-roll+high+power+impulse+magnetron+sputtering+system%5BTitle%5D)+AND+%22Thin+Solid+Films%22%5BJournal%5D)">Microstructure near infrared reflectance, and surface temperature of Ti-O coated polyethylene terephthalate fabrics prepared by roll-to-roll high power impulse magnetron sputtering system.</a> Thin Solid Films. , 1-8 (2018).</li>
<li>Wang, Y., Xu, D., Li, Y., Liu, L. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Texture+and+morphology+developments+of+Yttria-stabilized+zirconia+%28YSZ%29+buffer+layer+for+coated+conductors+by+RF+sputtering%5BTitle%5D)+AND+%22Surface+%26+Coatings+Technology%22%5BJournal%5D)">Texture and morphology developments of Yttria-stabilized zirconia (YSZ) buffer layer for coated conductors by RF sputtering.</a> Surface & Coatings Technology. 232, 497-503 (2013).</li>
<li>Petrisor, T. Jr, et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((Magnetic+pinning+effects+of+epitaxial+LaxSr1-xMnO3+nanostructured+thin+films+on+YBa2Cu3O7-delta+layers%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">Magnetic pinning effects of epitaxial LaxSr1-xMnO3 nanostructured thin films on YBa2Cu3O7-delta layers.</a> Journal of Applied Physics. 112 (5), (2012).</li>
</ol>

Yazarlar ifşa gerek yok.

Burada bu yöntem LSMO ferromanyetik nano tanecikleri, SrTiO3 tekdüze dağılım (STO) tek-kristal yüzeylerde hazırlamak için kullanılabilir göstermiştir. (Gd) BCO filmler de çıplak hem de yatırılır ve Tanrı'nın ASKERLERİ'ni substrat LSMO dekore edilmiştir. Büyüme sıcaklıklar ve hedef-substrat mesafe, gibi yatırılan parametreleri uygun bir ayarlama ile bu yöntem manyetik ve manyetik olmayan parçacıklar veya katmanlar, örneğin, CeO2, YSZ (yatırılan farklı türde için yararlı olsa gerek Zirkon itriyum-sağl...

