1.7K görüntülenme
•
1 kez atıf aldı
•
09:46 dk.
•
8 Ağustos 2025
8 Ağustos 2025
•Bu makale, tasarımdan fabrikasyona ve karakterizasyona kadar bir silisyum nitrür membran rezonatörünün yaşam döngüsünü izlemektedir.
Chapters in this video
0:00
Introduction
0:42
Spin Coating and Vapor-Phase Priming of Silicon Nitride Wafers for Photolithography Preparation
2:28
Photolithography for Patterning Resonator Structures on Silicon Nitride Wafers Using a Maskless Aligner
4:16
Reactive Ion Etching and Chip-Scale Wet Etching for Fabrication of Free-Standing Silicon Nitride Resonators
6:56
Optical Lever-Based Displacement and Energy Ringdown Measurements of Silicon Nitride Resonators
8:59
Results
Related Videos
Telif Hakkı © 2026 MyJoVE Corporation. Tüm hakları saklıdır.