Silikon Üzerinde Yarı Silindirik Boşluklu Germanyum Epitaksiyel Tabakalarında Çıkığın Azaltılması için Teorik Hesaplama ve Deneysel Doğrulama

Düşük iş parçacıklı çıkık germanyum, yüksek performanslı silikon fotonik çipleri gerçekleştirmek için çok önemlidir. Germanyum-silikon arayüzündeki boşluklar, diş açma çıkık yoğunluğunu azaltmak için çıkık lavaboları olarak çalışır. Prosedürü göstermek, laboratuvarımdan bir yüksek lisans öğrencisi olan Muhammed Faiz olacak.

Başlamak için, ticari yazılım kullanarak çizgi ve boşluk desenleri ve kare şekilli silikon pencere alanları içeren bir tasarım dosyası hazırlayarak germanyum büyüme alanlarını tanımlayın. Ardından, pencere genişliğini ve maske genişliğini belirleyerek seçici bir epitaksiyel büyüme maskesi hazırlayın, dosyayı aç'a tıklayarak dikdörtgenler çizerken, ardından yapı, ve yazılımı kullanarak dikdörtgen veya çoklu çizgi seçeneği. Bir ila 100 ohm santimetre dirençli bor katkılı p-silikon substratları hazırlamak için, tüp fırının kapağını açın ve silikon substratları bir cam çubuk kullanarak fırına yükleyin.