Vi beskriver bruk av en karbondioksid laser reflow teknikk for å dikte silika resonant hulrom, inkludert frittstående mikrosfærer og on-chip microtoroids. Den reflow metoden fjerner overflate ufullkommenhet, slik at lange foton levetid innenfor begge enhetene. De resulterende enheter har Ultra High Quality faktorer, slik at applikasjoner som spenner fra telekommunikasjon til Biodetection.