Geniş bantlı, yarı-metalik ferromagnetism, eksikler ve potansiyel için olağanüstü fırsatlar sağlayan elektronik Birleşik dolaşmış gibi benzersiz özellikler var delik katkılı manganez La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) spintronic uygulamaları1,2,3,4. Şu anda, pek çok araştırmacı için yüksek sıcaklık süper iletken (HTS) Film, girdap hareket Ba2(yeniden) Cu3O7−gibi yaşamak için LSMO benzersiz özelliklerini yararlanmak için gayret δ Filmler (REBCO, yeniden nadir - toprak elementi =)5,6,7,8,9,10,11,12. Nano dekorasyon substrat yüzeylerin ferromanyetik nano tanecikleri ile iyi tanımlanmış siteleri merkezleri beklenen yoğunluğu13,14sabitleme manyetik inducing için sağlayacaktır. Ancak, yetenek yoğunluk ve geometrisi üzerine son derece dokulu yüzeyleri, nano tanecikleri gibi tek-kristal yüzeylerde ve son derece dokulu metal yüzeyler üzerinde denetlemek için çok zordur. En sık, nano tanecikleri sentez ve metal organik ayrışma yöntemleri15kullanarak yüzeylerde boyalı ve darbeli lazer biriktirme yöntemleri16,17. Nabız lazer biriktirme yöntemleri üzerinde çeşitli yüzeylerde boyalı nano tanecikleri sağlamasına karşın, geniş alana homojen nano tanecikleri ifade fark etmek zordur. Metal organik ayrışma yöntemleri gelince, onlar nano tanecikleri geniş bir alan ifade için uygun bulunmaktadır. Ancak, nano tanecikleri olmayan tekdüze ve kolayca küçük fiziksel stres tarafından hasarlı çoğu kez.
Bu teknikler arasında RF-magnetron SAÇTIRMA pek çok avantajı vardır. SAÇTIRMA yüksek ifade oranı, düşük maliyetli ve zehirli gaz emisyon eksikliği vardır. Ayrıca, büyük ölçekli alan yüzeylerde18,19' a genişletmek kolaydır. Bu yöntem, tek adım La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) nano tanecikleri oluşumunu sağlar ve nano tanecikleri tek-kristal yüzeyler üzerinde yatırılması kolaydır. RF magnetron SAÇTIRMA geniş bir alan nano tanecikleri düzgün yüzeyler, yüzey dokusu ve yüzey pürüzlülüğü20bakılmaksızın çeşitli bir yelpazede oluşturabilirsiniz. Parçacık denetimi elde tarafından sputtering zamanını ayarlayın. Homojenliği elde edilebilir tarafından hedef-substrat mesafeyi ayarlamak. RF-magnetron SAÇTIRMA dezavantajı onun bazı oksitler21daha düşük büyüme oranıdır. Bu yaklaşımda, hedef atom (veya moleküller) hedef dışarı argon iyon tarafından tekledi ve sonra nano tanecikleri yüzeylerde buharı faz22üzerinde yatırılır. Nano tanecikleri oluşumu substrat bir tek adım23yılında ortaya çıkar. Bu yöntem teorik olarak süper iletken ince film, direnç film, yarı iletken film, ferromanyetik ince film vb ancak, bugüne kadar ferromanyetik yatırmak için protokolleri hakkında raporlar da dahil olmak üzere herhangi bir malzeme için geçerlidir nano tanecikleri çok azdır.
Burada, biz GdBa2Cu3O7−δiddaa0,67Sr0,33MnO3 yarı bilayer filmleri SrTiO3 (STO) tek-kristal yüzeyler tarafından RF magnetron SAÇTIRMA biriktirme göstermek yöntemi. Hedef malzemeleri, GdBa2Cu3O7−δ ve La0,67Sr0,33MnO3 hedef iki tür süreç içinde kullanılır. SrTiO3 (STO) tek-kristal yüzeylerde GdBa2Cu3O7−δFilmler ve GdBa2Cu3O7−δiddaa0,67Sr ile kaplı 0,33 MnO3 yarı bilayer filmler.
Bu protokol için GdBa2Cu3O7−δiddaa0,67Sr0,33MnO3 yarı bilayer filmleri STO (001) yüzeyler üzerinde SAÇTIRMA RF magnetron ile yatırılır. Hedef çapı 60 mm ve hedef ve yüzeyler arasındaki mesafe yaklaşık 10 cm. Isıtıcılar 1 cm yüzeylerde yukarıda konumlandırılmış ampuller vardır. Bu sistemde. 850 ° C en yüksek sıcaklıktır Bu sistemi 5 farklı yüzeylerde vardır. GdBa2Cu3O7−δiddaa0,67Sr0,33MnO3 yarı bilayer filmleri SAÇTIRMA RF magnetron yüzeylerde ve RF magnetron hazırlanması olan iki adımlardan oluşur sputtering işlemi. Sputtering sistem resmini artistik S1içinde gösterilir.

<table><tbody><tr><td>Püskürtme Biriktirme Sistemi</td><td>Shenyang bilimsel aletler Limited Hissesi Ltd</td><td>tarafından Ismarlama</td><td></td></tr><tr><td>SrTiO3 Tek Kristal Yüzey</td><td>Hefei Ke kristal malzeme teknolojisi Co, Ltd</td><td>Tek taraflı epi-cilalı</td> <td>(001) oryantasyon</td></tr><tr><td>La0.67Sr0.33MnO3 püskürtme hedefi</td><td>Hefei Ke kristal malzeme technology Co., Ltd</td><td>Ismarlama</td><td>60 mm çap</td></tr><tr><td>GdBa 2 Cu 3 O 7 eksi; </alt><alt>&delta; </alt> püskürtme hedefi</td><td>Hefei Ke kristal malzeme teknolojisi Co, Ltd</td><td>Ismarlama</td><td>60 mm çaplı</td></tr><tr><td>Atomik Kuvvet Mikroskobu</td><td>Br&uuml; ker</td><td>Dimension Icon X-ışını</td><td></td></tr><tr><td>Difraktometresi</td><td>Br&uuml; ker</td><td>D8 Discover</td><td></td></tr><tr><td>Fiziksel Özellik Ölçüm Sistemi</td><td>Quantum Design</td><td>PPMS 9</td><td></td></tr></tbody></table>

radyo frekansı magnetron gdba2cu3o7−δfışkırtması / la0,67sr0,33mno3 yarı bilayer filmler srtio3 (sto) tek-kristal yüzeyler üzerinde

Radio Frequency Magnetron Sputtering of GdBa2Cu3O7&#8722;&#948;/ La0.67Sr0.33MnO3 Quasi-bilayer Films on SrTiO3 (STO) Single-crystal Substrates

Burada, kaplama ferromanyetik La0,67Sr0,33MnO3 (LSMO) nano tanecikleri (001) SrTiO3 (STO) tek-kristal yüzeylerde magnetron radyo frekansı (RF) SAÇTIRMA tarafından üzerinde yöntemi göstermektedir. LSMO nano tanecikleri 10 fan çapı 20 nm ve yükseklikleri 20 ve 50 nm arasında tevdi. Aynı anda (Gd)2Cu3O7−δ ((Gd) BCO) Filmler her ikisinde fabrikasyon Ba bezemesiz ve LSMO nanopartikül STO yüzeylerde SAÇTIRMA RF magnetron kullanarak dekore edilmiştir. Bu rapor Ayrıca GdBa2Cu3O7−δözelliklerini açıklar / La0,67Sr0,33MnO3 yarı bilayer filmleri yapıları (Örneğin, kristal fazı, Morfoloji kimyasal bileşimi); mıknatıslanma, Manyeto-taşıma ve süper iletken aktarma özellikleri de değerlendirildi.

(Gd) BCO filmleri çıplak her iki ve LSMO kalınlığı STO dekore substrat yapıldı 500nm, yüzey profilometer tarafından ölçüldü. Film kalınlığı zaman SAÇTIRMA tarafından kontrol ediliyordu. Şekil 1a b LSMO nanopartikül AFM görüntüsünü gösterir (saat 10 SAÇTIRMA s) 1.0 cm x 1.0 cm tek-kristal STO yüzeylerde bunu kanıtlayacak üzerinde Tanrı'nın ASKERLERİ'ni yüzeylerde düzgün yetiştirilen LSMO nano tanecikleri. Yüzey ve filmleri pürüzlülüğü ölçmek i...

Burada, biz LSMO nano tanecikleri büyümek için bir protokol mevcut ve (Gd) BCO radyo frekansı (RF) tarafından tek-kristal yüzeylerde (001) SrTiO3 (STO) filmleri-SAÇTIRMA.

Radyo frekansı Magnetron GdBa2Cu3O7−δfışkırtması / La0,67Sr0,33MnO3 yarı bilayer Filmler SrTiO3 (STO) tek-kristal yüzeyler üzerinde

Here, we demonstrate a method of coating ferromagnetic La0.67Sr0.33MnO3 (LSMO) nanoparticles on (001) SrTiO3 (STO) single-crystal substrates by radio ...

Bu yöntem, LSMO nano taneciklerini bir STO tek kristal substrat üzerinde eşit olarak oluşturabilir. Ayrıca, GBCO film aynı vakum odasında aynı yöntem le elde edilebilir. Bu teknolojinin en büyük avantajı, tek tip boyutu ve yüksek kaliteli süper iletken GBCO film ile LSMO nano tanecikleri aynı vakum odasında birikebilir olmasıdır.Bu yöntem film biriktirme alanı, nanopartikül büyüme alanı, vesaire hakkında bilgi sağlayabilir. Ayrıca metal film birikimi, metal nanopartikül birikimi, vesaire uygulanabilir. Bu yöntem, araştırmacıların vakum ekipmanları na aşina olmalarına ve film büyüme teknolojisi hakkında daha fazla bilgi edinmelerine olanak sağlayacaktır.İlk olarak, sırayla bir ultrasonik banyoda oda sıcaklığında 10 dakika boyunca izopropanol ve deiyonize su stronsiyum titanyum oksit tek kristal yüzeyler temizleyin. Daha sonra, azot ile yüzeyler kuru. Bu substrat ve iyi film bağlılık üniforma kapsayan teşvik eder.001 odaklı STO yüzeyleri, gümüş toz iletken tutkalile substrat tutuculara monte edin. Tutucuları vakum odasına yükleyin. Bir Magnetron enjeksiyon silahına bir LSMO hedefi tonuyla, ve sonra silahı yeniden birleştirin.Magnetron ve çevresindeki kalkan arasında kısa bir devre önlemek için bir ohmmetre ile direnci test edin. Sonra vakum odasını kapatın ve aşağı pompalayın. Vakum eksi dört pascal'a kadar 10 katından daha düşük olduğunda, dakikada 15 santigrat derecelik bir ısıtma hızı kullanarak substratı 850 santigrat dereceye ısıtın.Hedef substrat mesafesini sekiz santimetreye ayarlayın. Daha sonra, kütle akış denetleyicisini çalışan gaz akışı olarak dakikada 10 standart metreküp oksijen ve dakikada beş standart metreküp argon'a ayarlayın. Depozitede önce, LSMO hedefini 30 watt'ta 20 dakika önceden püskürtün.25 pascal'lık bir oda basıncı elde etmek için moleküler pompa splint vanasını ayarlayın. Anlık değer 25 pascal'dan büyük olursa, saat yönünün tersine döndürün. 25 pascal'dan daha küçük olursa, saat yönünde döndürün.Bunu takiben, substrat sıcaklığının 850 santigrat derecede kaldığını ve sabit olup olmadığını kontrol edin. Magnetron gücünü 30 watt'tan 80 watt'a çıkarın. Plazma stabilize edildikten sonra kepenği açın ve ısıtmalı substrat üzerine LSMO yatırın.İfade tamamlandıktan sonra deklanşörü kapatın ve magnetronun gücünü kapatın. Sonra, gaz vanasını kapatın ve ısıtıcının gücünü kapatın. Numuneleri oda sıcaklığına kadar soğuttuktan sonra, odayı kuru nitrojenle boşaltın.Sonra, odayı açın ve örnekleri çıkarın. Magnetron enjeksiyon tabancasındaki gadolinyum baryum bakır oksijen hedefini monte edin ve silahı yeniden birleştirin. Daha önce açıklandığı gibi gadolinyum baryum bakır oksijen filmleri mevduat, püskürtme süresi dışında benzer koşullar kullanarak, hangi olmalıdır 30 dakika.Daha sonra, numune sıcaklığını 500 santigrat dereceye düşürün. Daha sonra, 75.000 pascal'lık bir oda basıncı vermek için oksijen için gaz vanasını açın ve numuneleri bu sıcaklıkta bir saat tutun. Numuneleri oda sıcaklığına kadar soğuttuktan sonra, odayı kuru nitrojenle boşaltın.Sonra, odayı açın ve örnekleri çıkarın. STO yüzeyleri üzerindeki bir LSMO nanopartikülünün AFM görüntüsü tek tip büyümeyi gösterir. Dekore edilmemiş ve LSMO nanopartikül dekore edilmiş STO yüzeyleri üzerinde imal gadolinyum baryum bakır oksijen filmlerinin XRD desenleri burada gösterilmiştir.Süper iletken geçiş sıcaklığı gadolinyum baryum bakır oksijen filmi için 90,5 kelvin'e ve LSMO filmleri için 90,3 kelvin'e yakındı, bu da nano partiküllerin filmlerin süper iletken özelliğine zarar vermediğini gösteriyor. Buna karşılık, manyetizasyon histeresis döngü alanı çok daha büyük, sıfırdan altı tesla, 30, 50, ve 77 kelvin filmler LSMO dekore substratlar üzerinde imal için. LSMO dekore edilmiş bir substrat üzerinde biriken gadolinyum baryum bakır oksijen filmi, 30 kelvin'de 1,3'ten 6'ya, sıfırdan 6'ya 77 kelvin'de daha yüksek bir kritik akım yoğunluğuna sahip.30 kelvin'de, dekore edilmiş numunenin 1.3 tesla'nın üzerinde daha büyük bir sabitleme kuvveti yoğunluğu vardır. 77 kelvin'de yoğunluk, dekore edilmiş numune için daha yüksek bir H değerine taşındı. LSMO dekore edilmiş film için 3 tesla ve 77 kelvin'deki kritik akım yoğunluğunun açısal bağımlılığı c ekseni boyunca bir artış gösterir ve c ekseni yönüne paralel bir manyetik alan yönlendirmesi daha etkili olduğunu gösterir.Bu yöntem birçok adım ve ayrıntı içerir, bu nedenle görsel gösteri bu yöntemi anlamak ve ana leştirmek için önemlidir. Bu yöntem, geliştirildikten sonra oksit filmlerinin ve nano partiküllerin yanı sıra metal filmleri ve nano partiküllerin de birikmesini mümkün kıldığından mümkün kılır. Bu yöntem, geliştirildikten sonra oksit filmlerinin ve nano partiküllerin yanı sıra metal filmleri ve nano partiküllerin de birikmesini mümkün kıldığından mümkün kılır.

radio-frequency-magnetron-sputtering-gdba2cu3o7-la067sr033mno3-quasi

Research

JoVE Journal

Engineering

Mühendislik

Bu çalışmada, bir cigs güneş pili en emici tabakanın tane sınırları eğitim için atom-prob tomografi tekniğinin kullanımını tanımlamak. Bilinen bir yapı ile istenilen tane sınırı içeren atomun prob ipuçları hazırlamak için yeni bir tedavi yaklaşımı da burada sunulmuştur.

Cu Atom Probe Tomografi Çalışmaları (In, Ga) Se<sub&gt; 2</sub&gt; Tahıl Sınırları

Biz darbeli lazer birikimi (PLD), fotolitografi ve mikrometre ölçekli karmaşık oksitler cihazlar oluşturmak için tel bağlama tekniklerinin kullanılmasını açıklar. FLD epitaksiyel ince film büyümesi için kullanılmaktadır. Fotolitografi ve tel bağlama teknikleri ölçüm amaçlı pratik cihazlar oluşturmak için tanıtılmaktadır.

Mekansal Kapalı Karmaşık Oksitler Fabrikasyon

Püskürtme ile sıralı alaşımları epitaksiyel tabakaları hazırlamak için bir yöntem tarif edilmektedir. Kimyasal düzen ve alaşımın tam bileşimin derecesine hassas olarak bir geçiş metamagnetic görüntüler gibi B2 sipariş ferh bileşiği, bir örnek olarak kullanılmıştır.

Metamagnetic B2 sıralı ferh Epilayers püskürtülerek Büyüme ve karakterizasyonu

Çeşitli işlemler karmaşık oksit ince filmlerin epitaksiyal büyümesi için atomik tanımlı şablonlar hazırlamak özetlenmiştir. Tek kristal SrTiO 3 (001) ve DyScO 3 kimyasal işlemler (110), alt-tabakalar atomik olarak pürüzsüz, tek sonlu yüzeyler elde etmek için yapıldı. Ca 2 Nb 3 O 10 - nanosheets keyfi yüzeylerde atomik tanımlı şablonlar oluşturmak için kullanıldı.

Karmaşık Oksit İnce Filmlerin Epitaksiyel Büyüme için atomik Tanımlı Şablonlar

Bu rapor, oda sıcaklığında safir yüzeyler üzerine itriyum demir garnet kalın film aerosol birikimi gerçekleştirmek için özel olarak inşa edilen sistemin kullanımı anlatılmaktadır. yatırılan filmler tekniğin yetenekleri temsili bakışını vermek için taramalı elektron mikroskobu, profilometri ve ferromanyetik rezonans kullanılarak karakterize edilir.

Aerosol Birikimi Kullanarak Kalın Yoğun Yttrium Iron Garnet Filmleri oluşumu

Bu makale, nanoölçümler ve moleküler dinamik simülasyon ile incelenen ve doğrulanan bir fulleren Si substratının nanomalzeme üretimini bildirmektedir.

C problama<sub&gt; 84</sub&gt; Taramalı Uç Mikroskobu ve Molecular Dynamics Kullanarak Si Maddesini Gömülü

Bu çalışma atomik tabaka birikimi ile germanyum yüzeylerde doğrudan kristal SrTiO 3 büyümesi ve karakterizasyonu için prosedürler ayrıntıları. Prosedür metal oksit yarı iletken cihazlar için yarı iletkenler üzerine monolitik oksitler entegre bir all-kimyasal büyüme yönteminin yeteneğini gösterir.

Atomik Katman Biriktirme aracılığıyla Germanyum üzerinde Perovskit Stronsiyum Titanate Epitaksiyel Büyüme

Kıvılcım plazma sinterleme aparatı aracılığıyla yüksek basınç ve hızlı ısıtma hızında stronsiyum titanat bikristallerinin oluşumu için uygun bir teknik geliştirilmiştir.

Stronsiyum Titanate Bicrystals Oluşumunda Kullanılan Plazma Sinterleme Aparatı Spark

Önceden yatırılan geçiş metaller sulfurization, geniş alanlara ve dikey 2D kristal hetero-yapıları sahte olduğu. Film aktarma ve cihaz imalat işlemleri de bu raporda gösterilen.

Geniş alan dikey 2D Crystal Hetero-yapıları aracılığıyla geçiş metalleri filmleri Sulfurization cihaz imalat için hazırlanması

Biz bir lazer biriktirme ve in situ magnetron SAÇTIRMA kullanarak metal/LaAlO3/SrTiO3 heterostructures imal. Magnetotransport ve in situ x-ışını photoelectron spektroskopisi deneyler, bu sistemde oluşan yarı iki boyutlu elektron gaz Elektrostatik ve kimyasal olayların arasındaki etkileşimi araştırıyoruz.

Büyüme ve Elektrostatik/kimyasal özellikleri Metal/LaAlO3/SrTiO3 Heterostructures

El yazması, Bi2Te3 ve Sb2Te3 termoelektrik ince filmlerin cam yüzeyler üzerine radyo frekansı magnetron püskürtmesi için bir protokolü açıklar ve bu, daha fazla geliştirme potansiyeli olan geniş bir uygulama yelpazesi sağlayan güvenilir bir biriktirme yöntemini temsil eder.

Radyo Frekanslı Magnetron Püskürtme Tekniği ile Bi2Te3 ve Sb2Te3 Termoelektrik İnce Filmlerin İmalatı

Keşfedin radyo frekansı fışkırtma yöntemiyle SrTiO3 tek-kristal yüzeyler üzerinde LSMO nanopartiküller ve GBCO süperiletken filmlerin aynı vakum odasında üniform büyütülmesi. Bu protokol malzeme bilimi araştırmalarında yüksek kaliteli film teknolojisi sağlar.

Radyo frekansı Magnetron GdBa2Cu3O7−δfışkırtması / La0,67Sr0,33MnO3 yarı bilayer Filmler SrTiO3 (STO) tek-kristal yüzeyler üzerinde (Video) | JoVE Journal

Radyo frekansı Magnetron GdBa₂Cu₃O₇₋_δfışkırtması / La_0,67Sr_0,33MnO₃ yarı bilayer Filmler SrTiO₃ (STO) tek-kristal yüzeyler üzerinde

Daha fazla video keşfet